Kevin Aguilar MICROACTUADORES (MEMS) Son sistemas microestructurales que convierten una señal eléctrica en un movimiento que generan diversos tipos de fuerzas de propulsión o desplazamientos para diversos tipos de microsistemas. Algunos autores se refieren a los MEMS como una alternativa a la integración de elementos mecánicos, eléctricos y térmicos. Las medidas de estos dispositivos vas desde una micra hasta varios centímetros. Una de las razones por la cual los micro actuadores son excepcionales es por que presentan un alto rendimiento, ya que al operar con tan poco material tienen una eficiencia superior a los motores convencionales, además, al fabricarse por lotes, tiene un costo de manufactura muy por debajo de un motor convencional. La historia de los micro actuadores remonta desde 1947 cuando William Shockley, John Bardeen y Walter Brattain de los Laboratorios Bell lograron la construcción del primer transistor de punto de contacto utilizando germanio, de aproximadamente media pulgada de espesor. Este invento demostró la capacidad de construir transistores con materiales semiconductores y abrió la puerta a la creación de transistores cada vez más pequeños. En 1954 se descubrió el efecto piezo resistivo y con ello medidores de presión de silicio salieron comercialmente en 1958. Los micro actuadores han empezado a ser cada vez más comerciales, por ejemplo, en el área automotriz se utilizan en las bolsas de aire y en el control de estabilidad, en la biotecnología se utilizan en emulsificadores y en filtros de sistemas; en la electrónica se utilizan para los celulares, consolas de videojuegos, pantallas y laptops, etc… Así como estas aplicaciones existen muchas mas como en el área de energía con los almacenadores, en el área industrial con los sensores, en el área médica con las válvulas de regulación y muchas mas han hecho tendencia el uso de estos dispositivos. En este caso explicare mas a detalle 3 de todas a las aplicaciones que existen: 1. MEMS como acelerómetros en aplicaciones de ingeniería civil. 2. MEMS como controladores de posición corporal para regular presión intracraneal. 3. MEMS como cosechadores de energía vibracional. Para la ingeniería civil se ocupan como sensores de monitoreo de frecuencia, ya que actualmente la seguridad es un factor tan importante, se necesita dentro de la construcción, sin embargo, esta seguridad viene con un costo muy grande lo que genera la necesidad de reducir costos. Por ello los MEMS revolucionaron esta área ya que son muy sensibles a estas frecuencias con un rango de error de +- .1 micrómetros. La forma en la que se usan los micro actuadores son mostrados en la figura debajo, en la que son referidos como “Sensor Units” En el control de posición corporal para regular la presión intracraneal, los usan como tratamiento para la hidrocefalia que es un acumulamiento de agua en el cerebro y con los MEMS fabrican valvular para abrir la membrana y con ello lograr el flujo deseado para evitar una fractura de cráneo o deterioro en el funcionamiento cognitivo cerebral debido al exceso de agua. Dado el tamaño y la precisión que se necesita para fabricar estas válvulas, estos micro actuadores son sumamente necesarios. Y finalmente para cosechar energía vibracional, los MEMS son los más aptos para sensar los nodos de IoT porque permite la fabricación integral de sensores/actuadores en circuitos electrónicos para procesamiento de información, así como la comunicación por radio frecuencias, antenas y chips de cosecha miento de energía. Además, que al ingresarle energía vibracional al material piezoeléctrico funciona como a la inversa produciendo energía eléctrica almacenable Para a fabricación se usan múltiples capaz de un material, se depositan sobre la superficie de una oblea y luego se graban selectivamente dejando características complejas de múltiples apilaciones en la misma. También el procesamiento de MEMS se hacen con grabados profundos y especializados y puede fusionar obleas en una pila para crear un dispositivo multicapa o de apilación más grande Bibliografía Anonimo. 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