S.E.P. S.E.I.T. D.G.I.T. CENTRO NACIONAL DE INVESTIGACI~N Y DESARROLLO TECNOLÓGICO cenidet DESARROLLO E IMPLEMENTACI~NDE UN PROCEDIMIENTO DE EXTRACCI~NDE PARÁMETROS PARA UN MODELO FÍSICO DE IGBT T E PARA I S OBTENER EL MAESTRO -EN EN INGENIERÍA P R E S -- - EXIT CENTRO BE INFORM&Cm--i %EP CENICEET S GRADO DE: CIENCIAS ELECTR~NICA E N T A: ING . MARCO ANTONIO RODR~GUEZBLANCO DIRECTORES DE TESIS DR. ABRAHAM CLAUDIO SÁNCHEZ DRA. MARIA COTOROGEA PFEIFER CUERNAVACA. MORELOS JUNIO 2001 1 S.E.1.T S.E.P. C.N.1.T CENTRO NACIONAL DE INVESTIGACI~NY DESARROLLO TECNOL~GICO ceiiidet ACADEMIA DE LA MAESTR~AEN E L E C T R ~ N I C A FORMA R l 1 ACEPTACION DEL TRABAJO DE TESIS Cuemavaca, Mor. Dr. Jesús Amoldo Bautista Corral Director del ceirider Presente Jefe del Depto. de Electrónica At’n. Dr. Luis Gerard0 Vela Valdés Después de haber revisado el trabajo de tesis titulado: “Desarrollo e Implementación de un Procedimiento de Extracción d e Parámetros para un Modelo Fisico de IGBT”, elaborado por el alumno Marco Antonio Rodriguez Blanco , bajo la dirección del Dr. Abraham Claudio Sánchez y Co-Dirección de la Dra. Maria Cotorogea Pfeifer, el trabajo presentado se ACEPTA para proceder a su impresión. ATENTAMENTE e cevedo 4 J L m.c-9. Dr. Victor Manuel Cárdenas Galindo C.C.P.: Dr. Marco Antonio Oliver Salazar / Pdte. de la Academia de Electrónica Lic. O h i a Maquinay Diaz / Jefa del ‘Depro. de Servicios Escolares Expediente. INTERIOR INTERNADO PALMIRA SIN. CUERNAVACA. MOR. MEXICO AP 5-164 CP 62050. CUERNAVACA. TELS. 173j12 2314.12 7613.18 7741. F A X /73) 12 2434 Dr. Luis Gerordo Vela ValderIJele del Depto de Eiectrónico EMAlL uelaluis~cenidel.edu.mx cenídet Centro Nacional de Investigación y Desarrollo Tecnológico Cuernavaca, Morelos 2001-06-1Y Ing. Marco Antonio Rodriguez Blanco Candidato al grado de Maestro en Ciencias en Ingeniería Electrónica Presente Después de haber sometido a revisión su trabajo final de tesis titulado: “Desarrollo e Irnplernentación de un Procedimiento de Extracción de Parárnetros para un Modelo Físico de IGBT”, y habiendo cumplido con todas las indicaciones que el jurado revisor de tesis le hizo, le comunico que se le concede autorización para que proceda a la impresión de la misma, como requisito para la obtención del grado. Reciba un cordial saludo. ATENTAMENTE Dr. Luis Gerard0 Vela Valdés Jefe del Depto. de Electrónica C.C.P. expediente. INTERIOR !NTfRNADO PALMIRA SIN, CUERNAVACA. MOR. MCXICO Ai‘ 5-164 CP L2050.CUERNAVACA. TELS. 173)122314. 127613. 187741. FAX 173) 122434 Or. LUIS Gerordo Velo VtildeslJefe del Depto d e Uectrbnico E M A l L v m cenidet DEDICO ESTA TESIS A mi tía: Luz de Carmen A quien le debo lo que soy. A mi Reinita: Reyna Garcia Por ser base de mi inspiración. A mi hermano: Eduardo Por su apoyo incondicional. A mis primas: Pao, Vane, Ada, Eli, Liz, Mari,Charo Por ser la alegría de mi vida. A GRADECIMIENTOS A mis tíos; Luz del Carmen Blanco y Francisco Díaz, por su apoyo y confianza. A mis directores de tesis; Dr. Abraham Claudio Sánchez y Dra. Maria Cotorogea Pfeifer, por su invaluable apoyo y dedicación durante el desarrollo de esta tesis. A mis revisores; por sus opiniones y correcciones de esta tesis Dr. Jorge Hugo Calleja Gjuniich Dr. Víctor Manuel Cárdenas Galindo. Arturo Morales Acevedo. Dr. AI CENIDET; por permitirme realizar mis estudios de maestría. A mis profesores del CENIDET; por contribuir en mi formación académica. A mis compañeros de generación: Horado Visairo, Marco A. Contreras, Roberto Galindo, José A. Hoyo, Alejandro López, Miguel A. Méndez, Carlos M. Morcillo, Margarita Paz y Rene Vite; gracias por su amistad y apoyo. AI CONACYT y SEP; por el apoyo económico durante la realización de mis estudios de maestría. CONTENIDO CONTENIDO SIMBOLOGÍA OBJETIVOS i11 V 1. INTRODUCCI~N 1.1 Introducción 1.2 Antecedentes 1.2.1 Simulador de redes eléctricas 1.2.2 El IGBT (transistor de compuerta aislada) 1.3 Justificación 1.4 Modelo del IGBT 1.5 Estado del arte de extracción de parámetros 1 1 2 2 4 6 6 11 2. ANÁLISIS DEL MODELO DEL IGBT 2.1 Introducción 2.2 Ecuaciones del modelo del IGBT 2.3 Variación de parámetros en condición 2.4 Resultados de sensibilidad de los parámetros 13 13 14 19 29 3. METODOLOG~ADE EXTRACCIÓN 3.1 Introducción 3.2 Metodología desarrollada 3.3 Extracción de VT, ccs, Coxd, &D y VTD 3.3.1 VT (Voltaje de umbral) 3.3.2 CGS(Capacitancia de compuerta-fuente) 3.3.3 Coxd (Capacitancia del óxido) 3.3.4 VTO(umbral de deplexión compuerta-drenaje) 3.4 Extracción de Theta, Kp y Ki; 3.5 Extracción de NB y WB 3.5.1 Ne @opado en la zona n- para el IGBT PT y NF'T) 3.5.2 Ws (Ancho en la base metalúrgica) 3.6 Extracción de AGDy A 3.6.1 &D (Área de traslape compuerta-drenaje 3.6.2 A (Área activa del chip) 3.7 Extracción de Tau e Isne 3.7.1 Tau e Isne para el IGBT-PT 3.7.2 Isne para el IGBT-NPT 31 31 32 35 35 37 Tesis: Desarrollo E Impl-tlci6n 40 42 44 49 49 52 52 52 56 59 59 62 de un Rocedimienla de Exadeci6n de Parámems para un Modelo Fisico de IGBT I 4. RESULTADOS EXPERIMENTALES 4.1 Introducción 4.2 Parámetros VT, CGS,Coxd,AGDy VTo 4.2.1 Resultados para Vr 4.2.2 Resultados para CGS,Coxdy VTD 4.3 Parámetros Theta, Kp y KF 4.4 Parámetros NB y WB 4.4.1 Resultados para NB (IGBT-PT) 4.4.2 Resultados para NB (IGBT-NPT) 4.4.3 Resultados para WB 4.5 Parámetros AGDy A 4.5.1 Resultados para A ~ D 4.5.2 Resultados para A 4.6 Parámetros Tau e Isne 4.6.1 Resultados para Tau e Isne (IGBT-PT) 4.6.2 Resultados para Isne (IGBT-NPT) 65 65 66 66 67 70 72 72 73 74 75 75 77 79 79 81 5. V A L I D A C I ~ NDE PARÁMETROS 5.1 Introducción 5.2 Comportamiento estático 5.3 Comportamiento dinámico 5.3.1 Encendido y apagado (IGBT-PT CT30SM-12) 5.3.2 Encendido y apagado (IGBT-NPT BUP307) 84 84 85 86 87 89 6. CONCLUSIONES 6.1 Introducción 6.2 Caractensticas de la metodología desarrollada 6.3 Calidad de extracción 6.4 Validación de parámetros 6.5 Trabajos futuros 91 91 92 92 92 93 REFERENCIAS BIBLIOGRÁFICAS LISTA DE FIGURAS LISTA DE TABLAS APÉNDICE 1: Ecuaciones del modelo del IGBT-PT en Pspice APÉNDICE 2: Ecuaciones del modelo del IGBT-NPT APÉNDICE 3: Algoritmo de extracción de parámetros (MADCAD) I1 Tesis: 94 97 99 1O0 103 110 Desarrollo e Implemcntaci6n de un Procedimiento de Extracción de Parámetms para un Modela Fisico de IGBT SIMBOLOGÍA T p=3/2 Parámetro de la modulación de la movilidad Tiempo de recombinación ambipolar Factor de amplificación del transistor interno( IGBT-PT) Constante del dieléctrico en el vacio Corriente de avalancha de electrones Corriente de avalancha de huecos Longitud de difusión efectiva de los portadores en la región izquierda de la base Longitud de difusión efectiva de los portadores en la región central de la base Concentración móvil de electrones Velocidad de ionización por impacto de los electrones Concentración móvil de huecos Velocidad de ionización por impacto de huecos Carga en la base nLongitud de difusión efectiva de los portadores en la región derecha de la base Concentracibn dieléctrica relativa del óxido de compuerta Concentración dieléctrica relativa del silicio Constante del dieléctrico = 1.05~10~" F/cm Área activa Área de traslape compuerta-drenaje Área activa completa del chip Parámetro para la velocidad de ionización de electrones Parámetro para la velocidad de ionización de huecos Nodo de la base en el BJT interno Relación de movilidad ambipolar Segundo parámetro para la velocidad de ionización de electrones Segundo parámetro para la velocidad de ionización de huecos Nodo del colector en el BJT interno Capacitancia base-emisor Capacitancia hase-emisor a voltaje cero Capacitancia de difusión base-emisor Capacitancia de deflexión base-emisor Capacitancia colector-emisor Capacitancia y carga colector-emisor Capacitancia y carga drenaje-fuente Capacitancia de traslape drenaje-fuente Capacitancia y carga emisor-base Capacitancia compuerta-colector Capacitancia y carga de compuerta-drenaje Capacitancia de traslape compuerta-drenaje Capacitancia compuerta-emisor Capacitancia y carga compuertaCapacitancia de traslape compuerta-fuente Tcsis: d D DP e f LS M Capacitancia de compuerta-emisor cortocircuitando colector- emisor Capacitancia y carga de multiplicación Capacitancia de colector-emisor cortocircuitando compuerta-emisor Capacitancia del oxido compuerta-drenaje Capacitancia de compueita-colector con emisor a tierra Nodo del drenaje en el MOSFET interno Ciclo útil de trabajo Coeficiente de difusión de huecos Nodo del emisor en BJT interno Factor que considera el aumento de cargas debajo de la compuerta Fuente Nodo de la compuerta eo el MOSFET Corriente de avalancha Corriente en la base del transistor interno Corriente del bipolar interno del IGBT Corriente de estado estable de la base Corriente en el colector del IGBT Función de transferencia del IGBT Corriente de estado estable del colector Corriente de drenaje Corriente en la compueita Corriente en la compuerta promedio Corriente en la rodilla de la fase de redistribución Corriente del canal del MOSFET Corriente de multiplicación de avalancha interno. Corriente de electrones Corriente de huecos Corriente de saturación de electrones en el emisor Corriente Corriente de colector al inicio de la fase de redistribución Relación lineal igual a 2 VB = K.Vce,, Factor de la región del triodo Parámetro de transconductancia longitud de difusión amhipolar Inductancia externa de la compuerta Factor multiplicativo de avalancha Movilidad amhipolar efectiva ~ Movilidad de electrones = 1 . 5 ~ 1 0cm'/(V.s) Movilidad de huecos = 4 . 5 ~ 1 cm'/(V.s) 0~ Coeficiente de emisión de la unión pn Concentración neta acoplada Dopado de la zona nConcentración de portadores en la zona de carga espacial base-colector Concentración de donadores Desarrollo e Irnplementación de un Proccdimiento de Exuacción de Parbmetros Dam un Modelo Físico de IGBT 111 Parámetro de transconductancia longitud de difusión ambipolar Inductancia externa de la compuerta Factor multiplicativo de avalancha Movilidad ambipolar efectiva Movilidad de electrones = 1.5~10' cm2/(v.s) Movilidad de huecos = 4 . 5 ~ 1 cm2/(V.s) 0~ Coeficiente de emisión de la unión pn Concentración neta acoplada Dopado de la zona nConcentración de portadores en la zona de carga espacial base-colector Concentración de donadores Coeficiente de emisión de la unión pu Concentración de difusión efectiva Concentración intrínseca de portadores Concentración de huecos Concentración de huecos del lado emisor de la zona nConcentración de portadores de la base al final del emisor. Pico de la concentración de huecos Pico de la concentración de huecos en la región izquierda Pico de la concentración de huecos en la región derecha Carga elemental = 1 . 0 6 ~ 1 0C~ ' ~ Carga en la base sin inyección Carga de la base Carga en la región izquierda de la base Carga en la región central de la base Carga en la región derecha de la base Carga de emisor-base Carga en la compuerta Resistencia de la base Resistencia de colector Resistencia de compuerta Nodo de la fuente en el MOSFET interno Factor de escalamiento para los parámetros del modelo tiempo Tiempo de subida Tiempo de bajada Tiempo de retardo temperatura Temperatura medio ambiente Tiempo de recombinación ambipolar Tiempo de bajada de V, Factor del campo transversal Tiempo de apagado Tiempo de encendido Tiempo de subida de V,, Voltaje base-colector Voltaje de alimentación Voltaje colector-emisor del IGBT IV Tesis: VCE,,, V" Voltaie colector-emisor máximo Voltaje de difusión Voltaje compuerta-drenaje Voltaje drenaje-fuente Voltaje emisor-base Voltaje de compuerta Voltaje compuerta-colector Voltaje compuerta-colector del Voltaje compuerta-drenaje Voltaje compuerta-emisor del Voltaje del impulsor (antes de R,) Voltaje compuerta-fuente Voltaje en L, Velocidad de electrones Velocidad de huecos Voltaje en R, Velocidad de saturación de electrones Velocidad de saturación de huecos Velocidad del voltaje Voltaje de umbral Voltaje térmico Umbral de deflexión del traslape compuerta-drenaje Ancho de la base cuasineutral Ancho de la zona nAncho del area de traslape basecolector Ancho en la zona de carga espacial Frontera entre la región central e izquierda de la distribución de portadores en la base Frontera entre la región central y derecha de la distribución de portadores en la base Zona nZona de carga espacial Desamollo e Irnplernentación de un Procedimiento de Extracción de Paiametrar para un Modelo Fisico de IGBT OBJETIVOS OBJETIVOS Obietivos Generales I).-Desarrollar la metodología de extracción de parámetros del modelo estándar del IGBT en Pspice considerado más adecuado para el PT-IGBT, así como de un modelo físico desarrollado para el NPT-IGBT a través de mediciones eléctricas 2).-Calcular a partir de las mediciones anteriores los valores de los parámetros utilizando una herramienta de computo. Obietivos Particulares I).-Validar la calidad de la extracción de parámetros del modelo fisico del IGBT de estructura NPT implementado como subcircuito en Pspice 2).-Validar la calidad de la extracción de parámetros para el modelo estándar del IGBT de estructura PT implementado en el código fuente de Pspice. Alcances I).-Disponibilidad de una metodología de extracción de los parámetros para los modelos fisicos del IGBT de estructura PT y NPT a través de mediciones eléctricas 2).-Disponibilidad de una herramienta de cálculo automático para la extracción de los parámetros de los modelos mencionados a partir de resultados de medición del comportamiento eléctrico Tesis: L k m l l o e Irnplementación de un Pmcedirnienta de Exhacción de Parárneuos para un Madelo Flsieo de IGBT V CAPITULO I 1.1 Introducción En este capítulo se presenta inicialmente el estado actual que tiene la simulación en la - y se resalta la importancia de contar con modelos de dispositivos electrónica de potencia semiconductores de potencia (DSEP) bien parametnzados particularmente del IGBT (Transistor Bipolar de Compuerta Aislada). Esto es con el fin de obtener resultados más reales, justificando con ello el desarrollo de esta tesis. Posteriormente se muestran los modelos del IGBT para las diferentes tecnologías y finalmente se da a conocer el estado del arte en cuanto a la extracción de parámetros de modelos del IGBT se refiere. Tesis: Desarrollo e Irnplemnbción de un Procedimiento de Exúacci6n de Pafirnebor para un Madela Fisico de IGBT 1 CAPiTULO 1 INTRODUCCI~N 1.2 Antecedentes Actualmente las investigaciones en los dispositivos semiconductores controlados de potencia (DSEP) han estado encaminadas a mejorar las Características de fabricación tales como alta capacidad de bloqueo, voltaje de conducción reducido, manejo de alta densidad de corriente, tiempos cortos de conmutación, control sencillo, robustez en corto circuito, estabilidad térmica, inteligencia, confiabilidad y bajos costos. Ya que un sólo dispositivo no puede proporcionar al mismo tiempo todas las características mencionadas, las limitaciones que presenta los DSEP conllevan a buscar alternativas externas para optimizar el funcionamiento de sus aplicaciones como es el caso de nuevas topologías de convertidores de potencia [I]. 1.2.1 Simulador de redes eléctricas y electrónicas La simulación de circuitos electrónicos de potencia previa al diseño de prototipos se ha convertido en una herramienta indispensable, puesto que el simulador (software) proporciona la confiabilidad del correcto funcionamiento. Pero para poder simular adecuadamente un circuito eléctrico o electrónico en general, es necesario que se cumplan los siguientes requerimientos: a) Disponibilidad de un simulador adecuado b) Disponibilidad de los modelos para todos los componentes del diseño e) Disponibilidad de los parámetros para los modelos de todos los componentes a) Disponibilidad de un simulador adecuado Se refiere a un simulador de redes eléctricas y electrónicas que contenga modelos de dispositivos electrónicos. Hoy en día existen muchos simuladores de circuitos eléctricos y10 electrónicos pero una gran parte de ellos son utilizados en las instituciones donde se desarrollaron, es decir, no se encuentran disponibles a cualquier usuario. Pspice, que es una derivación de SPICE para la simulación de circuitos electrónicos integrados, está siendo utilizado a nivel internacional para realizar simulaciones de circuitos electrónicos de potencia. Pspice tiene la ventaja de ofrecer una versión demo gratuita del paquete con suficiente capacidad para analizar diseños de circuitos de potencia que no requieren de tantos elementos como los circuitos integrados. b) Disponibilidad de los modelos para todos los componentes del diseño Se refiere a que el simulador contenga los modelos de todos los dispositivos utilizados en el diseño a simular. Aquí la desventaja de Pspice es que teniendo su origen en la simulación 2 Tesis: Lksamllo e Implemntaci6n de un Rocedimiento de Exüacción de Padmetms para un Modela Fisico de IGBT J CAP~TULO 1 . 1 -!%P.