Perfilómetro Óptico Zeta-20

Perfilómetro Óptico Zeta-20
Especificación de Producto
Imagenes 3D Excepcionales y Metrología
Basado en la tecnología patentada ZDotTM, el nuevo Zeta-20 permite analizar características de superficies de todo tipo
de muestras: de lisas a rugosas, de baja a alta reflectividad, de transparentes a opacas. Las opciones de Hardware y Software
permiten la personalización del equipo en función de las necesidades de cada usuario.
 Sistema Zeta-Dot – Con una resolución en Z de 15 nm, es excelente para aplicaciones generales.
El software estándar proporciona el color "verdadero", imágenes 2D&3D, el control del equipo, y el
análisis de altura de step, rugosidad, dimensiones e incluso muestras con materiales transparentes
así como grandes variaciones de reflectividad.
 Sistema Contraste Interdiferencial Zeta (ZiC) – Optimizado para características "muy pequeñas" en
superficies muy planas. Basado en un prisma de Nomarski, es una característica exclusiva de Zeta.
 Sistema Interferométrico Zeta (iX5) – Perfecto para el análisis de características con un amplio campo
de visión y alta resolución en Z.
ZDot
TM
(standard)
ZiC
iX5
Rugosidad > 40 nm
Rugosidad < 40 nm
Gran Area&Peq. Características
Altura Step: 0.1 µm a 25 mm
Altura Step: 0.02 µm a 0.1 µm
Altura Step < 0.02 µm
Especificaciones Técnicas
Sistema Estándar
Resolución en Z
15 nm
Rango en Z
Altura Mínima de Step
Exactitu Altura de Step
40 mm
70 nm
± 1%
Repetibilidad Altura de Step
0.025 µm
Rugosidad Mínima
Rugosidad Máxima
< 1 nm
> 1 mm
Repetibilidad Rugosidad
0.1 nm
Mejoras del Sistema Estándar
0.2 nm (con stage piezo en Z)
> 100 mm (opcional)
10 nm (piezo Z stage)
± 1%
0.006 µm (con stage piezo en Z y mesa
anti-vibración activa)
< 1 nm
> 1 mm
0.1 nm
Parámetros del Sistema Óptico
Las especificaciones para los objetivos estándar se muestran a continuación. Otros objetivos opcionales disponibles: Larga Distancia, Inmersión,
y objetivos transmisión materiales; lentes de acoplamiento 0.63X y 1X. *Resolución XY nominal.
2.5X
5X
10X
20X
50X
100X
150X
NA
Distancia
Trabajo
(mm)
0.08
0.15
Resolución
Óptica
(µm)
FOV con lente 0.35X
1/3”
2/3”
cámara
cámara
FOV con lente 0.5X
1/3”
2/3”
cámara
cámara
Z
Resolución
(µm)
XY
Resolución
(µm)*
10.7
22
3.60
4.20
5364 × 4024
9394 × 7044
3788 × 2840
6614 × 4960
20.0
5.9
1.80
2.20
2682 × 2012
4697 × 3522
1894 × 1420
3307 × 2480
0.30
11.0
1.5
0.90
1.10
1335 × 1000
2327 × 1745
944 × 708
1644 × 1233
0.45
3.1
0.5
0.45
0.75
668 × 500
1169 × 877
468 × 351
822 × 616
0.8
1.0
0.1
0.18
0.42
267 × 200
466 × 349
189 × 142
328 × 246
0.9
1.0
0.04
0.09
0.37
133 × 100
234 × 175
93 × 70
164 × 123
0.9
1.0
0.04
0.06
0.37
88 × 66
156 × 116
62 × 46
109 × 82
FOV: Campo Visión
Perfilómetro Óptico Zeta-20
Software
Stages y
Sistema de
Accesorios
Medida
Sistema Estándar Zeta-20 con ZDot
Microscopio de Imagen de Profundidad Infinita
Perfilómetro Óptico basado en Tecnología ZDot
Doble Fuente de Alta Intensidad (luz blanca) mediante LED
Color Verdadero con Cámara CCD (1/3”), 1024 x 768 pixels
Adquisición Datos: 30 encuadres/segundo
Una Lente de Acoplamiento: A elegir entre 4
Torreta Manual de Objetivos (hasta 5 objetivos)
Función Auto Focus
Stage Manual XY (100 mm x 100 mm)
Stage Motorizado Z (pasos de 15nm) con escáner de alta precisión
de lazo cerrado ("closed-loop")
Soporte de Stages Configurable (diseño tipo "mesas ópticas")
Medidas de no contacto de altura step, rugosidad, diámetros, área,
volúmen, etc...
