Resumen: Los sistemas MEMS se han venido desarrollando desde

Resumen:
Los sistemas MEMS se han venido desarrollando desde principios de 1970 para
sensores de presión, temperatura, aceleración, cromatografía de gases; dichos
dispositivos también fueron utilizados para abrir o cerrar circuitos en las líneas de
transmisión, lo que provocó como su siguiente apertura en el mercado, su uso en
aplicaciones de microondas.
Estos sistemas cuyas siglas quieren decir Sistemas Micro Electro Mecánicos y
en especial con el cual nosotros trabajaremos, tienen como principio de funcionamiento
el accionamiento de un movimiento mecánico a través de la aplicación de una diferencia
de potencial o voltaje; para la generación de una función en especifico.
En este paso se utilizaron MEMS interruptores, conmutadores, relevadores; provocando
con esto que de manera directa la tecnología tenga un gran impacto sobre las
propiedades de los mismos, debido a que estas cambian por la interacción con su
respectivo ambiente de trabajo.
Existen problemas con la dinámica de los MEMS, ya que en la actualidad no es
conocida lo suficiente como para poder predecir su comportamiento y propiedades bajo
determinadas condiciones de trabajo, ya que en escala micro y nano se le suman a las ya
existentes otros tipos de fuerzas, la cuales tienen gran impacto en su comportamiento.
Esta tesis analizara el comportamiento dinámico debido a la acción de una
fuerza electroestática de los RF Switches en dos diferentes modalidades, doblemente
empotrada y en cantilever, dicho switches tienen dos secciones: un actuador mecánico
y un circuito eléctrico
Por el gran interés que en nosotros despierta este tema y el gran impacto que
representa el mismo en el mercado mundial, quisimos preparar esta tesis, con la
finalidad de encontrar una de las primeras respuestas al comportamiento dinámico de
estos elementos, para que con esta solución, su uso se vea extendido y mayores
necesidades humanas se vean cubiertas.