- * INTRODUCCI~N de circuitos integrados de baja potencia (microelectrónica) no contiene modelos adecuados para dispositivos de potencia, con excepción del IGBT, cuyo modelo está disponible a partir de la versión 7.0. De manera general los modelos se pueden clasificar según la técnica de desarrollo en: e Modelo de caja negra Modelo de circuito equivalente Modelofísico La ventaja del modelo de la caja negro, es que sólo describe la dependencia de las variables de entrada con respecto a las variables de salida en forma de una caja negra y la desventaja es que sólo es válido en el área de operación medida. El modelo del circuito equivalente es básicamente un circuito compuesto por elementos que contiene el mismo simulador y que de alguna manera representan el comportamiento del dispositivo asimular. La ventaja es que la simulación es relativamente rápida dependiendo del número de dispositivos y la desventaja es que los parámetros de los elementos que contiene el modelo limitan la capacidad del dispositivo. El modelo físico es la representación más fiel del comportamiento de un componente a modelar debido a que en este modelo se toman en cuenta los parametros físicos del semiconductor. Esto trae como ventaja la validación general en cualquier área de operación y su desventaja es que el tiempo de simulación puede ser mayor según el tipo de implementación. Por otra parte según el modo de implementación en el simulador, los modelos se pueden clasificar en: w e e Macromodelo de tipo BM Macromodelo estructural Modelo en códigofuente En el macromodelo tipo BM (Behavioral Modeling) las ecuaciones se representan por medio de fuentes controladas de corriente y voltaje. La ventaja es que se pueden implementar en cualquier simulador que contenga la opción BM (Behaviour Modeling) y la desventaja es que puede presentar problemas de convergencia, así como mayor tiempo de simulación dependiendo de la complejidad del modelo implementado. Cuando se habla de un macromodelo estructural se refiere a la implementación de un modelo como circuito equivalente. Y en el modelo en códigofuente las ecuaciones que describen el comportamiento del dispositivo se programan en el lenguaje del código fuente del simulador. Este método está apoyado solamente por los programas de simulación con un sistema de modelado abierto. De esta manera se garantizan simulaciones estables y rápidas aún para modelos complejos ya que se trata de un modelo intrínseco. La desventaja es que las subrutinas sólo funcionan en un sólo simulador y la implementación es dificil y tardada. Tesis: Desarrollo e Implementacián de un FYwtdimiento de Extracción de Padmetros para un Modela Física de IGBT 3 CAPíTULO 1 INT R ODUccIóN c) Disponibilidad de los parámetros para los-modelos de todos los componentes utilizados Se refiere a que el diseñador disponga de los parámetros de los modelos para cada componente del diseño. Hoy en día los simuladores suelen incluir extensas librerías de modelos parámetrizados (modelos con parámetros de componentes reales) de diferentes fabricantes, y con frecuencia los mismos fabricantes proporcionan estos modelos para sus dispositivos en diferentes simuladores. Los parámetros de los modelos en el simulador son los mismos para cada modelo; lo que hace diferente al dispositivo de otro fabricante o de otras caractensticas es el valor numérico que contiene cada modelo en su respectivo parámetro. En cambio, el número y clase de parámetros de un modelo dependen no sólo del dispositivo a simular, sino en gran medida del tipo de modelo utilizado para dicho dispositivo. Los parámetros típicos de un modelo físico se pueden dividir en: . b Constaniesfísicas.' constante de Bolzmann, voltaje térmico, carga elemental,... etc. Parámetros del semiconductor: constante dielbctnca, concentración intrínseca, movilidad, ... etc Parámetros de diseño: ancho de la zona n-, dopado, superficie activa del chip,... etc. Parámetros eléctricos: corriente de saturación, transconductancia, voltaje de umbral,... etc. Las constantes físicas son valores generalmente establecidas; los parámetros del semiconductor son constantes establecidas particularmente por la física de los semiconductores; los de diseño son parámetros que determinan la constitución del dispositivo y los parámetros eléctricos al igual que los de diseño determinan las caractensticas de operación de un dispositivo. Del punto anterior resulta que la disponibilidad de parámetros de los componentes reales (diferentes tipos y fabricantes) es esencial para llevar a cabo la simulación. Tomando en cuenta esta necesidad y el hecho de que los modelos fisicos (que describen mejor el comportamiento dinámico de un dispositivo) de un mismo componente suelen tener parámetros muy similares, el trabajo propuesto se enfoca a la extracción de parámetros estructurales y eléctricos para modelos físicos. 1.2.2 El IGBT (Transistor Bipolar de Compuerta Aislada) El IGBT es un dispositivo semiconductor de potencia que combina las ventajas de un MOSFET de potencia con las ventajas de un transistor bipolar. De esta manera se obtiene un dispositivo muy versátil en cuanto a un control sencillo relacionado con bajas pérdidas por control debido a la tecnología unipolar del MOSFET y la inyección de cargas minoritarias, (es decir, la modulación de la resistencia en la zona n-) y relacionado con bajas pérdidas por conducción debido a la tecnología bipolar del transistor BJT intrínseco [2],[3]. Hoy en día el IGBT ocupa un lugar muy importante en el área de aplicaciones de mediana y alta potencia [4], [SI.(Fig. 1.2.1) 4 Tesis: Desarrolloe Implemeniaci6n de un Procedimiento dc Extracci6n de Par6memr para un Modelo Fisico de IGBT A 4 Fig. 1.2.1 Aplicación de los dispositivos de potencia controlados. Existen dos tipos de estructuras de IGBT's que son la estructura PT y la estructura NPT [ 6 ] ,[7] (Fig. 1.2.2). La tecnología PT (Punch Through) contiene una capa epitaxial de dopado n+ llamada también capa "buffer" que se encarga de limitar la expansión del campo eléctrico hasta la unión pn, mientras que la tecnología NPT. (Non Punch Through) posee una oblea homogéneamente dopada con n- en ausencia de la zona buffer con un emisor p implantado en la parte inferior de la estructura con características específicas (muy delgada y de bajo dopado) llamado también emisor transparente [8]. si02 1"" Comp"& emis r base n. X Coleclm IGBT -PT Colecto! IGBT-NPT Fig. 1.2.2 Estructura del IGBT de tipo PT y NF'T. Asimismo el tiempo de vida de los portadores (Tau) en la base del IGBT (zona de deriva n-) de tipo PT está controlada a través del métodos de reducción del tiempo de vida, mientras que en el IGBT de tipo NPT este parámetro no está controlado y tiene un valor muy alto (cercano de 100 ps). Esto tiene como consecuencia que la distribución de portadores en el IGBT-NPT sea uniforme, mientras que en el caso del IGBT-PT se tiene una concentración elevada del lado del emisor que decae abruptamente hacia el colector del transistor pnp interno (Fig. 1.2.2). Tesis: Desarrollo e Implemfación de un Procedimientode Extracción de P a t h e m s para un Mcdelo Físico de IGBT 5 CAPiTuLO 1 INTRODUCCI~N 1.3 Justificación En el mercado existen varios paquetes que ofrecen el cálculo de circuitos eléctricos y/o electrónicos y una gran cantidad de simuladores han sido desarrollados y utilizados en universidades o empresas de la industria privada. Entre las opciones más atractivas se cuentan los simuladores de SPICE (Simulation Program with Integreted Circuit Emphasis) que son suficientemente poderosos para las aplicaciones de la electrónica de potencia. Ya que SPICE y sus derivados [9],[10],[1 I] han sido desarrollados inicialmente para el diseño de circuitos electrónicos integrados, que no incluyen modelos de dispositivos semiconductores de potencia [12], [13], [14], [15] o bien incluyen en sus librerías pocos modelos que no cumplen con los requerimientos de muchos tipos de simuladores, sobre todo en cuanto a la precisión. De todas las versiones de SPICE, el programa de simulación Pspice [1 I], [16] es muy atractivo, ya que no tiene un costo muy elevado (se puede utilizar en computadoras personales y tiene una versión de evaluación gratuita de alta capacidad) y es uno de los simuladores más difundidos entre los diseñadores de circuitos eléctricos yio electrónicos. Pspice ofrece la posibilidad de variar los parámetros de los modelos de los componentes. De esta manera se puede lograr teoréticamente la simulación de cualquier tipo de IGBT que no esté contenido en la librería de Pspice, con sólo especificar los parámetros adecuados. El problema real es que los modelos fisicos contienen parámetros de diseño y eléctricos que no están disponibles ni por el fabricante en sus hojas de datos. Por lo tanto se necesita una herramienta que permita extraer estos parámetros por medio de mediciones eléctricas. De esta manera, el usuario podrá simular cualquier IGBT. 1.4 Modelado del IGBT Un modelo para redes eléctricas y electrónicas es la representación matemática del comportamiento de un dispositivo, donde las variables de entrada son los voltajes y las variables de salida son las comentes, de tal manera que un dispositivo se pueda representar por un sistema de ecuaciones y dependiendo de la técnica de desarrollo y la implementación resultará un modelo que describa con más o menor precisión el comportamiento estático y dinámico. La mayor precisión se puede lograr con un modelo fisico que comtemple las ecuaciones de la fisica de los semiconductores. Es por eso que en este trabajo de tesis los modelos a utilizar de los IGBT’s son basándose en el modelado fisico. El aumento en la frecuencia de operación de los circuitos electrónicos de potencia resulta también en un aumento de las pérdidas por conmutación como parte de las pérdidas totales del interruptor. Tomando en cuenta este aspecto, es importante que los modelos de los interruptores describan correctamente el comportamiento dinámico del dispositivo, como por ejemplo la cola de apagado de comente en el IGBT. 6 Tesis: Dcrarmllo e Iii~plemenlaciónde M Rocedimiento de Emcción dc Padmcbas para M Madelo Físico de IGBT , /I ..-w ...,., ,- < I EC;*1U.c, t- INTRODUCCI~N CAPhULO 1 En la literatura se encuentra una gran cantidad de modelos para dispositivos semiconductores de potencia desarrollados para su uso en simuladores de redes eléctricas y electrónicas, tanto de los componentes clásicos como de los nuevos dispositivos que se ofrecen en el mercado [17], [18]. Una parte de los modelos publicados para el IGBT consisten de macromodelos que contienen dispositivos básicos con modelos estándar conocidos. Otra parte de los modelos se representa a nivel matemático, lo que significa que se pueden utilizar tal cual en programas de simulación de circuitos, varios de estos modelos han sido ya implementados en diferentes simuladores ,I Modelo del IGBT implementado en el código fuente de Pspice El modelo estándar del IGBT fue implementado en el código fuente de Pspice por G.T. Oziemkiewicz en la universidad de Florida como tesis de ingenieria en 1995 [19], basándose en un modelo físico desarrollado por A. R. Hefner, Jr [20]. Oziemkiewicz no contempló el modelo completo que desarrolló Hefner originalmente simplificando las ecuaciones (para SABER); P.e. eliminando la dependencia de la temperatura de los parámetros y no considerando a los portadores en la zona de carga de espacial. Este modelo considera la estructura típica de un IGBT-PT, por lo que no es adecuado para la simulación de la tecnología con emisor transparente. En la Fig. 1.4.1 se presenta el circuito equivalente de este modelo. ; COienOi WT (parte bipolar) Nomenclatura Corriente del canal del MOSFET Corriente de estado estable del colector Comente de estado estable de la base Comente de multiplicación de avalancha Resistencia de la base Capacitancia y carga compuerta-fuente Capacitancia y carga drenaje-fiente Capacitancia y carga de compuerta-drenaje Capacitancia y carga emisor-base Capacitancia y carga colector-emisor Capacitancia y carga de multiplicación de avalancha Nodo del emisor en BJT interno Nodo de la base en el BJT interno Nodo del colector en el BJT interno Nodo del drenaje en el MOSFET interno Nodo de la fuente en el MOSFET interno Nodo de la compuerta en el MOSFET interno o Emisor E Fig. 1.4.1 Circuito equivalente del modelo del IGBT en Pspice (IGBT-PT). Tesis: Desarrollo e Implemntaci6n de un Pmccdimiento de Extracci6n de ParSmetms para un Modela Fisico de IGBT 7 CAPíTULO 1 MTRODUCCIÓN La Tabla 1.4.1(a) muestran las variables que tiene el sistema de ecuaciones (APÉNDICE 2) que representan el modelo y la Tabla 1.4.1(b) muestra los parámetros que necesita el modelo. Tabla 1.4.i(a) Variables del sistema de ecuaciones del modelo estándar del IGBT en Pspice. Variables de entrada V, Vis Vdn v,, Voltaje compuerta-fuente Voltaje drenaje-fuente Voltaje drenaje-compuerta Voltaje emisor-base Variables de salida Irnos I,,, Ibrr Comente del canal del MOSFET Corriente de estado estable del colector Comente de estado estable de la base ImUu Comente de multiplicación de avalancha RB Resistencia de la base I+Cs Comente a través de compuerta-fuente I+Cb Corriente a través de drenaje-fuente Comente a través de compuerta-drenaje I-tC,b Comente a través de emisor-base I + G Corriente a través de colector-emisor 1+Cmul, Comente a través de la capacitancia y carga de multiplicación de avalancha Tabla !.4,I(b) Parámeiros del modelo estándar del IGBT. Parámetros físico y del material Mun MUP 4 D. DP E,¡ ni M Movilidad de los electrones Movilidad de los hoyos Carga elemental Coeficiente de difusión de electrones Coeficiente de difusión de los hoyos Permeabilidad dieléctrica del silicio Concentración intrínseca de los portadores para el silicio Factor de multiplicación de avalancha Parámetros de diseño AREA AGO WB NB TAU Área del componente Área de traslape compuerta &enaje Ancho metalúrgico de la base (n-) Concentración de dopado en la base Tiempo de vida de recombinación ambipolar Parámetros eléctricos BVF BVN KF KP THETA VT VDT CGS COX0 JSNE 8 Tesis: Factor de uniformidad de avalancha Factor de multiplicación de avalancha Factor de la región del triodo Transconductancia MOS Factor del campo transversal Tensión umbral Tensión umbral de deflexión del traslape compuerta-drenaje Capacitancia compuerta-fuente por unidad de área Capacitancia del óxido compuerta-drenaje por unidad de área Densidad de la corriente de saturación del emisor Desanullo e Implemntación de un Procedimiento de Exhdcción de Parámetms para UD Modela Fisico de IGBT I I l . 01' ,I INTRODUCCI~N CAPiTlJLO 1 Modelo fisico del IGBT-NPT implementado como subcircuito en Pspice En la Fig. 1.4.2 se muestra el circuito equivalente del IGBT-NF'T implementado en Pspice como subcircuito [21], [22], [23], [24]. La diferencia que existe entre este modelo y el anterior en lo que respecta a la implementación es que el modelo del IGBT-NPT utiliza componentes básicos del simulador, ,es decir es un macro-modelo estructural basado en fuentes controladas de voltaje y comente (opción ABM en Pspice). Nomenclatura PNP-EJT &RB cgd, MOCFET RQ Corn uenti in(ew) Q Mos Cdsj CgsO Le I ic IP(W) 1, Corriente total del colector in(x=O) Corriente de electrons en el colector colindando con la zona n ip(x=O) Corriente de huecos en el colector colindando con la base in(x=w) Corricnte de electrones en el emisor colindando con la zona ni p ( ~ = ~Corriente ) de huecos en el emisor colindando con la base Corriente del canal MOS Resistencia de base Capacitancia de union base-emisor Capacitancia de difusión base-emisor Capacitancia de union drenaje-fuente Capacitancia de unión compuerta-drenaje Capacitancia de traslape compuertadrenaje a polarización cero Capacitancia de traslape compuerta-fuente a polarización cero Inductancia parásita de la unión pn del emisor Inductancia parásita de la compuerta Nodo en emisor del BJT interno Nodo en la base del BIT interno Nodo drenaje del MOSFET interno Nodo fuente del MOSFET interno Nado compuerta del MOSFET interno I 6 Emisor Fig. 1.4.2 Repre'sentación del circuito equivalente del modelo del IGBT (IGBT-NPT). La Tabla 1.4.2(a) muestran las variables que tiene el sistema de ecuaciones que representan este modelo y la Tabla 1.4.2(b) muestra los parámetros que necesita el modelo. Tesis: Dcsarmllo c Impleni-ntaeibn dc un Pmeedimienla de Exhacci6n de Padamems para un Modela Físico de IGBT 9 I ~ ~~ CAP~TULO1 INTRODUCCIÓN Tabla 1.4.2(a) Variables del sistema de ecuaciones del modelo del IGBT implementado en Pspice como subcircuito. Variables de entrada Variables de salida Voltaje compuerta-fuente Voltaje drenaje-fuente I,d Voltaje drenaje-compuerta I,, Voltaje emisor-base rbd Voltaje base-drenaje In(x=O) Corriente de electrones en el colector colindando con la zona n Ip(x=O) Comente de huecos en el colector colindando con la base In(x=w) Comente de electrones en el emisor colindando con la zona nIp(x=w) Comente de huecos en el emisor colindando con la base Imos Comente del canal MOS & Resistencia de base I+Cb, Corriente a través de la capacitancia de unión base-emisor I+Cbcd Comente a través de la capacitancia de difusión base-emisor I+Cdu Corriente a través de la capacitancia de unión drenaje-fuente I+Cgdj Corriente a través de la capacitancia de unión compuertadrenaje I+CgdO Comente a través de la capacitancia de traslape compuertadrenaje a polarización cero I+C,,O Corriente a través de la capacitancia de traslape compuertafuente a polarización cero I,, Idr Tabla 1.4.2(b) Parámetros del modelo del IGBT implementado como subcircuito. Parámetros fisico y del material q k vT ni VD E,¡ Ii. PP D. DP D VS. VID Carga elemental Constante de Bolzmann Voltaje térmico Concentración intrínseca del silicio Voltaje de difusión Constante dieléctrica del silicio Movilidad de electrones Movilidad de huecos Constante de difusión de electrones Constante de difusión de huecos Constante de difusión ambipolar Velocidad de saturación de electrones Velocidad de saturación de huecos Parámetros de diseño Nn=NB WE A A.d Vlh KP Theta L"e n CPO CgdO L, L, R, 10 Dopado de la zona nAncho de la zona nÁrea activa Área de traslape compuerta-drenaje Partimetros eléctricos Voltaje de umbral Parámetro de transconductancia Parámetro de la modulación de la movilidad Comente de saturación de electrones en el emisor Coeficiente de emisión de la unión pn Capacitancia de traslape compuerta-fuente a polarización cero Capacitancia de traslape compuerta-drenaje a polarización cero Inductancia parásita del emisor Inductancia parásita de la compuerta Resistencia de la compuerta del poli-silicio Tesis: Desarrollo e Implemntación de un Rocedimiento de Extracción de Padmenos para un Modelo Flrico de IGBT * CAPiTULO 1 I ' .* .c19r. INTRODUCCI~N El modelo del IGBT implementado en Pspice se comporta como un transistor bipolar pnp cuya base es controlada por un MOSFET y por ende consiste en una parte unipolar y una parte bipolar. El MOSFET interno fue descrito con el modelo estándar disponible en Pspice. La comente de drenaje es determinada por una fuente de comente controlada usando las ecuaciones de Shockley. Solamente los elementos parásitos de las capacitancias de compuertadrenaje y drenaje-fuente han sido agregados externamente considerando sus dependencias de voltaje y comente. Todos los elementos internos consisten de resistencias, capacitores y fuentes controladas de voltaje y comente. El modelo del transistor bipolar interno contiene un diodo entre base y emisor, alimentando la comente de electrones en la colindancia del colector con la región n- (In(x=O)), la resistencia de base RBque depende del voltaje y de la comente y dos fuentes de comente para las comentes de huecos en la colindancia del colector y el emisor con la zona n- (Ip(x=O) y Ip(x=W)). El diodo base-emisor fue descrito utilizando el modelo de Pspice disponible internamente. Los elementos concentrados del circuito RB, Ip(x=O), y Ip(x=W) son representados por fuentes de comente y voltaje (dispositivos E y G) controlados por un grupo de ecuaciones analíticas derivadas de la fisica de los semiconductores. Es importante mencionar que los modelos presentados anteriormente (Fig. 1.4.1 y 1.42) presentan muchos parámetros en común. Más aun, muchas de las ecuaciones que contemplan cada modelo son iguales. Por lo tanto, la metodología de extracción de parámetros aplica en muchas ocasiones para ambas estructuras. Sin embargo existen algunas ecuaciones totalmente diferentes, lo que se debe parcialmente a las distintas tecnologías. 