Pe erfiló metro o Ópt tico Z Zeta-3 300

 Pe
erfilómetro
o Ópttico ZZeta‐3
300
Esp
pecificación de Producto Imáágenes 3D EExcepcionales y Metrología Basaado en la Teecnología Pa
atentada ZD
DotTM, el nueevo Zeta‐300
0 permite an
nalizar caractterísticas dee superficies de todo tipo de muestraas: de lisas aa rugosas, dee baja a alta reflectividad, de transp
parentes a opacas. El nuevo Zeta‐30
00 puede omático XY para proporcionar med
didas en difeerentes areaas. Las opcio
ones de Harrdware y conffigurarse con stage auto
Software permitten la perso
onalización del d equipo en e función de d las necessidades de cada c
usuario
o: MEMS, Sistemas S
Micrrofluídicos, H
HBLED y Celd
das Solares. ¾ Sistema Z‐‐Dot –Con unaa Resolución een Z de 10 nm
m, es excelentee para aplicacciones generales. El software eestándar proporciona el color “verdadero
o”, imágenes 2D&3D, el control d
del equipo y aanálisis de altu
ura de step, ru
ugosidad, dim
mensiones e in
ncluso muestras ccon materiales transparenttes así como ggrandes variacciones de refleectividad. ¾ Sistema Co
ontraste Interrferencia Difeerencial Cuanttitativa (qDIC)
C) – Optimizado para pequeñas característicaas sobre superrficies muy plaanas, como ob
bleas. ¾ Sistema In
nterferométricco – Perfecto
o para el análissis de características sobre un amplio cam
mpo de visión y con una altta resolución een Z. ZDotTM (esstándar)
qD
DIC (Nomarski) Interferrómetro
Ruggosidad > 40 nm
m
Ruggosidad < 40 nm
m
G
Gran Area con P
Peq. Carácterísst.
Altura Step: 0..01 µm a 25 mm
Altura Step: 0.02 µm a 0.1 µm
m
Alturaa Step < 0.02 µm
Especificacion
nes Técnicaas Sistema Estáándar Mejoras al Sistema Estánd
dar
Ressolución en Z <10 nm 0.2 nm (con stage piezo en ZZ) Ran
ngo en Z Mínima Altura Ste
ep Exaactitud Altura SStep 40 mm 13 nm ± 1% > 100
0 mm (con opción “extended range”) 5 nm (con sttage piezo en Z)) ±
± 1% 0.006 µm (stagee piezo + mesa aanti‐
vibración activa) < 1 nm 1 mm > 1
0.1 nm Rep
petibilidad Altu
ura Step m 0.025 µm
Ruggosidad Mínim
ma Ruggosidad Máxim
ma Rep
petibilidad Ruggosidad < 1 nm > 1 mm 0.1 nm del Sistema Óptico Paarámetros d
Lass especificacion
nes para los objeetivos estándarr se muestran aa continuación. Otros objetivos opcionales disponibles: largaa distancia, inm
mersión, y objettivos transmisió
ón materiales; llentes de acoplamiento 0.63X y 1X. *Resolucción XY es nominal. 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X 150X NA Distaancia Trab
bajo (mm
m) 0
0.08 0
0.15 FOV ccon Lente 0.35X Cámara Cámaara 1/3”” 2/3”” Resolu
ución en Z (µm
m) Resolución XY en X
(µm))* Resolucción Ópticca (µm) 10
0.7 22
2 3.60
0 4.20
0 5364 × 4
4024 9394 × 77044 3788 × 2
2840 6614 × 4960 20
0.0 5.9
9 1.80
0 2.20
0 2682 × 2
2012 4697 × 33522 1894 × 1
1420 3307 × 2480 0
0.30 11
1.0 1.5
5 0.90
0 1.10
0 1335 × 1
1000 2327 × 11745 944 × 7
708 1644 × 1233 0
0.45 3.1 0.5
5 0.45
5 0.75
5 668 × 5
500 1169 × 877 468 × 3
351 822 × 616 0.8 1.0 0.1
1 0.18
8 0.42
2 267 × 2
200 466 × 3349 189 × 1
142 328 × 246 0.9 1.0 0.0
04 0.09
9 0.37
7 133 × 1
100 234 × 1175 93 × 7
70 164 × 123 0.9 1.0 0.0
04 0.06
6 0.37
7 88 × 6
66 156 × 1116 62 × 4
46 109 × 82 V con Lente 0.5X FOV
ara Cáma
Cámaara 1/3”” 2/3
3” Perrfilómetrro Óptico
o Zeta‐30
00 Sistema de
M did
Medida
S
Sistema Est
tándar Zetaa‐300 con ZD
Dot Microscop
pio de Imagen d
de Profundidad Infinita Perfilómettro Óptico basaado en Tecnologgía Z‐Dot™ Doble Fueente de Alta Inteensidad (luz blaanca) mediantee LEDs Color Verd
dadero con Cám
mara CCD (1/3”), 1024 x 768 pixels Adquisició
ón Datos: 30 encuadres/segundo Una Lentee de Acoplamien
nto: A elegir en
ntre 4 Torreta Manual de Objettivos (hasta 5 ob
bjetivos) Auto focuss Stages y
A