Medidas en Materiales de baja reflectividad (<0.5%) hasta mucha
reflectivitdad (>85%) en un mismo barrido
Medidas sobre Materiales Transparentes
Análisis de Capas sobre Estructuras Transparentes
Análisis de Estructuras muy rugosas y con alta relación de aspecto
Diversos modelos de nivelación, incluyendo medidas libre de nivel
en modo ZDot
Ra, Rq, Rz, Rsk, Rk y otros parámetros ISO4287
Sa, Sq, Sz, Ssk, Sk y otros parámetros ISO25178
Color o Altura basado en la región de análisis
Software Visualización 3D, con filtros procesamiento imagen, opción
de color "verdadero" o "falso", etc...
Informes Personalizables
Sencillo Tratamiento Archivos y Fácil Exportación a otros Formatos
Tiempo de Datos: 40 segundos (típico)
Opciones de Hardware & Software
Objetivos: 2.5X, 5X, 10X, 20X ,50X, 100X, 150X
Objetivos Especiales: LWD, TTM, inmersion
Pack Interferométrico (Z-iZ5): Objetivo Interferométrico 5x,
stage piezoeléctrico y sistema especial nivelación muestras
Pack qDIC (ZiC): prisma, polarizador y analizador
Espectrómetro para Medidas de Espesor de Películas Delgadas
Sensor Automático de Objetivos
Torreta Automática de Objetivos (hasta 5 objetivos)
Luz LED inferior para aplicaciones por Transmisión
Cámara Alta Resolución (2/3”), 1280 x 1024 pixels
Lentes Acoplamiento: 1X, 0.63X, 0.5X, 0.35X
Stage Manual 150 mm x 150 mm
Stage Motorizado 100 mm x 100 mm
Stage Piezoeléctrico Z (pasos de 0.2 nm, rango de 100 µm)
Extensión de Rango en Z: > 100 mm
Stage Coarse tip/tilt (± 20 deg)
Stage Fine tip/tilt (± 6 deg)
Stage Manual R-theta
Wafer chucks: De 2 a 8 pulgadas (redondo), 5 a 6 pulgadas (cuadrado)
Hard disk chucks: 65 mm a 95 mm
Iluminación para Transmisión compatible con los"Chucks"
Chucks personalizados para todo tipo de aplicaciones
Medida Forma Oblea (bow) de hasta 4" de diámetro
Medidas de Espesor de Film, Luz Visible (espesores desde 30 nm a
10 µm)
Stitching for large area images
Secuencias (Auto Sequency Program)
Advanced Analysis Package
Off-line Software
Applicaciones Específicas:
Patterned sapphire substrate measurements
Diamond wire measurements for solar wafer slicer
Diamond (for CMP pads)
Solar pyramid (wafer texture)
Solar contact finger metrology
Solar cell bus bar metrology
Solar wafer bow measurements
Workstation
Aislamiento Vibraciones
Procesador: Intel Dual Core
Sistema Operativo: Windows 7, 64-bit
Memoria: 4GB RAM (16GB opcional), ≥320 GB HDD
Monitor: 24" LCD estándar, 1920 x 1200 pixels
Fabricado sobre base anti-vibración - perfecta para la
mayoría de aplicaciones
Opcional: Mesa Anti Vibración Activa
para eliminación ruidos ambientales
Opcional: Cabina Aislamiento Acústico
Soporte
Otros Datos
Garantía: Un año de garantía estándar
Software: Dos años de actualizaciones gratuitas
Manual de Usuario: Estándar
Manual de Servicio: Opcional
Calibración: Con patrones altura step y espesor de film
(opcionales)
Certificación CE
Potencia: 100 – 230 VAC, 2 A
Temp. Trabajo: 18 – 30 ºC, sin condensión
Vacío (opcional): 600 mm Hg
Dimensiones Equipo(Ancho x Fondo x Alto): 31 x 41 x 56 cm
Dimensiones Workstation: 52 x 66 x 51 cm
Peso: 29.5 kg
Se incluyen todos los cables necesarios con el equipo
Zeta Instruments • 2528 Qume Drive, Suite 12 • San Jose CA 95131 • Spain&Portugal: IRIDA Ibérica S.L. [email protected]
www.zeta-inst.com