1.5 Estado del arte de extracción de parámetros La extracción de parámetros es básicamente la obtención de los valores de las variables de entrada que necesita el modelo matemático para proporcionamos algún comportamiento requerido. Existen diferentes parámetros, como las constantes físicas, parámetros del silicio, de diseño, y parámetros eléctricos (los cuales para su extracción necesitan algunos métodos de mediciones eléctricas entre otros). En [25] se propone una forma de extraer algunos parámetros eléctricos basándose en un modelo de IGBT-PT con una configuración Hamerstein. En este artículo se asegura que el comportamiento es casi tan bueno como un modelo físico. Los parámetros en DC de este modelo son obtenidos directamente de la curva estática de V-I mediante el ajuste de mínimos cuadrados. Otro procedimiento es usar para cada VGEtres constantes A l , A2,A3 hasta extraer la correspondiente curva estática de V-I ( IC vs VCE). Sin embargo, algunos parámetros son obtenidos mediante la simulación de un modelo físico y utilizando las hojas de datos del fabricante de IGBT's. Si el modelo fisico es utilizado para extracción de parámetros, las funciones de rampa pueden ser también eficientemente utilizadas para extraer los parámetros de capacitancias (Fig. 1.5.1). Tesis: Desamllo c Implcmnitación de M PmediMniui de Extraceidn de Pacimthnr para un Modelo Fisim de IGBT 11 INTRODUCCI~N CAPiTULO 1 3) Fig. 1.5.1 (1). Circuito para extraer C, (CG~). (2). Circuito para extraer,C , (Card). (3). Circuito de prueba para extraer C.XO(Cos). Utilizando métodos de mínimos cuadrados, los parámetros pueden ser extraídos por mediciones eléctricas o por simulación de modelos fisicos. También se puede utilizar otros sistemas de identificación lineales y no lineales para extraer parámetros. En 1261 se presenta una mejora del modelo del IGBT en Pspice para vencer a los modelos incompletos. También se desarrolló un procedimiento con nuevos métodos de extracción de parámetros. El modelo propuesto es validado comparando algunas simulaciones de trazos experimentales en condiciones estáticas y dinámicas para IGBT's rápidos y lentos en diferentes condiciones de trabajo. En [27] no se presenta ninguna relevancia en los efectos de la parte del transistor PNF' ni en los efectos de la parte MOSFET, además la estructura de la base y la condición de alta inyección no son consideradas. En cambio en [26], los parámetros usados para definir la ganancia de corriente y la transconductancia del transistor interno son obtenidos suponiendo elementos ideales. Por lo tanto esto no permite el perfecto modelado del comportamiento del IGBT en todas las condiciones de comente y voltaje. Hasta ahora no se ha presentado en la literatura una metodología completa de extracción de parámetros que contemple las dos estructuras de IGBT. Por eso, esta tesis centra su importancia en diseñar e implementar un procedimiento de extracción de parámetros para el modelo fisico del IGBT tanto de estructura PT como NPT. 12 P Tesis: Desarrollo e Implemntaci6n de un Procedimiento de Exmcci6n de Parhcms para M Modelo Físico de IGBT ANÁLISIS DEL MODELO IGBT CAPiTULO 2 CAPITULO 2 ANÁLISIS DEL MODELO DEL IGBT 2.1 Introducción En este capítulo se presentan las ecuaciones del modelo fisico del IGBT que involucran a los parámetros a extraer. De igual manera se describe el fenómeno que describe cada ecuación. Por otra parte, se muestra un análisis de variación de parámetros utilizando el modelo estándar de IGBT del simulador de Pspice. La finalidad de presentar estas simulaciones es conocer la sensibilidad de los resultados de simulación ante variaciones de parámetros del modelo para tener en cuenta que tan precisos deberán ser obtenidos estos durante la metodología de extracción. Así mismo se presentan tablas comparativas para identificar que parámetros son mas influenciados en condición estática y dinámica respectivamente. Tesis: Dcsarmllo e Implemnfación de un Procedimientode Exmcci6n de Px6mbos para un Modelo Físico de IGBT 13 ANALISIS CAPiTULO 2 DEL MODELO IGBT 2.2 Ecuaciones del modelo del IGBT Las ecuaciones que se presentan en esta sección implican directa e indirectamente los parámetros a extraer. Pot lo tanto, se hará omisión del juego completo de ecuaciones que describe el comportamiento del IGBT (APÉNDICE 1 y 2). Irnos(VGS) + KP, Theta, Vr, KF La representación básica de un IGBT consiste en una conexión darlington entre un MOSFET en la entrada y un transistor PNP en la salida [26], [29], [27], [28] como se muestra en la Fig. 2.2.1 T- emisor Fig. 2.2.1 Circuito básico equivalente del IGBT. La ecuación generalmente usada para representar las dos contribuciones de la comente total (IC) es la siguiente [20], [29], [30]: (2.2.1) IC= Irnos + Ipnp = [1+P(Ipnp>VCE)IIrnos. Donde P(ipnp,VCE)] es la ganancia bipolar expresada como una función de la comente bipolar y VCE es el voltaje aplicado entre colector-emisor. Así, las ecuaciones más aproximadas para describir el comportamiento de la comente del MOSFET I,, en función de VGS son las siguientes relaciones conocidas como las ecuaciones de Shockley [29], 1201, [lo], ~ 4 1~311: , Imos= o (2.2.2) KF% i + Theta.(vCE- vT) KP'(VGS- ')T' _. Tesis: (2.2.3) (vCS- vT)'vDS (2.2.4) Dcsamllo c Im!Aemoiaci6n dc M Procedimiento de E m c c i 6 n de Parhems para un Modelo Flsieo de IGBT ANÁLISIS DEL MODELO IGBT CAPiTULO 2 Este conjunto de ecuaciones describe el comportamiento del MOSFET interno del IGBT, tanto de la esiructura PT como NPT, durante tres fases de operación. Estas fases ocurren cuando el canal aún no está formado (2.2.2), cuando el canal se encuentra en la región lineal (2.2.3) y cuando el canal se encuentra saturado (2.2.4). Por lo tanto de la ecuación (2.2.4) se puede extraer Kp, Theta y VT conociendo previamente la función de Irnor(V~s) y de la ecuación (2.2.2) se puede extraer independientemente Kp conociendo previamente los demás parámetros involucrados. Esta función representa la capacitancia total que existe entre compuerta-drenaje(CGo) en donde esta capacitancia es la unión sene de una capacitancia de Óxido (Coxd) y una capacitancia de deflexión (Cgdj) (Fig. 2.2.2) la cual se encuentra en función del voltaje aplicado VOS[201, [291, P81, [311, [ill, [241, 1321. Emisor w Y Compuerta i P+ I Z Cebj+Cebd I n u Anode Colectoi Fig. 2.2.2 Estructura interna del IGBT de tecnología NPT. Para describir con mayor precisión el comportamiento de COSse muestra la siguiente ecuación: ,I 'DG= I (2.2.5) 'oxd cdgj'coxd 'dgj QDGECoxd'VDS 'oxd (vGS - 'TD) "DS (2.2.6) (2.2.7) Tesis: Desamillo e Implemntacih de un h e d i m i e n t o de hxbdeeión de Par6mms p" un Modelo Físico de IGBT 15 CAP~TULO2 ANÁLISIS DEI. MODELO IGBT De la ecuación (2.2.5) se puede observar que CDGes aproximadamente igual a Coxd, siempre y cuando el voltaje aplicado entre drenaje-fuente VDSsea muy pequeño ((VGS-VTD) 2 VOS).Esto es debido a que c g d j está en función inversa al VDS.Por otro lado, cuando VDS> (VGS-VTD)se tiene que CGDes igual a Cgdj en serie con Esto se debe a que c g d j toma valores significativos y por lo tanto la capacitancia resultante es el producto sobre la sumatoria de ambas. La evolución que presenta VDSpermite la extracción de Coxd y c g d j por medio de las ecuaciones (2.2.5) y (2.2.6) respectivamente, y por medio de la intersección de los dos comportamientos se hace posible la extracción del voltaje de umbral de deflexión entre compuerta-drenaje(VTD) igualando las condiciones de cada ecuación. El dopado en la zona n- (NE)es un parámetro de diseño y por lo tanto es más dificil de determinar que un parámeiro eléctrico; sin embargo existen técnicas aproximadas para su obtención, aunque algunos autores lo suponen por “default” [20], [28], [29], [18], [31], [24], [32], [33]. Una técnica para extraer NBes hacer uso de la ecuación (2.2.8), la cual involucra directamente la medición estática del voltaje de ruptura (VB~) y se sustenta por la analogía de una unión pn inversamente bloqueada en estado de ruptura [15], [34]. (z)2 3 - 60. N,= . 1Ol6 (2.2.8) vB, WB(NBr VBr) WB Cuando se aplica el voltaje VBren un IGBT, se forma en la unión pn un campo eléctrico critico lo cual da como resultado la expansión del campo eléctrico al ancho de la base en la zona ñ(WB) (Fig. 2.2.2). Considerando esto, se puede hacer uso de la ecuación (2.2.9) para determinar WB [APÉNDICE 11, [15]. (2.2.9) 16 Tesis: Dcsarmllo e Implementsci6n de un Procedimientode Exmccih de Padmetros pata un Modelo Físico de lGBT ANALISIS DEL MODELO IGBT CAPíTULO 2 La ecuación (2.2.9) aplica para la estructura PT y NPT, aunque resulta poco precisa la medición de VBrpara la estructura PT debido a la presencia de la zona buffer, la cual se encarga de limitar el campo eléctrico. CgdJ(V0G)+ &D(cgdj) + &D cdsj(vDS) -+ ADs(Cdsj) + ADS -+ A Con la medición directa o indirecta de C g d j ( V ~y~ CdsJ(VDS) ) se pueden obtener las superficies de traslape entre compuerta-drenaje (&D) y drenaje-fuente (ADS)(Fig. 2.2.4) Con estas dos superficies se obtiene el área activa (A) la cual es la sumatoria de ambas [APÉNDICE 11, [20], [29], [9], [24], [32], [33]. Las ecuaciones que involucran estas areas son las siguientes: (2.2.1O ) (2.2.11) A= AGD+ A,, I,-(t) (2.2.12) + Tau e Isne "IGBT-PT" La ecuación que se propone en este punto parte de una solución analítica [20], [18] que toma la comente de base en estado estable (Ibss) descrita por la ecuación (2.2.13). Esta surge de las ecuaciones de transporte ambipolar para las condiciones de frontera del transistor. (2.2.13) Tesis: Desamlla e Implemntacibn de un h e d i m i e n t o de Exbacción de ParSmetrospan un Modelo Fisico de IGBT 17 CAPÍTULO2 ANÁLISIS DEL MODELO IGBT La solución analítica de (2.2.13) en función del tiempo da como resultado las ecuaciones ( 2 . 2 . 1 4 ) ~(2.2.15) [18]. (2.2.14) Tau - Isne 2 2 2 q .A .Dp,ni IK.Tau (2.2.15) Por medio de la ecuación (2.2.14) se puede obtener Tau realizando simplemente un despeje de la ecuación y realizando la medición durante la cola de apagado de la comente de colector (IT(t)) AQB(VCE)4 Isne "IGBT-NPT" ' Debido a que la estructura del IGBT-NF'T tiene como característica principal la capacidad de distribución homogénea de portadores minoritarios en la base del transitor bipolar, ocurre que la fase de redishibución es mas pronunciada. Tomando en cuenta que técnicas de control del tiempo de vida, se puede considerar Tau como un parámetro por default, el cual tiene un valor elevado. Por otra parte, la intensidad de comente de electrones inyectada al emisor ( h e ) durante el apagado del IGBT, está relacionada con la carga desalojada en la base n-, tal como se muestra en la ecuación (2.2.16) y (2.2.17) analíticamente analizadas en [24]. (2.2.16) donde: (2.2.17) 18 Tesis: Desamllo e Implcmcntación de un Procedimiento de ExbacciOn de Parámetmr para un Madelo Fisico de lGBT E ANÁLISIS DEL MODELO IGBT CAPíTULO 2 2.3 Variación de parámetros Condición estática Lo que se pretende con la variación de los parámetros en condición estática es tener una referencia de que tanto afecta la variación de los parámetros durante el estado estable del IGBT. Esto se logra por medio de un análisis en CD (Comente Directa) y consiste básicamente en proporcionar al IGBT un voltaje de compuerta-emisor (VGE)y simular ia comente de colector (Ic), todo en estado estable. Lo anterior se puede obtener por medio de un esquema tipo cortocircuito con un tren de pulsos escalonados, en donde cada pulso proporciona un voltaje estable diferente con una duración de aproximadamente 10 ps por una tiempo de apagado de 160 ps. (Fig. 2.3.1), esto es para evitar el sobrecalentamiento durante el encendido, ya que el IGBT se encontrará operando en modo corto circuito. Por otra parte, en este esquema se obtiene la medición de Ic(t) e VGE(t) con lo cual se puede eliminar el tiempo, considerando el retrazo de las puntas de medición y obtener la función de transferencia típica ( ~ ( V G E (Fig. ) ) 2.3.2). 2W[A] - O 5 Fig. 2.3.1 Corto circuito pulsante. , 7.33 9.67 I2 VGE 14.33 16.67 19[V] Fig. 2.3.2 Función de transferencia típica rC(vGE), Según como la función de transferencia se vea afectada por la variación de algún parámetro, indica si el parámetro es poco sensible, sensible o muy sensible en condición estática. Lo anterior es con la finalidad de detectar que parámetros influyen severamente en esta condición y así mismo para detectar que tan precisa deberá ser la calidad de la extracción. Pspice cuenta con una opción exclusiva para realizar un análisis en CD en donde se necesita un circuito muy simple (Fig. 2.3.3); se define en un menú principal el voltaje inicial, el voltaje final, el intervalo de variación lineal de la variable de entrada (VG) y la variable de salida (IC). En un segundo menú se presenta una variante para poder hacer un análisis paramétrico dentro del análisis de CD. Este fue el tipo de análisis que se realizó en las siguientes simulaciones. Tesis: Desarrollo e Implementación de un Pracedimicnta de Exmcción de Parámmos Dam un Modelo Finca de IGBT ~ I, CAPiTULO 2 ANÁLISIS DEL MODELO IGBT L - Fig. 2.3.3 Circuito para la simulación de la función de transferencia El circuito de la Fig. 2.3.3 es el circuito simulado para el análisis en CD en donde V1=VCE=1OOV, V~=VGE= O...20V. LOS parámetros que se variaron para obtener las diferentes funciones de transferencia se muestran en la Tabla 2.3.1 y en la Fig. 2.3.4 (a,b ...k,l.) se muestran las simulaciones obtenidas. El rango de variación esta comprendido entre +/- 20% del valor nominal. Para este caso se utilizaron los parámetros del único IGBT que contiene la versión demo de Pspice (IXGH40N60). Tabla 2.3.1 Parámetros eléctricos analizados . .V. (a) VT= 4.2 L" I .IC<.<.> +/- 20% . . . . "." @) Kp = 50 AN' +/- 20% ~~ Tesis: Dcsamllo e Implemntaci6n de un Pmcedimimto de Extracei6n de Parsmetros para un Modelo Fisico de IUBT - ."_~ ....................................................................................... ."; ,-; . . . . . . . .-__ . ", I 1m111, xp *- CAPITULO 2 1 . . ....................................................................................... . $. > . I< <.. ..". ............................ ...............................I.n. . . . I* u I 11,11<> ( c ) Theta = 0.02 V ' +/- 20% :/ ANÁLISIS DEL MODELO IGBT . . . . . . . , ........ ~ ......... . ~..... .~ .................................... >," 11. ..., (d) KF= 0.36 +/- 20% .Y ,._ ......................................................................................... . * _......................................................................................... ~~ r ......................................... ,,. // ~ >- I,. (h) Ns = 2E14 &I' +/- 20% ,._ ....................................................................................... .......................................................................................... .. a,, -.:, i , .. "/ I./ . . . ! . . / ./ . >..: . . I I .,e<>,<, u . . . . . . . . . . . . ," . . .......-....................................................I I I" .u (i) WB= 9E-5m +/- 20% I- /.. . 1 2-1 . ' I I .I<<>,,> ., . . .. . / . , I / ...... . . . . . : . . ~ m I v.v< 1" (i)Aco = 18.7E-6mZ+/-20% . I CAPfI’ULO 2 ANÁLISISDEL MODELO IGBT . I.: . . . . . . 11,111, .” . . . ”: u . lo, >I” (k) A = 37.5E-6m2 +/- 20% <.. & . . . II<ZII> , ., . . . . . .I. >.. ‘Vi (I) Tau = 287.56 ns +/- 20% Fig. 2.3.4 Función de transferencia variando los parámetros a extraer Lógicamente los parámetros que más afectan la variación de la función de transferencia son los parámetros estáticos como VT, Kp y Theta los cuales forman parte de la ecuación I m o s ( V ~tanto ~ ) del modelo del IGBT PT como NPT (Apendice 1 y 2). De este análisis podemos destacar que los tres parámetros involucrados son muy sensibles a variaciones dentro de un determinado rango de +/- 20%. Además, existen otros parámetros involucrados en esta variación que son: NB, We, A y Tau, los cuales influyen ligeramente en la variación, mientras que KF, VTD,CGS,C o x & AGD,no presentan gran diferencia. Condición dinámica La Fig. 2.3.5 muestra el circuito troceador utilizado para analizar mediante la variación de parámetros el grado de sensibilidad que tiene la comente IC y el voltaje VCEen condición dinámica, mientras se hace variar un parámetro +/- 20% de su valor nominal (IGBT iXGH40N60). Mediante un “análisis performance”, disponible en Pspice, se puede calcular una curva que determine el tiempo de subida (tr) y bajada (tf), Así como el tiempo de retardo (td) de la corriente ICy del voltaje VCEdurante el transitorio de encendido (on) y de apagado (off) (Fig. 2.3.7). HFA25TB60 v2 -& Fig. 2.3.5 Circuito troceador para el análisis transitorio 22 Tesis: Derarmllo e Implemntaci(m de M Pmcedimiento de Emseeibn de Pat-Amebos para un Modelo Físico de IGBT .. ANÁLISIS DEL MODELO IGBT CAPiTULO 2 lmax VCE. ... !... 12 11 10 IO 13 11 13 12 encendido Apagado Fig. 2.3.6 Defn~iciónde td, t r y tfdurante los transitorios encendido-apagado En la Fig. 2.3.6 se define td, t r y tf en donde: tdi(on) Tiempo de retardo de la comente IC durante el encendido, para tdi(on) = tl-tO donde tO es el comando de encendido de VGy tl es el 10% de IC nominal tri(on) Tiempo de subida de la comente IC durante el encendido, para tri(on) = t2-tl donde t l es el 10% de ICnominal y t2 es la corriente máxima de IC(Icmax) tfv(on) Tiempo de bajada del voltaje durante el encendido, para tfv(on) = t3-t2 donde t2 es la y t3 es el 3% del VCE. comente máxima de IC(Icmax) tdv(off) Tiempo de retardo del voltaje VCEdurante el apagado, para tdv(off) = tl-tO donde tO es el comando de apagado de VG y tl es el 10% de VCEnominal trv(off) Tiempo de subida del voltaje VCEdurante el apagado, para trv(off) = t2-tl donde tl es el 10% de VCEnominal y t2 es VCEnominal tfi(off) Tiempo de bajada 'de la comente IC durante el apagado, para tfi(off) = t3-t2 donde t2 es VCEnominal y t3 es el 0.2% del VCE. ........................................................................................... ,b. - I 1.b- .......................................................................................... Idi(0" ................................... ................................... 