Accesorios
i
Opciones de Stage Motorizado XY mm X 150mm)
(Recorrridos 100mm X 100mm o 150m
Stage Mottorizado en Z (p
pasos de 13nm)) (con escaner lazo cerrado (“Closed‐Lo
oop”) de Alta P
Precisión Software
Medidas d
de no contacto de altura de steep, rugosidad, d
diámetros, area, volumen, etc…
… hasta mucha Medidas een Materiales de baja reflectivvidad (<0.25%) h
reflecctividad (>95%)) en un mismo b
barrido Medidas ssobre Materialees Transparentees Análisis dee Capas sobre EEstructuras Tran
nsparentes Análisi de Estructuras mu
uy Rugosas y co
on Alta Relación
n de Aspecto de Forma de Ob
blea (bow) de h
hasta 4 pulgadas de diámetro
Medidas d
Secuencias modelos de niveelación, incluyeendo medidas liibre de nivel Diversos m
TM
en modo ZDot Ra, Rq, Rz,, Rsk, Rk y otross parámetros ISSO4287 Sa, Sq, Sz, Ssk, Sk y otros parámetros ISO
O25178 nálisis Color o Alttura basado en la región de an
Software V
Visualización 3D
D, con filros pro
ocesamiento im
magen, opción de co
olor “verdadero
o” o ”falso colorr”, etc… Informes P
Personalizabless Sencillo Trratamiento Archivos y Fácil Exportación a otrros Formatos Tiempo dee Datos: 40 seggundos (típico) Opcciones de H
Hardware y Software Objetivos: 2.5
5X, 5X, 10X, 20X ,50X, 100X, 150X Objetivos Esp
peciales: LWD, TTTM, inmersión
n Pack Interfero
ométrico (Z‐ix5): Objetivo Inte
erferométrico x5, stage pieezoeléctrico y sistema especial nivelación mu
uestras Pack qDIC (ZiC
C): Prisma, polaarizador y analizzador Espectrómetrro para Medidaas de Espesor de
e Películas Delggadas Sensor Autom
mático de Objettivos Torreta Autom
mática de Objetivos (hasta 5 o
objetivos) Luz LED inferior para aplicacciones por Transsmisión Cámara Alta R
Resolución (2/3
3”), 1280 x 1024
4 pixels Objetivo “Ring Light” para Im
magen de Camp
po Oscuro” oplamiento: 1X
X, 0.63X, 0.5X, 0
0.35X Lentes de Aco
Stage Piezo en Z (pasos de 0.2 nm, Rango d
de 100 µm) 0 mm Rango en Z Exxtendido: > 100
Stage Coarse tip/tilt (± 20 deeg) p/tilt (± 6 deg)
Stage Fine tip
Stage Manual R‐theta Wafer chuckss: De 2 a 8 pulggadas (redondo), 5 a 6 pulgadaas (cuadrad
do) Chucks compatibles con Luz LED Inferior plicaciones Chucks personalizados para todo tipo de ap
para obleas de 2
2 a 8 pulgadas
Manipulador tipo Cassette p
Espectrómetrro para Medidaas Espesor de Film, luz visible (espesores d
desde 30 nm a 10 µm) Pegado para iimágenes de grran area Paquete de A
Análisis Avanzad
do Software Off‐‐Line Aplicaciones C
Customizadas:
Patterned ssapphire substrrate measurements Diamond w
wire measuremeents Diamond (ffor CMP pads)
Solar pyram
mid (wafer textu
ure) Solar contact finger metro
ology Worrkstation Aislamiento Vibraciones
Proceesador: Intel Dual Core Sistema Operativo: Windows 7, 64
4‐bit moria: 16GB RA
AM (4GB dispon
nible), ≥320 GB HDD Mem
Monitor: 24” LCD eestándar, 1920 xx 1200 pixels Fabriccado sobre basee Anti‐Vibración; perfecta p
para la mayoría
de aplicacionees. Opcio
onal: Mesa Anti‐‐Vibración Activva para e
eliminación de ruidos ambienttales. 777cm Sopo
orte Otross Datos
Garantía: Un año dee garantía estándar ware: Dos añoss de actualizacio
ones gratuitas Softw
Manu
ual de Usuario: Estándar Manu
ual de Servicio: Opcional Calibración: Con pattrones altura sttep y espesor de film (opcionales) Certifficación CE Poten
ncia: 100 – 230
0 VAC, 4 A Temp. Trabajo: 18 –– 30 C, sin condensación Vacío (opcional): 600 mm Hg nsiones Equipo (W x D x H): 51
1 x 72 x 77 cm
Dimen
Dimen
nsiones WorkSttation: 52 x 66 x 51 cm Peso: 68 kg Se inccluyen todos loss cables necesaarios 72cm 51cm
Zetta Instrumen
nts • 2528 Q
Qume Drive, Ste 12 • San
n Jose CA 95
5131 • Spain&
&Portugal: IIRIDA Ibéricaa S.L. [email protected] www.zeta‐ins
w
st.com