2.1 ; ................. I -16 .. . 1 ul211:il .......................................................................................... I 8- .................... ... 14.5 6 I v A 0 112111 16- ..................I..i .V..i.P..i..l.i . 1.1 ................................... 1.1 4.1 iiimhsiiizli:Li,ii.o-(.nB utai~,rtlipll:rl.w.ltuinwi(zw).II.t) B' i 1.2 ,I" .i ; ............................................iimrsaiini ............................................... - : - w>; I. .................................................................................. ~ I ~ .............. .............. ............. .......1 1 llm tlhi Ilm llmr 1iW ENCENDIDO Tesis: 1.1 * utnthlll9llll.l.l.lI-I l ~ Y p d l u [ l l l : L ~ . ~ ~ . l l -..........................................iicnwwn ................................................ I ,mr IhliOilI 1;1.2 1.2 1.1 1.1 4.1 I bWthiiicino.i.i).lim~ x~imaspttiirizi~~.i~,i~ntmMiiuziii.i.1) I ~ t i q z l l : l L 5 , l l -ufhu~)dllc(2ll).w.l) ,111 2.1 ~ -m ~ .lriionl I+ lillOlil 1 Tluionl " (a) V, = 4,.2 v +I- 20% APAGADO Desarrollo e ImpIementaci6n de un Fmcediminilo de Extracci6n de Parámetros para un Modelo Físico de IGBT 23 CAPfTULO 2 24 Tesis: ANÁLISIS DEL MODELO IGBT Desarmllo c Implemntación de un Prnedimienui de Extracción de Parhems para un Modelo Fisieo de IGBT ANÁLISIS DEL MODELO IGBT CAPiTULO 2 11Wi .............................. ......................................... +- ~ B ' I \\ , I I I 1 Ih(0lr) .. I<............................................ ' 1.1 2.1 , TrVlOll] 1.1 I ............... .........?.... 1.d 1 1.1 ~t~hllUllll:1~,~i,l~-l.I2h~ I IlfnthYprtlU(lll:~),W,ll- IitNthY(~(lll:1),lI,i] * Iit~th~ll~llill,l.I,ll-XitlRhlpdllllll:ll.1.1) ........................................... 1' ! uJ..: . .............. I I Y!U)' I o uini:cI . . It* ENCENDIDO Tesis: '.Iliiolll -* ,,u ..... ................... ,I,.................................... ........................................... 1.b-...................... (e) VTD =2.657 +/- 20% .............. ............................. I i ............. lii APAGADO üesarmllo e Irnplemnitaeiói de un Pmcedimiento de Extracción de Padrnems pani un Modelo Flsico de IGBT !I :I 25 CAPiTULO 2 ANÁLISIS DEL MODELO IGBT . flh ,111. 1.b. .......................................................................................... .......................................................................................... 1.b........................................................................................... . ~ I l i l O l I lj , :-\. I . I th A. I i m»; ........................................ ~l,ioiii I+ ........ I . \ . 0 U l ~ l [ o [ l l l : ~ ~ , l l , lI ~Ul ~. nt ~~~ l [ i [ l l l : ~ l , q qU,tl~k~ ~ l l 1 1 : t l , 1 I . l l xatnmiitiiiii,i.z,ik ciuaqrtiiiiii:ti.n.i) IIEI4HIIIUXUJ , ......................................................... .......................................................................................... .- ENCENDIDO 26 Tesis: (9) Cord= 53.1 nF +/- 20% APAGADO Desarrollo e Im~lemnitaci6nde un Rocedimiento de E m c c i h de Pafámhns para un Modelo Flsico de IGBT ..... LArllVlr" L ,,h _.... ...................................................................................... . ...... ................................. Di' I 11 I11111:I) ,u ........................................................................................... .A 8 I 116 i Ulll1:E) ................... , (h) Ne = 2E14 crn-l+/- 20% 1.b........................................................................................... ,lh ........................................................................................... I----\ WL ... .......................................... 0 0 n(l1l:e) Tesis: : y . . : . . 1--:- ,IN ____._________ .................................................................... I ~ u - . ~ . . . . . Desarrollo e Implementación de un Procedimiento de Exmcción de Parhemis para M Modela F U u i de IGBT ~ . CAPiTULO 2 ANÁLISIS DEL MODELO IGBT I - - - : ni»; ......... -. O'.. ,+ ..................................I I+.................................................... Trvlall) :................... , I ............__118 ........................................................................................... .................... qfl+ ......... ... ......................................................... I.~ID~III&I i . 8 1 t i m i.iiiiiiibr 0 I IL 0 ENCENDIDO IE(211) 6)GGD= 18.7E-6m2+/- 20% Z.IIII(DDD~ i.itntw i . i i i t t t i ~ ~ lie2 APAGADO .......................................................................................... ,,b- r-<aLd . I 110); 0' ......................................................... lh lilt ENCENDIDO 28 Tesis: (k) 37.5E-6m2+/- 20% APAGADO Desamllo e Implemnfación de un Pmcedimimm dc Exmceián de Parámems para M Modelo Fkico de IGBT I ANÁLISISDEL MODELO ICBT CAPiTULO 2 ................................................ am, iw 0 t v 1@ ..................................... .....1............................. ICIZII) itla itla liw ............. ............. im ENCENDIDO am . m i I 1.11........................................................................................... .. I.lllllllb, 0 1.lllllllDli 1.1111Il1)i~ 1.11d111)i, ll[llll lie 1.4lllldlli5 2.mw1Dn a I (I) 287.56 ns +/- 20% APAGADO Fig. 2.3.7 Transitorio de encendido y apagado utilizando los parametros a extraer Resulta muy dificil, al igual que en el caso anterior, realizar un análisis de sensibilidad porcentual de comente y de voltaje debido a que la salida de comente Ic(t) y voltaje VCE(t) varían tanto en desplazamiento de tiempo (P.e Fig. 2.4.2.a,f,g) como de pendientes en diferentes áreas del dv/dt y di/dt @.e Fig.2.4.2.b,h,i). Sin embargo, se puede hacer una comparación porcentual del tiempo de subida tr, bajada tf y retardo td. 2.4 Resultados de sensibilidad de los parámetros Existen algunos parámetros muy sensibles en el análisis en CD pero que no lo son en el análisis transitorio, como por ejemplo VT y Theta. De igual manera existen otros parámetros muy sensibles en el transitorio que no lo son en el comportamiento estático, P.e Ns y A. La Tabla 2.4.1 muestra los resultados obtenidos de estos dos análisis, en donde se calculó la variación porcentual de td, tr y tf cuando cada parámetro vana +/- 20% de su valor nominal. La Tabla 2.4.2 muestra, de manera resumida, la sensibilidad de los parámetros para los dos análisis por separado, dándonos el grado de precisión con el cual deberán ser obtenidos lo& mismos. Tesis: Desarrollo e Implemniación de un Proeediniiento de Extracci6n de Padmetros para un Mcdclo Fisico de IGBT 29 CAPiTULO 2 ANÁLISIS DEL MODELO IGBT Tabla 2.4.1 Resultados obtenidos del análisis estático y dinámico ANÁLISIS TRANSITORIO Parámetros I Encendido Apagado Tabla 2.4.2 Resultados resumidos de la sensibilidad de parámetros Parámebos V, Entrada +I- 20% 4.2 Sensibilidad Análisis transitorio I Análisis en CD V +++ +++ ++f f++ 50 A" Theta 0.02 V-' KF 0.36 CGS 131.9 nF +++ - Cord 53.1 nF ftt . KP VTo 2.6570 + + + v Nada wtisible - ~" ANÁLISIS EN CD Poco scnsible + ++ - Sensible ++ Muy sensible +++ TCSIS: D~snrrolloc Implemniaci0n dc un Procedimiento de Extracci6n de Parimerror para un Modelo Firico de I C R I CAPiTULO 3 METODOLOGIA DE EXTRACCION CAPíTULO 3 METODOLOG~ADE EXTRACCI~N 3.1 Introducción En este capítulo se abordan las metodologías de extracción que resultaron más adecuadas en el desarrollo de la tesis, se tomaron en cuenta como parámetros de selección la calidad de extracción y sencillez de implementación, considerando que los circuitos resultantes serán montados en un banco de pruebas automatizado como trabajo futuro. ‘l-esis. Oerarrollo e Impleinenlación de un I’rocediniienlo dc Extracción de I’arimetras para un Modelo Fisico de IGDT 31 CAPil’ULO 3 3.2 METODOLOGIA DE EXTRACCIÓN Metodología desarrollada La metodologia propuesta extrae 13 parametros de los cuales 7 son eléctricos y 6 son de diseño, los cuales tienen valores que varían de un dispositivo a otro. La Tabla 3.2.1 muestra los parametros obtenidos con esta metodología. Así mismo se muestra la sensibilidad de la simulación ante variaciones de cada parámetro, en donde los signos -, +, ++, +++ indican nada sensible, poco sensible, sensible y muy sensible respectivamente. Esto es como resultado del análisis paramétrico realizado en el capitulo 2. T a b l a 3.2.1 Parámetros e x t r a i d o s I RESULTADOS DE SENSIBILIDAD DE PAM‘METROS Análisis I Parúmetros eléctricos vT Voltaje de umbral compuena-fuenle KP Factor de transconductancia del MOSFET Theta +++ + Factor de la region del triodo interno del MOSFET VTD Voltaje de umbral d e deliexion compuena-fuente CGS Capacitancia compuena-fuente Cord 1 Capacitancia del oxido en la trayectoria drenaje-compuerta Parúmetros de diseño Nada sensible - Poco sensible + Sensible tc I I CD Sensibilidad +++ +++ Factor del campo transversal del canal del MOSFET KF iransitorio Análisis t + + +++ +++ +++ ++ Sensibilidad Muy sensible ++i Para extraer los parámetros de la Tabla 3.2.1 fue necesario desarrollar una metodologia de extracción, la cual se basa básicamente en dos tipos de medicione: estáticas y dinámicas; estas, se subdividen de acuerdo al tipo de parámetro y circuito.de prueba usado para la extracción (Fig. 3.2.1). ~- lcsir: Ocrarrollo c Iniplcmwidci0n de tin Procedimicnto <IC ExiracciOn de Parániciror para un Modelo Fisico dc I G B l CAP~TULO3 I METODOLOCÍA DE EXTRACCION Fig. 3.2.1 Diagrama a bloques de la metodologia de extracción de parametros En la metodología propuesta en la Fig. 3.2.1 es conveniente aclarar que la extracción de I) algunos parámetros involucra el conocimiento previo de otros. Por lo tanto, es necesario definir una secuencia lógica de extracción que nos permita obtener automáticamente todos los parámetros mencionados en la Tabla 3.2.1. La Fig. 3.2.2 muestra un diagrama de flujo que define claramente la secuencia del proceso de extracción. ,I Terir: Oesamllo e Implyenlacinn de un Procedimiento de Exlracckin de PaRrnetros para un Modelo Fisk0 de l C ü r 33 CAP I TULO 3 METODOLOG~A DE EXTRACCION t t V i . KP, Theta, KF. NE.WE. CGS,Coxo, VTO,AGS. A, Tau. lsne Fig. 3.2.2 Diagrama de flujo de la secuencia de extracción de parámetror Para iniciar el proceso de extracción se necesita definir el tipo de IGBT (PT o NPT). Si la estructura seleccionada es PT, se realizarán las mediciones en los circuitos de prueba 1,2,3,4,5,6; si la opción es NPT, se realizarán las mediciones de los circuitos 1,2,4,5, almacenando posteriormente los datos de la medición en archivos con extensión CSV. Después se procederá a realizar la extracción de VT que es necesaria para la extracción de Theta, Kp, KF, Cus, Coxdy VTD.Enseguida el algoritmo preguntará de nueva cuenta que tipo de dispositivo es, para postenormente calcular Nn con el método según sea el dispositivo. se obtendrá A. Continuando, el algoritomo Después se calculará Wo, AGOy con ayuda de hD de nuevo preguntará el tipo de dispositivo y aplicará el método correspondiente para extraer Tau y Jsne concluyendo el proceso de extracción. Los algoritmos fueron impleinentados en el paquete matemático Matlicad V.7. En la Tabla 3.2.2 se muestran los resultados obtenidos para 6 diferentes dispositivos. CAP~TULO3 METODOLOG~ADE EXTRACCION Tabla 3.2.2'Parametros extraidos con las metodologias propuestas * indica que se supone por default 3.3 Extracción de VT,,CGS,Cord,AGDy VT, 3.3.1 VT (Voltaje de umbral) A) Parametro El voltaje de umbral se conoce como el voltaje compuerta-emisor (VGE) mínimo y suficiente para permitir un flujo de comente a través del canal MOS e iniciar la evolución de la comente de colector (IC). En este trabajo, igual que en algunas hojas datos de IGBT's (P.e: IRGPHSOF), VT se obtiene cuando la comente IC es de 250 A. B) Método de extracción La metodologia propuesta para extraer el parámetro de VT consiste en determinar mediante un algoritmo computacional el valor de VU, para el cual la comente IC es igual a 250 PA. Esto se logra haciendo un bamdo de V G por ~ medio de una rampa de voltaje de larga duración (4.5 ms) con la finalidad de que el retardo entre las puntas de comente (611s) no Tesis: Dcranollo e Implcmentiieión de un Procedimienio dc Exiraccih de Parametros para un Modelo Fisico de IGBT 35 METODOLOGiA DE EXTIUCCION CAP¡TiII.O 3 influya en la medición y estabilizar así el voltaje aplicado entre compuerta-eniisor. También se monitorea IC durante el transitorio de encendido del IGBT con carga resistiva, lo cual permite limitar la corriente máxima a través del dispositivo. De esta manera se puede ajustar la escala de medición a un valor muy pequeño y asi obtener la medición detallada de 250 pA (Fig. 3.3.1) EiIi1' IOOLS,, I~.... I ~ . .I /m-.Im /I# C<I ... ....... U T ~ ...... . . I .....~ ~ ~,. >* .!. ..~~.'s61rui.~h .,.I .,.¡ ~~. ~ l u1¿ . . ~ Fig. 3.3.1 Medición de V,, y IC Para obtener VT fue necesario almacenar los datos de la medición en un archivo para posteriormente procesar la información por medio de un algoritmo computacional. El número de puntos seleccionados para la digitalización fue de 500 debido a que un número mayor provoca pequeños disturbios en IC, con lo cual se pierde la tendencia de la corriente real. C) Circuito de prueba Debido a que el parámetro VT es indispensable en la obtención de otros parámetros, se decidió realizar un circuito independiente para la extracción de este parámetro. El circuito propuesto en la Fig. 3.3.2 permite obtener un VT con mayor precisión que otras alternativas analizadas. Rc vgg=o ..5 D=lOus F=S7Khz Reloj E 100 In, de inicio T r""1 Contador dc 8 bit & Fig. 3.3.2 Circuito de prueba 2: Circuito en ranipa. IO V CAPÍTULO 3 METODOLOGIA DE E X T R A C C I ~ N El funcionamiento del circuito de la Fig. 3.3.2 consiste en aplicar inicialmente un pulso de reloj (57Khz) a un contador de 8 Bits que inicia un conteo monoestable a partir del cierre del interuptor de inicio. Así mismo, durante el conteo la señal es entregada a un convertidor D/A el cual da como resultado una rampa escalonada en donde cada escalón tiene un periodo T = 17.57 ps y por lo tanto la duración de la rampa es igual a 256 x T = 4.5 ms. Con los tiempos definidos el retraso de la punta de comente es despreciable y se obtiene con seguridad la estabilización de la comente IC con respecto al voltaje V G ~Por . otra parte, se cuenta con una resistencia de carga RC = IOOQ con la finalidad de limitar la comente en el encendido total del IGBT. Con esto, se asegura que la punta de comente no se sature y se obtenga la medición detallada de 250 PA. 3.3.2 Ccs (Capacitancia compuerta-fuente) A) Parametro Este parámetro es la capacitancia del óxido que corresponde al traslape compuertafuente y puede ser determinado cuando el IGBT aún no se encuentra en conducción, e$ decir con la condición Vos> (VGS-VT)donde VDS=VCE-O.~V. Esta condición se localiza durante el transitorio antes del encendido del IGBT, es decir antes de que empiece la evolución de la comente IC. B) Método de extraceion El método consiste en considerar el circuito de la malla de entrada del IGBT (Fig. 3.3.3) como un circuito RC en donde R = & y C = CGS.Esta suposición es válida si y sólo sí (VGSVT) 5 VOS,debido a que Cdgi es muy pequeña puesto que Cdgl se encuentra en serie con Coxd. Se puede asumir que la capacitancia total compuerta-drenaje CGDes despreciable (CGD= (Coxd.Cgdj)/( Coxd+ cgdj)) dando por resultado su mínima influencia en la carga de la compuerta. Por lo tanto, la capacitancia que tiene efecto en la entrada es CUS.Por otra parte, para asegurar aún más la mínima influencia de GGDse debe considerar que la comente IGDo dVGD/dt sean aproximadamente iguales a cero (esto porque i G D = CcD.dVGddt.) La manera en la que se puede hacer muy pequefio el valor de CGDes aumentando V,-E y manteniéndolo constante y para minimizar el valor de Vco/dt se puede hacer que la carga en la compuerta sea muy lenta. Esto se logra aumentando RG o proponiendo una comente IG muy pequeña. Tesis: Derarrollo c I m p l e ~ n t a c i o nde un I’rocedimicnto dc Exlncri6n de Paidmetros para u11Modelo 1:isico de IGBT 37 CAl,¡lULO 3 ME-rODOLOGlA DE EXTRACCIÓN V g b 4 .VT Fig. 3.3.3 Circuito RC en la malla de entrada del IGBT. Desarrollo: (3.3.1 ) Despejando ,C, (3.3.2 ) donde: IGdt (3.3.3 ) se tiene que : I S,‘i VGS (t2 - t i ) ‘QG (3.3.4) si IG se mantiene constante ‘GS= IG VGS (t2 - t i ) (3.3.5 ) La medición de C ~ s s realiza e durante la fasei (Fig. 3.3.4) con t i a 2V y 12 a VT sobre la curva de la carga en la compuerta. Estos valores aseguran que la evolución de VGEesté sólo en función de CGS,mientras VCEes constante. El valor de 2 V se tomó por las características particulares del circuito impulsional en estado apagado y por la estabilización de IC. El voltaje V, se seleccionó porque es el valor más alto que cumple la condición necesaria para medir CGS( Vix>(Vcs-V-r)). METODOLOG¡A DE EXTRACCIÓN CAPITULO 3 __ I /. .. - I -.-- O I .6 3.2 4.6 tiempo I i3 6.2 1 6.3 9.2(ns) V r d l OVlOiv) --____ VG (3ViDiv) ____ IC ll0mAiOi"l Fig. 3.3.4 Carga en la compuerta para obtener CGS. Para asegurar una mayor exactitud en la obtención del parámetro CGS,se calculó QG dentro del algoritmo cornputacional y se aplicó (3.3.5) suponiendo una curva lineal de VGE debido a la fuente de comente constante IC en el intervalo de t l a t2 (fase 1) de la Fig. 3.3.4 C) Circuito de prueba Para medir CCSse propuso un circuito que analiza con detalle la evolución de VGE,IC. IC y VCE utilizando una fuente de comente constante en la compuerta y como carga una resistencia entre la fuente de alimentación y el colector del IGBT, la cual limita la comente IC (Fig. 3.3.5) vgg=25v D=I Ous Fig. 3.3.5 Circuito de prueba 4: IG = Const. Trria. l X ~ a n o l l o eImplemeniacirin de un Proccdimieniode Exrrjccisn de Paidmetros p a n un Modelo Firico de IGBT 39 Inicialmente el transistor bipolar del. impulsor se encuentra saturado, por lo tanto, la corriente de la Fuente constante fluye a través de éste. En contra parte, cuando se le aplica ai impulsor un pulso monoestable, el transistor bipolar deja de conducir y entonces la corriente de la fuente constante es forzada a circular a través de la compuerta del IGBT. De esta manera la evolución de la tensión se comporta linealmente. 3.3.3 Coxd (capacitancia del óxido) A) Pasametro Este parámetro es la capacitancia de óxido que separa a la compuerta de la zona de deflexión y la cual corresponde al traslape compuerta-drenaje (Fig. 3.3.6) Emisor I 3 Anode Colector Compuerta I Fig. 3.3.6 Estructura interna del IGBT de tecnologia NPT En la Fig. 3.3.6 se puede observar la distribución de los elementos internos que modelan el comportamiento del IGBT, de los cuales destacan las capacitancias en la región de deflexión (Cds; y Cgd,). Dichas capacitancias están en función directa ai voltaje aplicado (VCE) lo que es consecuencia de la modulación en la zona de deflexión. BI Método de exrsaccioii El método consiste en realizar la medición de la capacitancia total (Cord + CGS)durante la fase 3 (Fig. 3.3.8) y utilizando CCS,obtenida anteriormente, calcular C o l d . Durante esta fase la capacitancia de deflexion compuerta-drenaje C,dj toma valores muy grandes, debido a que Vc,: es bajo (conducción) de esta forma en la capacitancia compuerta-drenaje valor de Coxd Ya que C G O ?5 (coxd. cgd))/ (Coxd + c g d i 7 -Coxd 1) CG[) predomina el cgd,’>co,d. I VDS= Von G Malla de entrada Malla de entrada Fig. 3.3.7 Circuito RC en la malla de enbada del IGBT Del circuito equivalente se obtiene: (3.3.6) despejando Coxd se tiene: 1 VGs (t4 - t3) ‘Oxd=A ,A Q,. lf3 (3.3.7) t4 - cGs considerando IG constante se obtiene:: C = OXd 1, VGS (t4 - t3) - CG. (3.3.8) La medición de Coxdse realiza durante la fase entre el instante t3 y el instante t4 situado dentro de la carga lineal de la fase 3 (Fig. 3.3.8). Estos valores aseguran que la evolución de VGEesté en función única de Cond y CGS.Para obtener t3 automáticamente, se evalúa un error estimado entre VGS y una interpolación lineal que comienza de 12 V a 9V los cuales son Terir: Deranollo e Implemcniacdn de un I’rocedimienm dc Exirilcci6n de Parimelros para un Modelo Fisico de IGBT 41 CAPITULO 3 METODOLOCIA DE i~XTRACClON valores que aseguran estar en la fase 3. Para la obtención de t4 sólo se propone u n valor que asegure estar en la fase3. O I .6 ______ ____ 3.2 4.8 tiempo G.2 8.3 9.2(ns) VcE( IOV/Div) V, (3ViDiv) I, (IOmA/Div) Fig. 3.3.8 Carga en la compuerta para obtener Coxd El resultado que se obtiene durante la fase3 es una capacitancia equivalente que es la suma de c o x d + CGS Esto se debe a que el voltaje aplicado entre drenaje-fuente es muy pequeño y por io tanto la capacitancia de deflexión c g d j se vuelve muy elevada. En consecuencia, la capacitancia que prevalece en serie con CGSes Cox+Una vez que se conoce CGS,se puede sustituir en (3.3.8) y obtener Coxd. C) Circuito propuesto El circuito propuesto para medir C o x d por medio de la carga de la compuerta es el mismo que el circuito utilizado para medir CGS(Fig. 3.3.5) 3.3.4 V T (Umbral ~ de deflexión del traslape compuerta-drenaje) A) Parametro Este voltaje es la tensión minima y necesaria para modular la zona de defiexión que se encuentra en la trayectoria de C U D ( C U D = C o r d // c g d j -Anexo1 ( I 7b)-). c g d j es una capacitancia de deflexión que está en función inversa del voltaje aplicado VDG(Anexo 1 (17)). De aquí resulta, que cuando VDS< VGS-VI-D+ C G ~=>Coxdy cuando VDS2 VGS-~.I.I) + Cco = Cold METODOLOGIA DE EXTRACCION CAPiTULO 3 Cgd,. Por lo tanto, la transición de estas dos condiciones ocurre exactamente cuando VGS= V.rD y que se presenta en la intercepción de los cambios de pendientes dV,-,/dt (Fig. 3.3.9) B) Método.de extracción El método consiste en generar una interpolación lineal a partir de los puntos VcE(P1) = 2V y vCE(P2) = 6V en donde se asegura que VDS < VGS-VTD.Después se realiza la intersección entre la curva generada y VCEestimando un error entre ellos de 0.5V (Fig. 3.3.9). __ .. .... nterrcrccidn 3.2 I .6 O ----.V, v,, 4.8 ... tiempo . 6.2 7.8 9.2(nr) (9VlDiV) (3.3V/Div) Fig. 3.3.9 Carga en la compuerta para obtener V,, Para considerar que la intersección, es el punto en el cual ocurre la transición de capacitancias, se debe considerar"que VDS= VcE - 0.6 y con el valor de VDs obtenido se pueden igualar las condiciones y establecer que VTD= V G -~ VDS. Cabe aclarar que este procedimiento de extracción es un método aproximado, considerando la poca sensibilidad que tiene este parámetro dentro del modelo. C) Circuito propuesto El circuito propuesto para medir V T por ~ medio de la carga de la compuerta es el mismo circuito utilizado para medir CGS(Fig. 3.3.5) 3.4 Extracción de Theta, Kp, y KF A) Porameiros Como se observa en el modelo del IGBT (ANEXO 1 Y 2) los parámetros Theta, K I y~ KI: determinan el comportamiento de la corriente en el canal del MOSFET interno (Imos) en función del voltaje de entrada (Vu& donde Kr se define como el factor de la transconductancia; Theta como el factor del campo transversal en el canal y KF como el factor del la región del triodo. Existen tres fases o regiones de operación para I,,, la fase, cuando el canal se encuentra abierto C ' isC T' 'DS' 'GS (3.4.1) 2" fase, cuando el canal esta formado (Región lineal). 3" fase, cuando el canal esta saturado (Región de saturación) KP'(VGS- Irnos ('")=2.[ 'T)* 1 + Theta (VGs - VT)] - T' (3.4.3) La Fig. 3.4.1 muestra la ubicación ideal de la región de saturación y lineal para varios V ~ E Fig. 3.4.1 Corriente Imo5(Vos)para varios V,, La 1" fase es cuando Vu, < VT (3.4.1). En esta condición no puede existir corriente I n i o r ( V ~debido ~ ) a que VGSno alcanza el voltaje mínimo necesario para que el canal MOS este formado y pueda conducir. La 2" fase es cuando VOSS V ~ S - V (3.4.2). T En esta condición VDS no puede proporcionar la corriente máxima del MOSFET interno según sea la demanda de VGS. De esta manera, la corriente evoluciona lentamente. La 3" fase es cuando VDSc VGS-V.~ (3.4.3). Bajo esta condición VDS es lo suficiéntemente grande para proporcionar la corriente demandada por VGS,de manera que el incremento de ImoS(V~s) es grande, por ser una función .. cuadrática en la zona máxima de saturación. B) Método de extracción Debido a que no se puede medir directamente la comente en el canal MOS del IGBT, es conveniente encontrar la relación de la comente total del IGBT (I C) en función de I,, sabiendo que IC = I,, + ibip, es decir, la comente total es igual a la suma de la comente de electrones en el canal MOS (Im,) más la corriente de huecos en el bipolar interno (ibtp) . Bajo esta consideración se puede encontrar la relación bl = I,,, / iblp realizando una simulación en un análisis en CD para el circuito de la Fig. 3.4.2 Fig. 3.4.2 Circuito simulado en Pspice para encontar la relación bl El análisis en CD se realizó aplicando un voltaje de entrada VG = O...2OV con intervalos de O.lV, voltaje de alimentación V1 = 20V usando el modelo del IGBT estándar y el modelo del MOSFET. Para conocer la relación b l es conveniente considerar en el circuito de la Fig. 3.4.2 que I,, e IC se representan por la comente de un MOSFET y un IGBT respectivamente en donde los parámetros del MOSFET se hacen idénticos a los parámetros comunes estáticos que contiene el modelo del IGBT (VT, Theta, Kp). Cabe hacer notar que en Pspice existen vanos modelos de MOSFET y que el más recomendable para esta simulación es el nivel 2 debido a la semejanza que se tiene con el MOSFET interno del modelo del IGBT. En la Fig. 3.4.3 se muestra la comparación simulada de la comente del MOSFET y del IGBT mientras que en la Fig. 3.4.5 se muestran la simulación de la relación bl de estas dos comentes. >-, ,.,..~ . ........ . ~~~ ,, ,,,': . .. I I .. Fig. 3.4.3 Simulación de las corrientes. ...... .. ~~ ~ .... . .. .. . . . ~~, . ....... ~ : . . Fig. 3.4.4 Simulación la relación b l = . ..... CAPiTIJLO 3 METOI)OLOG¡A DE EXTRACCION Para asegurar aun más esta relación se realizaron varias simulaciones para IGBTs de diferentes fabricantes utilizando el modelo estándar de Pspice con el cual se obtuvo una relación aproximada b I = I,,, /Iblp = 2 bl=2 (3.4.4) despejando Irnos PGS) (3.4.5) sustituyendo bl=2 en (3.4.5) resulta: (3.4.6) donde p= ~ (I P X -- C) Circuito propuesto Medición de la función de transferencia El método consiste básicamente en medir IC en función de VGS,cuando este último se incrementa en forma de rampa pulsante con la condición de que VCE se mantenga constante a un valor mayor que V C -~VT. Para este caso se propuso VCE = 15V. En la Fig. 3.4.5 se muestra el circuito para la medición de la función de transferencia iC(vGS). Sin embargo, cabe mencionar que este valor de bl es válido para la estructura PT, mientras que en el caso de la estructura NPT bl corresponde a la relación de movilidad de electrones y huecos, es decir b l = p d p p = 3. 46 'Icsis: Oesarrollo e I m ~ l e m n l a c i ó ndc un I'roccdiniicnio de ErlracciOii de Patiiiieirar pari un Modelo Fisicii de I G U l METODOLOGiA DE EXTRACCIÓN 14 CAPiTULO 3 Int. de inicio Vgg=O...5 / D=lOus F=6Khz O n Reloj Contador de 8 bit I Convertidor DIA vl A t Buffer de comente y tension I I impulsor como troceador 47mF Fig. 3.4.5 Circuito de pNeba 1: Corto circuito pulsante. Para generar la rampa escalonada en la compuerta del IGBT es necesario alimentar por medio de un reloj a un contador monoestable, el cual inicia su operación cuando se activa el intenuptor de inicio, posteriormente la cuenta digital es transferida a un convertidor D/A dando como resultado una rampa monoestable. Después ésta señal es amplificada en comente y tensión para postenormente trocearla por medio de un impulsor que tiene el mismo reloj como troceador, el cual proporciona una rampa escalonada en donde los pulsos son totalmente rectzngulares. Esta forma de pulso es muy conveniente debido a que se asegura la estabilización de la tensión en la compuerta. Con la obtención de Irnos(V~s) se pueden calcular los parámetros de Theta y Kp utilizando la ecuación (3.4.7), con la condición VDS2 (VGS- VT) que asegura la operación en la zona de estrechamiento o saturación. (3.4.7) En la ecuación (3.4.7) podemos identificar tres incógnitas (KP , VT y Theta) de las cuales VT es conocida porque este pprámetro se obtuvo anteriormente. Ahora (3.4.7) se convierte en una ecuación con 2 incógnitas (Kp y Theta) y llevándola a la forma general de una combinación lineal de funciones (3.4.8) se obtiene (3.4.9) Tesis. Denarrollo E Implemeniaci0n dc un Procedimiento de Exiracción dc Pannieiror para un Modclo Físico <le IGBT 47 (3.4.7) (3.4.8) para: (3.4.9) donde: a l , a2, ... Coeficientes indeterminados fl , f2,... funciones predefinidas N Número total de funciones n Número de coeficientes indeterminados L Número de puntos dados de (3.4.7) se puede deducir en forma general que: ( 3.4.10 ) Así mismo (3.4.1 I ) se puede resolver mediante la eliminación de Gauss y con ello se obtienen los valores de a l , a2 y a3. Posteriormente, sustituyendo a l , a2 y a3 en (3.4.10) se obtiene Kp.Cabe aclarar que para hacer que las funciones fi(vGS), f2(V& y f3(VGS) sean predefinidas fue necesario proponer en el algoritmo un valor de Theta inicial y después disminuirlo iterativaniente hasta encontrar un valor de Theta óptimo en el cual el error (3.4.12) entre la curva medida I m o r ( V ~y~la) curva ajustada f,(VCs) es mínimo según la técnica de los mínimos cuadrados. 48 .Tcsir: Dcsdrroiii>c Iniplenieniacidn de un I'ruecditiiienlo de Ixiraccidn dc Par'3niclior para un Modcio IVisico dc IGBT CAPirULO 3 1 METODOLOGiA DE EXTRACCION (3.4.12) El parámetro KF definido como un factor constante, llamado factor de la región de tnodo, se puede calcular despejándolo de (3.4.13) y sustituyendo los valores anteriormente obtenidos de Theta y K p así como el valor de Imos(Vus)obtenida mediante la medición de la función de transferencia por medio del circuito de la Fig. 3.3.5. La condición de esta medición es simplemente proponer VCE= 8V, con la finalidad de hacer que el circuito opere fuera de la zona de estrechamiento ((Vos -VT)>VDS) De (3.4.13) se puede observar que se trata de una ecuación con una incógnita (KF) debido a que los parámetros restantes son conocidos hasta este momento, por lo tanto se puede obtener fácilmente KF mediante el ajuste de la I m o s ( V ~ ~ ) . 3.5 Extracción de N g , Wg 3.5.1 A) Ne (Dopado en la zona n- para el IGBT-PT y NPT) Pardmetro NB es la concentración del dopado en la zona n- que se encuentra en la estructura interna del IGBT y determina junto con el ancho WB la capacidad de bloqueo del dispositivo B1) Método de extracción (1GBT-PT) Considerando que el voltaje de ruptura teórico (Ve,) de un dispositivo semiconductor de potencia está en función del dopado de la zona n- y considerando que Vgr no es proporcionado por el fabricante, se puede determinar Vsr por medio de un circuito de prueba no destructivo. Generalmente el Vcemaxmedido es superior al voltaje que especifica el fabricante de IGBT’s en sus hojas de datos por lo que se puede considerar al voltaje medido como el voltaje de ruptura (VgJ. Con la obtención dé Vgr se puede determinar el dopado en la base del IGBT. Tesis: Desarrolla e Implemniación de u~‘Pmcdimientode Extracción de Padmetros para un Modelo Físico de LGBT 49 CAP~TULO3 METODOLOG~ADE EXTRACCI~N Asumiendo que para el voltaje V B se ~ alcanzó el campo eléctrico crítico en la unión pn se puede hacer uso de la ecuación empírica (3.5.1) propuesta en [15]. La Fig. 3.5.1 muestra el comportamiento de V B en ~ función del dopado Ne. Cabe señalar que V C Eque ~ proporciona ~ ~ el fabricante no es el voltaje de ruptura V B ~sino , el valor que garantiza el área de operación segura. N,= VB, (3.5.1) CI) Circuito propuesto (IGBT-PT) Para obtener Vsr y sustituir este valor en (3.5.1), es necesario realizar una medición directa al IGBT mediante un circuito de prueba no destructivo; lo anterior se logra por medio del circuito de la Fig. 3.5.2, donde V2 proporciona una rampa de tensión de O a 500 VCD y V1 proporciona un nivel de 500 VCD. AI estar conectadas las fuentes en sene se suman y proporcionan la tensión de prueba, inicialmente el IGBT se encuentra forzado al apagado por estar cortocircuitadas las terminales compuerta-emisor, los interruptores auxiliares Auxl y A m 2 se utilizan para proteger al dispositivo bajo prueba (DUT) en el momento de conducción del IGBT, estos dispositivos conmutan a una frecuencia de reloj de 4.5 KHz con un Ton = lops, la finalidad de colocar dos dispositivos auxiliares es para eliminar la posibilidad de destrucción por sobre-tensión. 50 _ . Tesis: Desanollo c Implemntación de un Procedimientode Exnaeción de Parimcüor para un Modelo Físico de IGBT METODOLOGIA DE EXTRACCIÓN CAPh'ULO 3 Rc O-50W t c v3 - *u* LL vcc = - 1 Es importante señalar que el dispositivo DUT no sufre destrucción, debido a que entre las fuentes y los interruptores auxiliares se encuentra una resistencia de 3.9 KQ, la cual limita la comente y absorbe en su mayoría la tensión aplicada de las fuentes en el momento de conducción del dispositivo bajo prueba. B2) Método de extraccibn (IGBT-NPT) que especifica el El método para el IGBT-NPT consiste en obtener V Ba~partir de fabricante de IGBT's en sus hojas de datos y multiplicar el valor por una constante K obtenida experimentalmente (K = 1.92) ecuación (3.5.2). Sin embargo, se puede hacer uso del mismo circuito propuesto para el IGBT-PT y obtener el VCE,,,~~ debido a que tanto la medición como el dato del fabricante son muy semejantes. K= 1.92 Otro método para determinar Vur seria someter al dispositivo a una prueba destructiva. En esta solución existe el compromiso de sacrificar un dispositivo (IGBT) para la obtención de un parámetro más exacto. Considerando que actualmente los IGBT, tanto discretos como modulares, tienen costos elevados, se decidió tomar la primera opción; en este punto, durante el desarrollo de la metodología, se propuso implementar un circuito de prueba no destructivo CAP~TULO3 METODOLOGIA DE EXTRACCIÓN con la finalidad de obtener un VB, más exacto, pero los resultados no fueron satisfactorios debido a que el voltaje VCEmaxse amarra a un valor límite. Esto se debe a que la expansión de la zona n- se ve limitada por la zona buffer. El propósito de utilizar el IGBT-NPT BUP307 para esta metodología es por el conocimiento previo NBdirecto del fabricante. De esta manera se obtuvo la relación Ver = (K)(vc~,,,) donde K = 1.92. Sin embargo esta metodología no aplica para IGBT’s de estructura PT. 3.5.2 A) We (Ancho de la base metalúrgica) Parámetro WB es físicamente el grosor que tiene la zona n- en la estructura interna del IGBT B) Método de extracción Asumiendo que el ancho de carga de espacio ZCE esta en función de VB provocada por la expansión del campo eléctrico en la base, se puede estimar el ancho de la base metalúrgica con la ecuación (3.5.3) propuesta en [l]. Sin embargo, para el diseño del IGBT WS se hace más ancho que la zona de carga de espacio en la ruptura: (3.5.3) 3.5 Extracción de AGD,A 3.6.1 AGD(Área de traslape compuerta-drenaje) A) Parámetro Este parámetro &D e l físicamente el área que se encuentra bajo la zona de compuerta / del drenaje y que contempja la zona n- y la región de deflexión (Fig. 3.3.6). Por medio de las ecuaciones de la capacitancia de unión y carga compuerta-drenaje del Anexo1 (20) y (21) se puede obtener la siguiente expresión en donde C,d, esta en función del voltaje aplicado (V, ‘VTD). 52 Tesis. D~SPTOIIO c lrnplcmenlacion de un Proeediniienio d e Extracci61i de l’arirnctros para un Mod& I:isiio de IGBI‘ CAPíTULO 3 METODOLOGIA DE EXTRACCIÓN I1 (3.6.1) donde: B) VDG=VDs- VGs (3.6.2) Método de extracción En (3.6.1) se observa,que Cgdj esta en función inversa del voltaje aplicado (VDG+ VTD) en donde VTDes el voltaje mínimo de deflexión drenaje-fuente y VDG= VDS-VGS.También se observa que la variación devoltaje provoca una variación de capacitancia de manera no lineal. De esta manera se puede realizar una medición de la capacitancia con respecto a un punto de voltaje dado iterativamente hasta obtener Cgdj(Vm) y obtener &D mediante el ajuste de la Lo anterior requiere de la curva. Otro método sería realizar una medición directa de Cgdj(V~~). utilización de un LCR para medir una capacitancia a una frecuencia constante y con un barrido de voltaje. En la siguiente gráfica se muestran las curvas de VCE,VG y VDGdel IGBT BUP307 obtenidas con el circuito de la Fig. 3.3.5, donde VDG= VCE- VG. El principal interés de mostrar el comportamiento de estos voltajes es determinar en que punto del voltaje VDGse debe realizar la medición de la capacitancia C,dj. VG (iOV/Div) ......<............ V&lOV/Div) V~(lOV/Di") Fig. 3.6.1 Carga en la compuerta para obtener AGD(IGBT-BUP307). Tesis: Desarrollo e Implcmentaci6n'deun Procedimiento de Extracci6n de Parimehas para un Modelo Fisico de IGBT 53 METODOLOG~ADE EXTRACCIÓN CAP~TULO3 En la Fig. 3.6.1 se puede observar que la caída de VCDocurre en el momento en el cual VGEalcanza su voltaje de umbral y en ese instante se puede empezar a tomar la medición de CgdJ. Por otro lado, el punto final en el cual se puede realizar la medición de CgdJ es cuando VCDalcanza el cruce por cero más el voltaje VTD.Para obtener una mejor medición se estimó un valor intermedio entre los dos puntos extremos de medición resultando VDG= 25 V. Según el modelo (Anexol), la capacitancia c g d ] predomina en la parte plana sobre la curva de QGvs VGScomo consecuencia de la variación del voltaje (dVm/dt) (Fig. 3.6.2) y para su extracción se necesita hacer una medición detallada desde VGS= Vcs(t2) hasta VGS= V ~ s ( t 3 )(Fig. 3.6.4). Con esta configuración y a través del osciloscopio se puede tener una mejor precisión de la medición. Para la medición se utilizó el mismo circuito empleado para extraer CGS(Fig. 3.3.5) D Fig. 3.6.3 Malla equivalente de entrada. Fig. 3.6.2 Medición en el plato. El comportamiento de VGSen la zona plana (plato) se debe a que en ese momento IC = IGDy entonces dVGs/dt = O e IcS= O. Por lo tanto se tiene un circuito equivalente (Fig. 3.6.3) donde: c gdJ. =c oxd .‘Gil oxd - (3.6.3 ) ,c. Para realizar la medición de CGD,se tomó la medición del dVcE /dt y de IC en el inicio de la zona plana entre t l y t2 (Fig. 3.6.4). La finalidad de la medición en un intervalo de tiempo muy pequeño es garantizar que VDGsea casi constante. Para asegurar aún más que el circuito de la Fig. 3.6.3 sea válido se tiene que realizar la medición cuando dVcs/dt EO. El problema que se tiene es que la medición no se puede realizar muy cercana a la zona plana de VCS debido a que en ese rango VDOadquiere valores negativos. Sin embargo, para garantizar aún más la exactitud de CgdjwIJG) se puede utilizar una fuente de corriente ICconstante puesto que dVos/dt es ocasionado por la variación de ICy VCE. 54 Tesis: Deramllo e Implcrnenlaci6n de un Pracedirnienlo de Extracción de Parámmos para un Modelo Fisico de IGBT ~ .~ ~ . ~. . ~ . . . . cu. , I CAPfTULO 3 ______ ____ VcE( iOV/Div) V, (3ViDiv) , 1 ' ;:, 11, . ,., ., .,i' ' METODOLOGIA DE EXTRACCION tiempo IG (IOmAíDiv) Fig. 3.6.4 Detalle de dVce idt y de IGde la medición de la carga en la compuerta. De la medición realizada se desprende (3.6.4) 'G CGDI---- dvCE donde: (3.6.4 ) dt (3.6.5 ) (3.6.6 ) Sustituyendo Caxd y CGDen (3.6.3) se obtiene el valor de CgdJ a un VDGdeterminado. Este método se generaliza para obtener diferentes valores de CgdJ en función de diferentes VDS y posteriormente se ajusta por mínimos cuadrados a la curva CgdJ(VDG) con la ecuación (3.6.1) para obtener un valor de hD que ajuste lo mejor posible la curva calculada con la curva obtenida experimentalmente. Un método alternativo para poder medir AGDes hacer uso de un puente de impedancias (LCR), el cual permite realizar la medición directa de CgdJ en función del VDG(Fig.3.6.5) Tesis: - Desarrollo e lmplementación de un Procedimientode Exbacción de ParSmetros para un Modelo Fisico de IGBT 55 hlETOBOI OGiA DE EXTRACCIÓS CAI'¡ I'IJLO 3 .. o 01 --- .-......... 10 20 ------ 30 40 Cgd,íLCR) CSd,(ajustada) SO VD-3 . 60 I 70 ~ 80 90(V) Fig. 3.6.5 Curva de CIdi(VoG) ajustada con el valor calculado de AcD ( IGBT BUP307) Utilizando la curva cgdj(v0C) de la Fig. 3.6.5 y la técnica de aproximación por mínimos cuadrados se puede obtener &D por medio del ajuste de (3.6.1). De esta manera se asegura que el valor de AGDconverja en la mayoría de los punto obtenidos con el LCR y con el método propuesto (C,d,(LCR) y C,dj(ajustada) respectivamente). El propósito de esta comparación es validar el método propuesto ya que la utilización de un LCR requiere de mayor infraestructura. C) Circuito propuesto El circuito propuesto para la medición de las curvas IC,VDGy VGSes el mismo circuito propuesto para medir la carga en la compuerta (Fig. 3.3.5) 3.6.2 A (Área activa del chip) A) Parámetros Este parámetro es la suma de las áreas de traslape compuerta-drenaje y drenaje-fuente y corresponde al área activa (A) del chip (3.6.7) A= ADS t Acs (3.6.7) donde: Cdsj -_ Tesis: (3.6.8) Desamllo e lmplementacidn dc un Procedimiento de Extracción de Parámetros para un Modelo Físico de IGBT .I CAPITULO 3 B) Método propuesto I , - METODOLOG~ADE EXTRACCION ’. Al Igual que en el método anterior, se necesita hacer una medición directa de C d r , en función del voltaje aplicado (VDS+ 0.6V) (Fig. 3.6.6). Esto se puede realizar utilizando un circuito independiente con VGE= OV. La consideración que se necesita para realizar esta medición es tomar el mismo valor de VGDque se tomó anteriormente para medir c g d j con la finalidad de usar los parámetros simultáneamente para que el análisis aplicado al desarrollar las ecuaciones (3.6.7) y (3.6.8) sea válido, Así: (3.6.9) - VCE(1OvldiV) ___ IC QOmAldiV) Fig. 3.6.6 Formas de onda de IC y VcE. C) Circuito propuesto Para comprobar el método propuesto a partir de una medición eléctrica, se utilizó el circuito de prueba de la Fig 3.6.7 Rc=560 V nT 7 J Rc=560 + -*v c + ? q d - S Circuito equivalente Fig. 3.6.7 Circuito de prueba 5 : Carga de Cos. Tesis: Desarrollo e Implemnlación de un I’rocedimicnto de Exlncción de I’arárnclror para un Modclii Fisico de IGBT 57 C AP IT U L O 3 METODOLOGIA DE EXTRACCIÓN El funcionamiento del circuito de la Fig. 3.6.7 consiste en someter al IGBT a un pulso dc tensión de VCC= 50 V con Ton = lops aplicado entre colector emisor y cortocircuitar la compuerta con el emisor, de esta manera se asegura que el IGBT no conduzca y que la carga entre colector-emisor sólo esté en función de COS. Del circuito equivalente de la Fig. 3.6.7 resulta que: c .=- IC (3.6.10) dsJ dV,, donde: dt (3.6.1 1) Generalizando la ecuación (3.6.10) y aplicando la diferenciación para vanos valores de VCE se obtiene la curva Cds,(VoS). Posteriormente se ajusta la ecuación (3.6.8) por mínimos cuadrados hasta obtener un ADS que conveja en la mayoria de los puntos calculados con la curva de C&,(Vd$)obtenida experimentalmente. Un método alternativo para poder medir A, es hacer uso de un puente de impedancias (LCR) el cual facilita la medición directa de Cdr, en función del VDS. Con esto se obtiene la curva Cd,,(LCR) (Fig. 3.6.8). 4.. ....... I i ! ! l , : - 1 __ " ......... "1 . ....... I 2 ~ I I .. j . . . ~ ...... ; - I 1~ 1 i...... i I---' I ]~~ --T-;-. ~j . . . ...;.I . .¡.......... I 1 I ~ : i !~...~ .... ...I ! I ... ,.: I 1I ! El cálculo de ADSse obtiene ajustando la cÚrva medida Cdsj(LCR) a la ecuación (3.6.8) aplicando la técnica de los mínimos cuadrados, de esta manera se obtiene una ADS que converja en la mayona de los puntos obtenidos con el LCR. El propósito de esta comparación, al igual que en el caso anterior de extracción, es validar el método propuesto. 58 Tesis. Desirrallo e Iniplcmenlación <ICun I'ioceditiiicniu dc ExtrxciOii <ICI'atiniciros para un Modelo Firico de IGBT CAPiTULO 3 METODOLOGiA DE EXTRACCIÓN I1 3.6 Extracción Tau e Isne 3.7.1 Tau y Isne para el IGBT-PT A) Parámeiros Tau es el parámetro que define el tiempo de vida de los portadores de carga e Isne la comente de saturación de electrones en el emisor, ambos parámetros influyen durante la fase "cola de apagado del IGBT" en donde se presenta el fenómeno de redistribución ambipolar. Por consiguiente, la medición de éstos dos parámetros se realiza durante en el apagado del IGBT. B) Mitodo de extracción Para comandar el apagado de un IGBT se necesita aplicar una tensión de compuerta inferior al voltaje de umbral (VT). Posteriormente, la comente de colector comienza a decrecer rápidamente en una primera fase (corriente de electrones I,,,) y con una pendiente más lenta en una segunda fase (comente de huecos), debido al restante exceso de portadores minoritarios en la base del tran'sistor bipolar (Fig. 3.7.1). ik Ik(0.) ....... VCB P"en F.<F Ir@+). I. ,.*e de Rd,lt"b,d6" ......................... ......................... t Fig. 3.7.1 Gráficas de corriente y voltaje al apagado del IGBT. La explicación de las diferentes fases es debido a que la fuente de portadores mayoritarios (comente de electrones en la base) se encuentra ausente durante la segunda fase y los portadores minoritarios de exceso almacenados en la base decrecen por recombinación y por inyección hacia el emisor. Los portadores minoritarios en la base continúan siendo inyectados por el emisor y son desalojados en la unión base-colector y recombinación en la base. Esta recolección de portadores minoritarios (huecos) es igual a la corriente total del Tesis- Ueranollo c Irnplcnrniacisn de un Pracedimienia de I:rlraeci6n de Parjmeiros p a n un Modclo Fisico de IGIIT 59 CAPíTULO 3 METODOLOGIA DE EXTRACCIÓN IGBT durante la segunda fase, en la cual el voltaje de ánodo se mantiene constante, este efecto .. . ,. se puede representar por las ecuaciones (3.7. I ) y (3.7.2) propuestas en [18]. IC( t)' IT r (o. .) + t 1 (3.7.1) donde: 2 Ik= 2 q .A .D .n: P IsneTau (3.7.2) Realizando la medición de Ic(t) para determinar el punto de intersección de la extrapolación durante la zona de redistribución (IT(O+)) y midiendo la comente de rodilla (IK), se puede ajustar la curva medida a una curva calculada utilizando la ecuación (3.7.1). Para determinar Tau se utilizó un algoritmo iterativo (Fig. 3.7.2) que decrementa el valor de Tau hasta encontrar un error mínimo entre la curva ajustada y la curva medida. Isne se obtiene sustituyendo los parámetros encontrados de IK y Tau dentro del mismo algoritmo haciendo uso de la ecuación (3.7.2). Fig. 3.7.2 Diagrama de flujo para extraer Tau y Isne. 60 lCsis. Vesairollo e Irnplcmcntaci6n de un Procedimiento de Extrncri6ii d i Parjnieiros p a n un Modelo Firico de IGBT CAPITULO 3 ! METODOLOGIA DE EXTRACCION Los valores iniciales que necesita el algoritrho son Ic(t), un valor de Tau inicial, un error nuevo@) igual a cero (E=O) y un valor de error mínimo (Emin) inicial, para que el algoritmo converja. Siempre se propusieron valores iniciales óptimos como un Tau bastante grande y un Emin negativo para que la primera condición sea positiva, posteriormente se asignan Emin=E, se decrementa Tau y se calcula un error nuevo entre la curva calculada de Ic(t,Tau) e lC(t). Esto se repite iterativamente hasta encontrar un Tau que proporcione un error mayor al error anterior (Emin), y después se calcula Isne con el valor de Tau obtenido. C) Circuiio propuesio Una manera de minimizar el tiempo de propagación de la primera fase, es utilizando un I/ circuito básico operando en modo corto circuito (Fig.1.6.1.3). De esta manera se asegura que el voltaje entre colector-emisor siempre se mantenga constante aún durante el transitorio de apagado del IGBT. II Fig. 3.7.3 Circuito d e prueba 6: Corto circuito (IGBT-PT) El circuito de la Fig. 3.7.3, muestra el esquema implementado para medir la corriente de apagado en el IGBT y llevar a cabo la extracción de Tau e h e . Las condiciones de operación de este circuito son las siguientes: VCC = IOOV, V,, = -15 a 1OV y D = lops. El circuito propuesto es sin duda un esquema muy simple, y por io tanto la confiabilidad de extracción es mayor debido a la ausencia de otros parámetros externos que se pudiesen involucrar en la II medición. Tesis: Desarrollo E Implerneniacibn dr un I’roccdiliiienio dc Exiro~ciOndc IParaiiieiios parpi Mudelii l;is#cc)de I C B I 61 CAPITULO 3 METODOLOCiA DE EXI'RACCIÓN 3.7.2 lsne para el IGBT-NPT A) Parumerro Todos los parametros obtenidos en este trabajo de'tesis, aplican también para el IGBT de estructura NPT con excepción de NR, Tau y h e . Considerando que el tiempo de vida ambipolar para la estructura NPT es muy grande, se puede omitir este parámetro proponiendo un valor constante por default y determinar sólo h e . B) Méiodo de exiracción E1 método consiste en medir la carga desalojada en la base n- (AQH ) durante el apagado del IGBT de tl a t2 en donde tl es el tiempo inicial en donde comienza el 2do dv/dt de Vci-: , es decir cuando las capacitancias de deflexión son menos significativas, y t2 es el tiempo final en el cual VC- alcanza el voltaje de la fuente sin considerar el sobretiro de tensión que es provocado por las inductancias parásitas (Fig. 3.7.4) ticnip0 VcE(50V/Div) iC ( 2 . 5 ~ i ~ i v ) Fig. 3.7.4 Apagado del IGBT utilizando el circuito de la Fig. 3.7.5. Para obtener A Q R se realizó la integración definida de la corriente IC entre t l y t2. Para esto, se almacenaron los datos de la medición de la Fig.1.6.2.1y se calculó la iiitegral aplicando métodos numéricos. Posteriormente se sustituyeron los valorcs obtenidos previamente de AQo, NI,, IC y A en (3.7.3) y (3.7.4), propuestas en [24], para ohtener Istie. (1 - 0. 2.w, + f.wRLZ (3.7.3) donde: (3.7.4) Para obtener un valor de Isne más preciso, es conveniente realizar por lo menos tres mediciones de AQB(VCE)a diferentes VCE(100, 200 y 300V) y posteriormente ajustar la curva AQB(VCE)"calculada" utilizando mínimos cuadrados. Lo anterior asegura que AQB(VCE) converja en la mayoría de los puntos de VCE y con ello obtenemos un parámetro más confiable. C) Circuito propuesto El circuito propuesto para medir la cola de apagado de la comente es un circuito troceador con carga inductiva, como el que se muestra en la Fig. 3.7.5. Fig. 3.7.5 Circuito de piueba 6: Troceador (IGBT-NPT). Tesis: Desamollo e Iniplenienlaci0ii de un Procediniicnm de Exlmcci6n de ParArnelror pw'u un Modelo I'iiico de IGBT 63 cAPiwLo 3 MElODOLOGiA DE EXlRACCION Las condiciones de operación del circuito troceador propuesto son las siguiente: LK=150nH, Le=14nH, RL= 0.5 R, ICD=lOA, Vgg=O-lSV, Lg=lOnF, TR=25ns, TF=450ns, VBB=200V, Rg=470, DI =HFA25TB60, D2=HFA25TBGO. Las inductancias parásitas (LK y Le) se caracterizaron por medio de la medición directa de L=VL/(dI,/dt) Sin embargo, la medición de la capacitancia parásita en paralelo con el DUT no se pudo obtener con precisión debido a que esta capacitancia fue minimizada utilizando diodos rápidos y soldando los dispositivos en la placa de prueba. . - . . . -. . . .- CAPiTULO 4 RESULTADOS EXPERIMENTALES CAPITULO 4 RESULTADOS EXPERIMENTALES 4.1 Introducción I, En esta sección se muestran los resultados obtenidos para cada parámetro aplicando la metodología seleccionada en el capitulo anterior. La organización de este capítulo es la siguiente: primero se presentan las mediciones obtenidas para cada grupo de parámetros, después se aplica el método propuesto, enseguida se calculan los parámetros, Se muestran las curvas obtenidas y al final se presenta una tabla comparativa de los resultados usando diferentes métodos propuestos. I/ Tesis: Dcrarrollo c Irnplcmeniaci0n de un Procedimicnio dc ExlrdcciUn dc Parjniciror para ~iii Modelo Fisico dc I C l i 1 65 CAPITULO 4 RESULTADOS EXPERIMENTALES 4.2 Parámetros VT, Cgr,C o x d YVTD 4.2.1 Resultados para V, A partir de la medición de la Fig. 4.2.1 la cual se presenta al principio del funcionamiento del circuito propuesto para obtener VT la comente IC en función del voltaje VCE empleando un algoritmo muy simple, que consiste en eliminar el tiempo y conseguir una función de transferencia (Fig. 4.2.2). 5.0 5.25 5.5 5.75 6.0 6.25 6.5 6.757.0(V) W G E ) Fig. 4.2.1 . Medición para extraer V,. Fig. 4.2.2 Medición de la función de transferencia De la Fig. 4.2.2 se puede obtener gráficamente el valor de VT cuando Ic(VGE)cruza por 250 pA. Sin embargo, el algoritmo implementado calcula con mayor exactitud este dato, para este caso VT = 6.6722 V cuando IC = 250 pA para el IGBT-PT (CT30SM-12). La Tabla 4.2.1 muestra la comparación de los resultados obtenidos para el parámetro VT utilizando cuatro métodos diferentes. El método 1 se basa en la utilización del programa interno de Pspice (Parts), el cual necesita los datos que proporciona el fabricante en sus hojas (gráficas) en comparación con el método 2 que utiliza un rango de voltaje que propone el fabricante. El método 3 resultaría muy conveniente para la metodología, puesto que se aprovecharía la utilización del circuito de carga de compuerta, lo cual minimiza el número de circuitos de prueba. Sin embargo éste método no es muy exacto, debido al retraso de las puntas de medición y la inestabilización de la comente y del voltaje. El método 4 es más exacto que los anteriores, debido a que en éste ultimo se emplea un circuito independiente que minimiza la influencia del retraso de las puntas de medición y la inestabilidad del voltaje y de la comente. CAPiTULO 4 RESULTADOS EXPERIMENTALES Tabla 4.2. I Comparación de diferentes meiodos para la extracción VT. (IGBT-PT CT30SM-12) V,=V,&=lmA) de encendido 4.2.2 Resultados para CCS,Coxdy VTD En la Fig. 4.2.3 se muestra la medición en la carga de la compuerta que permite la extracción de CUSy Coxddurante las fases 1 y 3 respectivamente. ______ ____ tiemnn V,(iOV/Div) VcL (3VIDiv) IC íIOmA/Divi Fig. 4.2.3 Medición de la carga en la compuerta para extraer Ccs y Coxd Para obtener CGSy Coxdfue necesario implementar un algoritmo que pudiera calcular la carga en la compuerta Qe (integral de la comente IC) y el incremento de VCSdurante las fases 1 y 3 por medio del métodd trapezoidal con las siguientes ecuaciones: Inicio Reciángulo VGS ( t 2 - tl>=(vu) b- cGs="G.(t2- t i ) (vu) 1 .QBI Triángulo Final (4.2.2 ) (4.2.3) l c ~ i s : Dcsarrollo e Iniplcniciimión de un I'roccdimiento de ExIracciOn de Parheiror p a n un Modelo I:i~ico dc IGBl. 61 CAPITULO 4 RECULI'ADOS EXPERIMENTALES Inicio 'oxd= 1 VGs (14- t3) .QDZ Reciangulo Triángulo Final (4.2.6) - CGS donde: a= b= Localidad de VG(tl)= 2V Localidad de VG(t2)= V, c= d= Localidad de VG(13) Localidad de VG(t4) h = tiempo entre cada localidad (muestreo) La Tabla 4.2.2 muestra la comparación de los resultados obtenidos aplicando seis métodos diferentes para extraer CGSy Cord. La desventaja que presenta el método 1 es que necesita condiciones de operación diferentes para la extracción de CCSy Coxd a diferencia de los métodos 5 y 6 que sólo necesita un circuito para ambos parámetros donde se generan automáticamente las condiciones de medición. La principal desventaja de los métodos 2, 3 y 4 es que necesitan las gráficas que proporciona el fabricante en sus hojas de datos, otra desventaja es que necesitan la introducción manual de los puntos que forman las curvas, resultando un método tardado e impreciso. El método 5 se basa en la medición de la compuerta durante una conmutación dura con carga resistiva, de esta manera se aprovechan las dos condiciones necesarias para medir CGSy Coxd, la desventaja es que el incremento de VGS no es lineal y la intersección t3 no es precisa dentro del algoritmo implementado. El método 6 presenta interesantes ventajas en comparación con los demás, esto se debe a la implementación de una fuente de comente en la compuerta, la cual carga linealmente las capacitancias y hace más visible para el algoritmo la detección de t3. Tabla 4.2.2 Comparación de diferentes métodos para la extracción de CGSy Caxd(IGBT-PT CT30SM-12) CAPll ULW 4 !I ~~~ 4.2.3 Resultados para VT” El parámeiro V-rDse obtiene por medio de la evaluación de un error estimado entre VCE y la inierpolación lineal V&” formada con VcE(P2)=2V y VCE(PI)=GV.La Fig. 4.2.4 muestra la interpolación lineal VCE” y el punto de intersección V,(P). - Vcr (9V/Div) ......_........... VcE”(9V/Div) .V, (3V/Div) Fig. 4.2.4 Medición de la carga en la compuerta para extraer VTD. donde: (4.2.7) VTD= V,(P) - (Vc,(P) - 0.6V) (4.2.8) Una vez obtenido..,el punto de intersección (P) se puede determinar VTD utilizando (4.2.8). La Tabla 4.2.3 muestra los resultados obtenidos de VTDaplicando cuatro métodos diferentes. El análisis de selección es similar al parámetro anterior, por ejemplo el método 2 y ’! 3 necesitan las gráficas que proporciona el fabricante en sus hojas de datos y el método 1 ‘I1 carece de visibilidad para el algoritmo durante la intersección del punto “P”. El método 4 es el I1 más adecuado para extraer este parámetro debido a la mayor visibilidad para el algoritmo y al aprovechamiento de un circuito ya implementado para la extracción de otros parámetros como CGS y Caxd. Tabla 4.2.3 Comparación de diferentes métodos para obtener la extracción de V,, (IGBT-PT CT30SM-12). Medición de la carga 4.3 Parametros Theta, Kp y KF .. . .. . . . . . .. . La Fig. 4.3.1 muestra la medición de Ic(t) y VGE(t) utilizando el circuito propuesto para esta metodología. En esta medición se puede observar que la señal de VGE(t) tiene una forma de rampa troceada a partir de OV. Por otra parte, Ic(t) empieza a evolucionar a partir de que VG,(t) sobrepasa el voltaje de umbral (VT). Como se puede observar, la corriente Ic(t) tiene un comportamiento no lineal, el cual esta dada por las ecuaciones (4.3.2) y (4.3.3). Esto se debe a que VCE= 15V y VGE(t) adquiere valores desde OV hasta 19V. Cabe aclarar que para la medición de Ic(t) se utilizó un transformador de comente (TC) con una relación de 60:1, es decir OSA corresponden a 30A. .- 2 o o I20 ! 80 -. 40 -- O ! 5.0 ,-- __ I ! 7.33 - 9.67 12.0 L 14.33 1 16.67 19(V) lc(V~,) medida Fig. 4.3.2 Medición de la función de transferencia Fig. 4.3.1 Medición para extraer Theta, Kp. Por medio de un algoritmo computacional se unieron los puntos estables de Ic(t) y VG,(t) de la Fig. 4.3.1 para formar una función de transferencia (Fig. 4.3.2) en la cual se compensó el tiempo de retraso de la punta de comente y del TC (611s) con respecto al voltaje. KP'(VGS- ( '1.)' 1 +Theta VGs -'T)] .3 (vGS- 'T) "üS (4.3.3) CAPITULO 4 RESULTADOS EXPERIMENTALES ' Con la función de transferencia obtenida en la Fig. 4.3.2 se puede aplicar cl método de extracción para Kl,, Theta, y KF. lo cual consiste básicamente en ajustar la función de transferencia con las ecuaciones (4.3.1), (4.3.2) y (4.3.3) a través del método de mínimos cuadrados. Los resultados de este método se muestran el la Fig. 4.3.3 en la cual se observa la comparación de Ic(VGE)medida y calculada con los parámetros obtenidos ( K p , Theta, KF). 5.0 7.33 9.67 IC(VGE)medida o'noono Ic(VG,) calculada 12.0 VGE 14.33 16.67 19W) Fig. 4.3.3 Comparación de IC(VGE)medida y ajustada La Tabla 4.3.1 muestra la comparación de cuatro metodoiogías diferentes. El problema que presenta el método 1, como ya se mencionó antes, es que utiliza el programa interno de Pspice (Parts). Por otra parte, la principal desventaja del método 2 es que la función de transferencia esta limitada a un valor de VGE inferior a 8V. Por lo tanto, los parámetros obtenidos en el ajuste no garantizan la tendencia de Ic(VGE) para valores de VGEmayores hasta 15 V. Con el método 3 se obtienen mejores resultados debido a la mínima influencia de la temperatura. Sin embargo, el circuito de prueba para este método es más complejo que el método 4 con el cual se obtienen resultados poco influenciados por la temperatura. Por lo tanto, el método más conveniente para la extracción de estos parámeiros es el método 4. Tabla 4.3. I Comparación de diferentes metodologias para extraer Kp, Theta, KF(IGBT-PT IRGPHSOF). Tesis: l>er.mollo c Iriiplenirnioci6ii dc un Pruccdimienlo dc li&cci6n dc Paniinctror para un Modela Fisico dc lGI3.l 71 CAPiTULO 4 RESUL7'ADOS EXPERIMENTALES Parámetros NRy W, 4.4 4.4.1 Resultados para NU(IGBT-PT) La Fig. 4.4.1 muestra los resultados obtenidos en la medición de VCI;,,,~~ utilizando el circuito propuesto para esta metodologia. Este voltaje se define cuando la corriente de colector IC alcanza un valor de 1 mA con el voltaje de compuerta nulo (VGE= OV). En la medición se puede observar que VCE alcanza su valor máximo (VCEmar)en el momento en el cual IC empieza a incrementarse. Es interesante notar que VcEmaxSE amarra al voltaje de ruptura de 840V aunque ia alimentación de voltaje del circuito sea de VCC = 900V (IGBT-PT CT30SM 12). 1:1111 'I'"iiii I,! l".S 4 F V?,..dO 2 ~ ~~~ .. ________ .,,, /i , r ' Fig. 4.4.1 , 1,.,,1, I < / I:..,. v , 7 y y Irlsmmivl ~~.~~"~"uov.~ ....,_~ . . .. , . .. . . , I , " J . , % . N ~ - . F . ~ . S . . . : ~ + . r . ? -~ ~~~,~ ~ I i i l i .,..,.. Medición de V,, ..................... . ., J ............ LLI !'>L ,,,,I . -JJ <,,,v.. IC para extraer VB,. VcE(200V/Div) IC (2mAIDiv) Fig. 4.4.2 ~.. ., . ,..I , -a¿**&!-&.> !.. ,.,' ~~~~ Detalle de I C Tiempo Fig. 4.4.: Medición del Vc,:n,a7 El fabricante normalmente da un valor inferior al medido (real). Esto se debe a que ai fabricante sólo le interesa estar dentro de un margcn de seguridad que garantice estar dentro del área de operación segura. CAP I TULO 4 RESULTADOS EXPERIMENIALES El algoritmo computaFional para determinar VC~:,,,~~ consiste en determinar la localidad de tiempo, en la cual se encuentra una corriente IC > ImA partiendo de izquierda a derecha de ~ ~ ~ . V C E ~se~puede . ~ igualar la medición y obtener así el valor correspondiente de V C E Después a V a y resolver la ecuación,(4.4.1) obteniendo así No. (4.4.1) 4.4.2 Resultados para N" (IGBT-NPT) Como se explicó anteriormente, la medición del V C E no~ aplica ~ para esta tecnología. Esto es debido a que VCEmx# VQr.Lo anterior se demuestra con el conocimiento previo de NB=0.83E14 con el cual se obtiene un valor teórico para el voltaje de ruptura V~,=2400V (4.4.1) para un IGBT-NP? caracterizado por el fabricante (IGBT-NPT BW307). En la Fig. 4.4.4 se observa que la medición arroja V C E=1470V ~ ~ ~para este dispositivo, sin embargo el fabricante especifica en sus hojas de datos V~~,,,=1200V. En ambos casos el valor es muy inferior a vBr=2400v, 10'que quiere decir que la ruptura no sucede en ia unión pn, sino probablemente en la estructura marginal del dispositivo. , s u n . iOOLI/I Slrn,,iC I_-.~ .~~qF:I -.., ..... ., cui7 i 0 " l Y S I... ~~ ...,. 7 ...... > I lil I .; a wOniA<: LCB-..;aat-~L-..L Fig. 4.4.4 r;,,nn,<, )--.~~ ,_~.I -~.~ Medición de VcE,IC para extraer V,,,,,,,. OII :<t,,">\.8 ,,, I1 ,. , ,'; j , . , , -ai6ain.riir/---~~"iv' i, >"" 2\.2:i.i9 Fig. 4.4.5 Detalle de IC I1 La dependencia que se obtiene para determinar VQ, se basa en considerar una relación ~ ~ ~ experimentalmente y el V Qque ~ se obtiene a partir de Nn. constante entre el V C Eobtenida La relación obtenida para esta estructura se muestra con la siguiente ecuación. Tcris: Derarrollo e Implemeniaci6n de un Procediniicnio dc I:rtricei(in de Pañmerroi para un Modelo Fisico de ICBT 73 CAP1 I’L LO 4 K t S U I . IAI)OS í~XI’EI<IMI~N I’A1.I.S VB = K(VCi:rnax) donde: K = 1.92 V C E= ~Valor ~ ~especificado por el fabricante en sus hojas de datos (4.4.2) 4.4.3 Resultados para WB A parir de la obtención de NE, ya sea de estructura PT o NPT, se pue ner 10 de la base WE por medio de la ecuación (4.4.3), bajo la suposición de que el voltaje de ruptura se alcanza cuando la zona de carga espacial (ZCE) se extiende al ancho total de la base (W,3) (4.4.3) En la Tablas 4.4.1 se muestran la comparación de los parámetros obtenidos para el IGBT-PT con el método propuesto con respecto a los valores proporcionados por Parts, siendo estos últimos valores por default. De aquí se puede observar que los valores obtenidos son muy semejantes para ambos casos. Así mismo la Tabla 4.4.2 muestra la comparación para el IGBT-NPT con el método propuesto con respecto a los parámetros proporcionados por el fabricante. De igual manera, se observa que los resultados son muy semejantes lo cual valida el método propuesto. Tabla 4.4.1 Comparación de diferentes metodologías para la extracción de No y WD(IGBT-PT CT30SM-12). . “Fall timc(T,)” Tabla 4.4.2 Comparación de diferentes metodologias para la extracción de No y WB (IGBT-NPT BUP307) CAP~TULO4 RESULTADOS EXPERIMENTALES 4.5 Parámetros AGDy A 4.5.1 Resultados para Aci> A partir de la medición de la carga en la compuerta (Fig. 4.5.1) se puede determinar la (Fig. 2.5.1.2). El interés que se tiene para medir VDGes para curva de VDG= (VCE-O.~)-VGE obtener C g d j ( V ~por ~ ) medio de la diferenciación y comparar la gráfica con la obtenida con el LCR (Fig. 4.5.3) E"il. SO.O\i(il9 m......,......~ . , 1-s.I,! .. . 1 ! .. ............... ........ ... ..... ..... i n s oY [4iF 2.OllAC . - VG ( I OV/Div) . ___ <!,I i l U V ..... . ...... 7.6 9.5(iir) I OViDiv) V(, Fig. 4.5.2 Medición de VG,VCE,VDG para extraer Cgd,. Fig. 4.5.1 Medición de la carga en la compueiia in1 1 .... 5.7 ................. V,,(IOVIDiv) in> mxP-nm~c-ciirJ-rr56 I 8 18 1.9 O !. ..... . . . _ . . . . . . . . .1 < cgdj 0.10 -o'ol10 IS 20 15 30 35 40(V) ............... Método (Piopuerlo) Fig. 4.5.3 Comparacion de C,(V,) Con las curvas obtenidas de Cgdj(VD~) en la Fig. 4.5.3, se puede obtener el área AGD mediante el ajuste de la ecuación (4.5. I ) . RESULTADOS EXPERIMENTALt3S CAP~TULO 4 (4.5.1 ) donde: (4.5.2) En la Fig. 4.5.4 se muestra la comparación de las curvas Cgdj(V0G) obtenidas con el método propuesto, con el LCR y las calculadas con los parámetros. obtenidos por ajuste en cada método. in I5 20 25 35 30 VDC. 4 0 ~ 8888 Medición (propuesto) xx"Hc. ---- . ................ .. Medición (LCR) Cálculocon AG,(propuerm) Cálculo con A m (LCR) Fig. 4.5.4 Comparación de C,a,(VDG) La Tabla 4.5.1 muestra la comparación de los resultados obtenidos para AGD.Sin lugar a duda, el método 1 resulta ser más exacto que el método 2 debido a la medición directa de C g d j ( V ~ ~Sin ) , embargo la desventaja que presenta éste método con respecto al otro es que se necesita un LCR para la medición, lo cual resulta inconveniente para la metodología propuesta, por ser un aparato muy costoso. Tabla 4.5.1 Comparación de dos metodologias para la extracción de AGD(IGBT-NPT BUP307). I I 0.1375 cni' I 0.1323 cni' I Y CAP~TULO4 RESULTADOS EXPERIMENTALES 4.5.2 Parámetro A Con la medición de la Fig. 4.5.5 se puede obtener C&,(V[>S)aplicando la metodología propuesta para ésta extracción, que consiste básicamente en realizar la diferenciación entre la comente y el voltaje (IGBT-NPT BUP307). Fig. 4.5.5 Medición independiente de Cdsi. La Fig. 4.5.6 muestra la curva de C&,(VDS) obtenida aplicando el método propuesto y aplicando la medición con el LCR. o ..... .. I I .. ._... ., _ .-.... . .. . . . .... .._i.. . . .. .... .. . . .- 1.....~ .... . 0.01 ............... 10 I5 1.............. ~ 20 I ............ 25 M&iodo(LCR) ................. V"< , iii .I 1-2- ... * r::3:-::::..1 I 30 35 40(V) MCiodo foroouertoi Fig. 4.5.6 Comparación de CdSj(Vm). De la Fig. 4.5.6 se puede observar que los resultados obtenidos entre las dos metodologías expuestas existen muy pocas diferencias. Sin embargo, la medición con el método propuesto de Cdsj(VDs) al igual que cgd;(vOG) sólo es posible en un rango inuy pequeño de voltaje, típicamente de I O a 40 V, mientras que con el método 2 el rango del voltaje puede ser mucho mayor, permitiendo una extracción más precisa de los parametros. CAP~TULO 4 RESULTADOS EXPERIMENTALES . . Con las curvas obtenidas de Cdrj(VDS) se puede .~ ajustar la ecuación (4.5.3) por mínimos cuadrados y obtener el área de drenaje-fuente (ADS). N o obstante, el ajuste que se realiza podría ser más exacto si se utiliza un rango mayor de voltaje. ADS= A= A, -, Cdsj (4.5.3) (4.5.4) + AGD Con la extracción de ADSse puede obtener el área activa del chip (A), considerando que la superficie total es la suma de ADsy &D (4.5.4). En Fig. 4.5.6 se muestra la comparación de las curvas Cd$j(VDS) obtenidas con los métodos 1 y 2, las ajustadas con el método 1, y las calculadas con los parámetros obtenidos por ajuste en cada método. eeee Medicion (propuesio) Vi,, -"E Medicion (LCR) --__ ..... ~~ ......... C~lculocon ADS(propuerio) Cálculo con Aor (LCR) Fig. 4.5.6 Comparación de Cd,i(V,s). La Tabla 4.5.2 muestra la comparación de los resultados obtenidos para ADS.AI igual que en los resultados de la metodología anterior (Tabla 4.5.1) el método I es más exacto que el método 2 y la desventaja del primer método también aplica para esta metodología. Tabla 4.5.2 Comparación de dos metodologias para la extracción de ADSy A (IGBT-NPT BUP307). Minimos cuadrados 4.6 Parámetros Tau e Isne 4.6.1 Resultados para Tau e Isne (IGBT-PT) La Fig. 4.6.1 muestra la medición de la comente IC al apagado del IGBT-PT CT30SM12 para diferentes niveles de voltaje. De las mediciones se puede observar claramente que los puntos de medición IK e IT 0 ' definidos en la metodología propuesta, varían para cada nivel de voltaje VC-. Sin embargo IK e IT O' no son detectados para todas las tensiones y comentes Fig. 4.6.1 Medición de IC durante el apagado (IGBT-PT) Tomando la medición de IC =10A y VCE= lOOV (Fig. 4.6.1), la cual muestra mejores resultados para la obtención de los puntos IK e IT O' se obtuvo la curva de la Fig. 4.6.2 mediante el ajuste de la ecuación (4.6.1) por medio de un algoritmo computacional el cual extrae el parámetro Tau ajustando lo mejor posible la curva medida desde ITOt hasta IC = OA. Por otro lado Isne se obtiene por medio de la medición de IK y utilizando la ecuación (4.6.2). . CAPiTULO 4 RESULTADOS EXPERIMENTALES Ic(t)= (4.6.1) donde: 2 he= 2 q . A .D .ni? P (4.6.2) IK.Tau Tc :.- o,*(n) 0.53 . d ........... ........ i , ...... . . . . . 3,o n5 ,... ,. ...... ........ 4 .. . , . ~.............. ~ ....{....... .............. I ..... <: -' \, ...... i 0.27 ................. 0.13 1 O O 70 I40 IC - ajustada 110 tiempo iao 350 42qnr) -IC - medida ... Fig. 4.6.2 Cola de IC medida y ajustada De la Fig. 4.6.2 se puede observar que el ajuste no es muy exacto. Sin embargo, los sobretiros que tiene la comente medida son efectos externos al modelo del IGBT. Estos efectos se ven menos influenciados cuando se utilizan valores de IC y VCEmayores, tal como se muestra en la Fig. 4.6.1. Pero al utilizar voltajes más altos, los puntos IK e IT O', como ya se mencionó antes, son menos observables. Las Tablas 4.6.1 muestran un análisis comparativo de la obtención de Tau y Isne con la metodología propuesta para cuatro niveles diferentes de voltaje VCE (IOOV, 200V, 300V, 400V), tres niveles de comente IC (IOA, 30A, 6OA) y A = 0.314 cm2. De este análisis resulta evidente notar que cuando la corriente IC o el voltaje V ~ aumentan, E los puntos de IK e I T O' son menos observables y por lo tanto los resultados obtenidos de Tau pueden causar errores en la extracción de h e . Para asegurar una mayor exactitud en la extracción, se decidió utilizar la mediciones de la cola de corriente para IC = 10A con VcE = IOOV y utilizar el Tau y Isne resultante de la media (Tau = 62.00 ns, Isne=IZl.8pA). 80 Tesis: Dcramollo c Iniplemeniacióii dc tin Procediniienm de lirtricci6n de PaRmeiror para un Modclo I3sico dc GUT CAPITULO 4 RESULTADOS EXPtKlMENTALES I Tabla 4.6.1 Valores obienidos dc Tau y lsne para varios niveles de Vc,:. 4.6.2 Parárnetro Isoe (IGBT-NPT) La medición de la Fig. 4.6.3 muestra el transitorio de apagado del IGBT-PT BUF'307, con la cual se puede obtener AQB, que es básicamente la integral definida de t l a t2 de la comente IC. O I20 .............. VcE(50V/Div) 240 ticmpo 360 480 600(nr) I, (2.5AIDiv) Fig. 4.6.3 Medición de IC durante el apagado (IGBT-NPT). Para obtener una mejor aproximación de AQB se realizaron tres mediciones del transitono del apagado con IC= 10A y VCE= IOOV, 200V y 300V (Fig. 4.6.4). Tesis: Desarrollo e Implenieniaci0n dc un Proccdiiiiieiiio d e Exlraccih de PaRnietros para un Mmlelo Fisico de ICBT 81 RESULTADOS EXPERIMENTALES CAPiTULO 4 tiempo V&lOOV/Div) = IM)V ..........................Vrr(100VIDiv) = 2M)V -----V~(lO0VlDiv)= 300V tiempo ....................... ldiOAIDiv)= VcilOOV IC(IOAIDiv) = Vce2WV Ic(lOAIDiv) = V c ~ 3 W V Fig. 4.6.4 Transitorio en el apagado del lGBT Vc,(a) y de Ic(b) Con IDS valores obtenidos por las tres mediciónes de AQB (VcE), se ajustó por mínimos cuadrados la ecuación (4.6.3) para determinar una curva AQB(VCE)con un Isne que acerque lo mejor posible los puntos obtenidos experimentalmente de AQB(Fig. 4.6.5). AQo(VcE)-Ajuste ooooo AQo(VcE)-Medición Fig. 4.6.5 Curvas de AQ,, medida y ajustada. CAP~TULO4 L’, ~. .. ’ . “<,> 2 , ,. .. . , . I. RESULTADOS EXPERIMENTALES (4.6.3) (4.6.4) La Tabla 4.6.3 muestra los resultados obtenidos para AQ” a diferentes valores de VCE con IC = 10A. Así mismo se muestra el resultado de Isne ajustando por mínimos cuadrado a dichos valores de AQB. Tabla 4.6.2 Resultados obtenidos de AQo e h e . 1-ens: Verairollo e Iiiiplenicniación dc un I’iocediniienio de ErtracciOn de Purimciros p a n un Modelo ~ i s i c ode ICRT 83 CAPíTULO 5 VALIDACI~N DE PARA'METROS 5.1 Introducción .; En esta sección se validan los resultados de los parámetros extraídos con la metodología propuesta mediante la comparación entre simulaciones y mediciones de los IGBT de estructura PT y NPT (CT30SM-12 y BUP307 respectivamente) en un circuito de prueba tipo troceador. La validación para la estructura PT se realiza mediante el modelo estándar del IGBT implementado en el código fuente de Pspice, mientras que para la estructura NPT se utilizará un modelo físico implementado como subcircuito en Pspice [4]. Cabe mencionar que las diferencias que se presentan entre una simulación y las mediciones pueden ser originados principalmente por los aspectos siguientes: a). Errores en los modelos de los componentes involucrados b). Errores en los pjámetros (tanto de los modelos como del circuito) c). Errores en la medición Por lo tanto no es posible aislar completamente los errores en los pararnetros, lo cual sena el propósito de esta validación. Tesis: Desarrollo e Irnplcmeniaci6n de un I'iocedimienio de 'Exiracci6ii de Parjnielros para un Modclo Firico de IG111 84 5.2 Comportamiento Estático Este comportamiento ocurre cuando las variables de entrada, en este caso el voltaje de , encuentran en estado estable, lo que da como resultado una salida de compuerta V ~ Ese corriente IC estable. La Fig. 5.2.2 muestra la familia de curvas estáticas obtenidas con el circuito de la Fig. 5.2. I . Esta comparación muestra la buena calidad de extracción. Esto verifica la adecuada implementación de la ecuación I,, dentro del simulador y el comportamiento casi constante para el IGBT-PT. que presenta la relación bl (b1=ImoS/1bip=2) Fig. 5.2.1 Circuito para medir la familia de curvas estáticas .,., ! ........... 128. too I--I ...................... !~. . . . . . . . . . . 1 50 25 -i i kI !i O I ,- A_-.i_.. 2.61 ........... I 5.33 Medición Simulación 1 8.0 tiempo 10.67 1 13.33 . i I6IVI Fig. 5.2.2 Familia de curvas estáticas del IGBT-PT CT30SM-I2 (Pspice vs medición). De los resultados obtenidos en la familia de curvas estáticas (Fig. 5.2.2) se observa que la metodología de extracción sobre los parámetros estáticos que confomian la corriente I,, (Theta, Kp,KI;, VT, VTD)es adecuada, debido al buen acercamiento que tiene la siniulación con respecto a la medición. Esta validación aplica para las dos tecnologias dc IGBT(PT y NPT). CAP11 ULO 5 VALIDACION DE PARAME I ROS 5.3 Comportamiento Dinámico Este comportamiento sucede cuando las variables de entrada y salida se encuentran en estado transitorio. Para simular este comportamiento, se necesita que el modelo del IGBT implementado en el simulador utilice todos los parámetros de entrada. Circuito de prueba El circuito propuesto para validar la metodología desarrollada es tipo troceador con carga inductiva (Fig. 5.3.1). El cual fue previamente caracterizado para determinar los elementos parásitos de manera que pudieran ser considerados en la simulación. i Condiciones: LKI Le RLI ICD vgg Lg IYBB tu iF VBB Rg DI D2 IGBT IGBT = = = = = = - -- = = = = = = 150 14 0.5 IO 0-15 IO 25 450 nH nH C2 A V nH ns ns 200 v 41 C2 BY P l03b HFA25TB60 IGBT-PT CT30SM-I2 IGBT-NPT BUP307 Fig. 5.3. I Circuito troceador para validar los parametros obtenidos La caracterización de los elementos parásitos del circuito de prueba se calcularon por medio del diídt sobre las inductancias parásitas (LK y Le) y se minimizaron las capacitancias parásitas utilizando diodos de rápida recuperación, de tal manera que el decremento del dvidt al apagado sea despreciable. 5.3.1 Encendido y Apagado (IGBT-PT CT30SM-12) En este punto se analiza por scparado el transitorio de encendido y apagado del IGBT de estructura PT realizando la comparación de la simulación con los parámetros obtenidos en esta tesis y la medición con el circuito de prueba. a) Encendido O WvV ........... 0.2 Simulación Medición 0.4 0.6 0.8 Tiempo Fig. 5.3.2 Comparación de las curvas de V,,; e IC durante el encendido del IGBT-PT CT3OSM-I2 De la Fig. 5.3.2 se observa que la simulación presenta una tendencia muy similar a lo obtenido por la medición. Sin embargo, se puede apreciar que el sobretiro de corriente (tiempo = 0.3 - 0.6 ps) tiene algunas diferencias. Esto se debe indudablemente a que el diodo D1 no se encuentra correctamente modelado. Por otra parte, el decremento de la tensión en el escalón (tiempo = 0.2 - 0.35 ps) se debe a la inductancia parásita LK y a la pendiente de subida de la corriente IC, la cual varía ligeramente entre medición y simulación, cabe aclarar en este punto, que tanto LK como Le, fueron caracterizadas por mediciones detalladas, de manera que la diferencia se debe al diídt causada por alguna imprecision en los parámetros que afectan la entrada del IGBT (P.e. Rg). Dada la buena reproducción de la medición, los parámetros obtenidos en la metodología propuesta y que fueron introducidos completamente en el modelo estándar del IGBT-PT de PSpice a excepción de Ccs y Cox& se reproduce satisfactoriamente tanto el encendido como el apagado del IGBT-PT. Por otra parte, es importante mencionar que el modelo estándar del IGBT de PSpice es un modelo físico sólo parcialmente. Esto se debe a que el modelo sólo funciona Correctamente con los parámetros de CGSy Cosdque proporciona el programa interno de PSpice (Parts) pero dichos valores no corresponden a parámetros fisicos tal y como se aprecia por la gran diferencia de este paránietro en la Tabla 4.2.2. VALIDACIOND E PARAMETROS b) Apagado ........... Simulación Medición tiem"" Fig. 5.3.3 Comparación de las curvas de VCEe IC durante el apagado del IGBT-PT (CT30SM-12) De la Fig. 5.3.3 destaca el sobretiro de tensión (tiempo = 0.24 - 0.36 ps) y la diferente frecuencia de oscilación (tiempo = 0.36 - 0.6ps)tanto para el voltaje como para la comente. Esto se debe básicamente a las inductancias y las capacitancias parásitas, las cuales provocan resonancias diferentes en la simulación. Mientras que el sobretiro de tensión (tiempo = 0.24 0.36 ps) se debe tanto a la inductancia parásita del cableado como al di/dt de la corriente IC, en la cual se nota una diferencia entre simulación y medición (tiempo=0.24 - 0.3 1 ps). De esta comparación resulta que el modelo reproduce adecuadamente el transitorio del apagado, siendo notono el buen modelado de la zona de deflexión, la cual se puede visualizar con la primera pendiente del dV&dt. (tiempo = O - 0.2 ps). Así mismo durante la segunda pendiente de dv/dt se observa un buen desempeño (tiempo= O - 0.24 ps). Durante este tiempo no intervienen los efectos parásitos. Por lo tanto el comportamiento es exclusivo del modelo del IGBT de estructura PT, lo &al valida los parámetros obtenidos para el modelo durante el apagado. 5.3.2 Encendido y Apagado (IGBT-NPT BUP307) AI igual que en el punto anterior, en esta sección se analiza el transitorio de encendido y apagado pero en este caso para el lGBT de estructura NPT. a) Encendido O O 0.2 ........... <. Simulación Medición 0.4 tiempo 0.6 0.8 Fig. 5.3.4 Comparación de las curvas de VcE e IC durante el encendido del IGBT-NPT (BUP307) La justificación de la pequeña diferencia del sobretiro de comente (tiempo = 0.35 - 0.5 ps) se debe, de igual manera que en caso anterior, al modelo de diodo D I , mientras que la diferencia en el 2d"escalón de voltaje (tiempo = 0.38 - 0.6 ps) es causa de imprecisiones en el modelado durante la modulación de la resistencia del IGBT (zona n-). Sin embargo, el comportamiento de la corriente y voltaje en este transitorio, se ajusta con suficiente precisión al comportamiento de la medición. Por lo tanto el buen desempeño del modelo durante el encendido del IGBT de estructura NPT, valida los paráiiietros obtenidos en esta tesis. CAPITULO 5 VALIDACION DE PARÁMETROS Apagado O O 0.14 ........... Simulación Medición 0.28 tiempo 0.42 0.56 0.7(ps) Fig. 5.3.5 Comparación de las curvas de V,, e IC durante el apagado del IGBT-NPT En este transitorio (Fig. 5.3.5) se puede observar que el comportamiento de comente y voltaje no se ajustan adecuadamente a la medición. La justificación que se tiene sobre el escalón de comente (tiempo = O. I4 - O. 18 ps) es sin duda a la inestabilidad de la compuerta del IGBT y el decremento de voltaje de compuerta provocado por inestabilidad. Así mismo la primera pendiente del dVcE/dt (tiempo = 0.07 - 0.14) no se ajusta muy bien a la medición debido al mal modelado de la zona de deflexión. Sin embargo, el di/dt y por consiguiente el sobretiro de voltaje (tiempo '= 0.18 - 0.21 ps) coinciden perfectamente con la medición, al igual que la segunda pendiente de dvidt (tiempo = 0.14 - 0.18 ps) lo cual da como resultado el buen desempeño del modelo del IGBT de ectmctura NF'T, el cual utiliza los parametros obtenidos en este trabajo. CAPITULO 6 1 CONCLUSIONES I CAPITULO 6 1 I ! CONCL USIONES 6.1 Introducción En este capítulo se presentan las conclusiones generales, destacando la metodología de extracción, resultados finale8 y validación. Tales iconclusiones se enfocan a los objetivos establecidos en este trabajo de tesis. I CAPiTULO 6 CONCLUSIONES 6.2 Características de la metodología desarrollada La metodología desarrollada y propuesta en este trabajo es válida para los modelos tisicos del IGBT de tipo PT interno de Pspice y de tipo NPT implementado en Pspice como subcircuito [4]. Sin embargo, la mayona de los parámetros obtenidos son idénticos para cualquier modelo tísico. El algoritmo matemático desarrollado sólo necesita 7 mediciones con extensión .CSV de 6 circuitos de prueba. El algoritmo matemático completo se implementó en el programa de cálculo Mathcad Versión 7. 6.3 Calidad de la extracción La calidad de extracción de parámetros está fuertemente ligada a vanos tipos de errores. Estos tipos de errores no pueden ser eliminados, sin embargo se pueden minimizar. Los errores más comunes son: Offset y retardos de las puntas de medición Truncamiento de datos Adquisición de datos Consideraciones en 1a;metodologia 6.4 Validación de los parámetros Existen varios factores externos al modelo del IGBT que provocan grandes diferencias entre la simulación y la medición. Sin embargo, algunos de estos factores pueden ser caracterizados mediante mediciones directas. Existen otros .factores que no pueden ser considerados dentro del simulador indirectamente debido a las características propias del circuito de prueba. Los factores que determinan las diferencias entre la experimentación y simulación son: Errores en los modelos (tanto del IGBT como de los otros componentes del circuito de prueba). Errores en los parámetros de los modelos (tanto del IGBT como de los otros componentes del circuito de prueba). CAPhULO 6 CONCLUSIONES Errores en los valores,y consideraciones de elementos parásitos Errores en la medición. Debido a esto, y a las consideraciones de los errores, los resultados obtenidos en la validación muestran sólo pequeñas diferencias entre la simulación y experimentación. Por otra parte, se comprobó que los resultados de la extracción son válidos tanto para el IGBT de estructura PT como NPT. La conclusión que se obtuvo al validar el modelo estándar del IGBT de Pspice, fue que este modelo es sólo parcialmente un modelo fisico, debido a que las capacitancias CGSy Coxd que necesita el modelo no son parámetros fisicos, sino parámetros auxiliares que se obtienen con el programa interno de Pspice (PARTS). Esto se concluye, puesto que sus valores no están relacionados con los que se obtienen en la extracción considerados fundamentos fisicos. 6.5 Trabajos futuros Se propone como trabajo adicional a esta metodología realizar una mejora en la extracción de NB utilizando un circuito de avalancha, el cual determina indirectamente el voltaje de ruptura V B ~ . Se tiene contemplado como trabajo futuro la implementación de los circuitos de pmeba realizados en esta tesis en un banco de pruebas en el cual el procedimiento de adquisición de datos de las mediciones sea de manera automática. Esto se propone con la finalidad de automatizar completamente el procedimiento de extracción. REFERENCIAS REFERENCIAS A. Claudio, M . Cotorogea, “Caracterización y Modelado de Dispositivos Semiconductores de Potencia”, 1er Seminario de Electrónica del CENIDET, Memoria Técnica, Cuernavaca Morelos México, 1998, p. 27-34 Siemens -Tutonal de fundamentos del IGBT, p. 4 J. Aguayo, “Análisis comparativo de transistores IGBT tipo T P y NPT en diferentes mn’iios de conmutación”. Tesis de maestría. Centro Nacional de investigación y Desarrollo Tecnológico CENIDET, Cuemavaca Morelos México, 2000. T. Laska, G. Miller, “A 2000V-Non-Punch-Through-IGBT with Dynamical Properties like a lOOOV-IGBT”,IEDM90 Technical Digest, p. 807-81 O. T. Laska, G. Miller, J. Nierdenneyr, “A 2OOOV-Non-Punch-Through-IGBT with High Ruggedness”, Solid-state Electronics, Vo1.35, 1992, p. 681-685. A.R. Hefner, Jr.,’t‘‘An Improved Understanding for the Transient Operation of the Power Insulated Gate Bipolar Transistor VGBT)”, IEEE Transactions on Power Electronics, Vol. 5, No. 4, October 1990, p. 459-468. A.R. 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C, (2), Gago (3) dcl modelo fisico Fig. 2.2.1 Circuito básico equivalente del IGBT Fig. 2.2.2 Estructura interna dcl IGBT dc tccnologia NPT Fig. 2.3.1 Cono circuito pulsante Fig. 2.3.2 Función de transfercncia tipica Ic(VGE) Fig. 2.3.3 Circuito para obtener la medición de l a función de iransferencia Fig. 2.3.4 Función dc transferencia variando los parámetros a extraer Fig. 2.3.5 Fig. 2.3.6 Circuito troceador para CI análisis transitorio '1 Definicion de Td, T r y Tf durante los transitorios on - Fig. 2.3.7 Transitorio de encendido y apagado utilizando los parámetros a extraer Fig. 3.2.1 Diagrama a bloques de la meiodologia dc extracción de parámetros Fig. 3.2.2 Diagrama de flujo de l a secuencia de extracción de parametros Fig. 3.3.1 Medición de V,, y IC Fig. 3.3.2 Circuito de prueba 2: Circüito en rampa Fig. 3.3.3 Circuito RC en l a malla de cntrada del ICBT Fig. 3.3.4 Fig. 3.3.5 Fig. 3.3.6 Fig. 3.3.7 Carga en l a compuena para obtener CGs Circuito de prueba 4: IG = Const. Estructura interna del IGBT de tecnologia NPT Circuito RC en l a malla de'entrada del ICBT Fig. 3.3.8 Carga en l a compuerta para obtener Cord Fig. 3.3.9 Carga en la compuetiapara obtener VTo Fig. 3.4. I Corriente lms(VDs)para varios VGE Fig. 3.4.2 Circuito simulado en Pspice para encontrar la relación b l Fig. 3.4.3 Simulación de las corrientes Fig. 3.4.4 Simulación la relación b l = Im& Fig. 3.4.5 Circuito de prucba I : Cono circuito pulsante Fig. 3.5. I Curva del V,, cn función de No I Fig. 3.5.2 Circuito de prueba 3: Circuito de avalancha estático Fig. 3.6.1 Carga cn la compuena para obtener AGD(IGBT-BUP307) Fig. 3.6.2 Medición en CI plato Fig. 3.6.3 Fig. 3.6.4 off ' Malla equivalente dc cntrada Dctallc de dVc, ldt y de IG dc la medición de la carga en la compuena Fig. 3.6.5 Curva de Ccd,(Vw) ajustada con el valor calculado de ,A , Fig. 1.6.6 Formas de onda de ICy V,, ( ICBT BUP307) Fig. 3.6.7 Circuito de prueba 5 : Cargq dc Cor Fig. 3.6.8 Curva obtenida con u n LCR (IGBT BUP307) y ajustada con el valor calculado de A ,, Fig. 3.7.1 Gráficas dc corriente y voitajc al apagado del IGQT Fig. 3.7.2 Fig. 3.7.3 Diagram de flujo para extracr Tau y lsnc Circuito dc prucba 6 : Cano circuito (IGBT-PT) Fig. 3.7.4 Apagado dci ICBT utilimndo e l circuito dc la Fig. 3.7.5 Fig. 3.7.5 Circuito dc prueba 6 : Troccador (IGDT-NPT) Fig. 4.2. I Mcdición para extracr V., Fig. 4.2.2 Medición de l a función dc transfcrencia Fig. 4.2.3 Medición dc la carga en l a compucna para extraer ,C , Fig. 4.2.4 Medición de l a carga en l a compuerta para extracr V.,,, Fig. 4.3.1 Medición para extracr Thcta, KP Fig. 4.3.2 Medición de l a función de transferencia Fig. 4.3.3 Comparación de Ic(VGE)medida y ajustada Fig. 4.4. I Medición de VcE, ICpara extraer VB. Fig. 4.4.2 Detalle de IC Fig. 4.4.3 Medición dcl , , , ,V Fig. 4.4.4 Medición dc ,V ,, Fig. 4.4.5 Detalle de IC Fig. 4.5.1 Medición de la carga en la compucna Fig. 4.5.2 Medición dc V C , V C E i V ~para extraer Ced, Fig. 4.5.3 Comparación de)V ,(C , Fig. 4.5.4 Comparación de Ced,(VDC) y Coxd ICpara extraer VCEmii Fig. 4.5.5 Medición independiente de;C , Fig. 4.5.6 Comparación de Cd,(Vos) Fig. 4.6.1 Medición dc ICdurante e l apagado (IGBT-PT) Fig. 4.6.2 Cola de ICmedida y ajustada Fig. 4.6.3 Medición de I, duranie e l apagado (IGBT-NPT) Fig. 4.6.4 Transitorio en el apagado del IGBT Vc,(a) Fig. 4.6.5 Curvas de AQB medida y ajustada Fig. 5.2.1 Circuito para medir la familia de cuwas estáticas Fig. 5.2.2 Familia de curvas estáticas del IGBT-PTCT30SM-I2 (Pspice vs medición) yde Ic(b) Fig. 5.3.1 Circuito troceador para validar los parametros obtenidos Fig. 5.3.2 Comparación de las curvas de V ,, e IC durante e l encendido del IGBT-PT CT30SM-I 2 Fig. 5.3.3 ,, Comparación dc las curvas dc V e IC durante e l apagada del IGBT-PT (CT30SM-12) Fig. 5.3.4 Comparación de las curvas de V ,, e IC durante e l encendido del IGBT-NPT (BUP307) Fig. 5.3.5 Comparación de las curvas de V,, e IC durante e l apagada del IGBT-NPT APÉNDICE I APÉNDICE 1 Ecuaciones del modelo fisico del IGBT-PT en Pspice Resistencia de la base M =M elf UNt MüP'Qeb e b t QB Corriente del canal MOSFET APENDICE I Corriente de estado estable del colector w=wIIWbcj b=- M W M", Corriente de estado estable de la base Corriente de multiplicación de avalancha ' Im"i=(M- ) (Imos + Icss) + lgen Capacitancia y carga compuerta-drenaje cgs=c85 Qgs=cgr ",I Capacitancia y carga drenaje-fuente Cd,C dsJ Qdr=Cgr Vgs Con Capacitancia y carga compuerta-drenaje I 'dF coxd ('g5 q.Wd@'N,'Agd F QdF 'Ld) ''d, (17a) - D ( F - log( I + F ) ) - Coxd-VT Con F= 'oxd' Wdgl E SI Capacitancia y carga emisor-base Con eb' Veb'0 Capacitancia colector-emisor Con .=lo w bcJ V 5-0.6 bc o APÉNDICE 2 Ecuaciones del modelo físico del IGBT-NPT [24] Concentración en la zona de carga espacial N ~ = ( N , - N ~ - )+ h P - 6" Cargas móviles &"=I" (x=W)+ (1")a"aI q - A . v n . (E) Velocidad de los portadores en función del campo eléctrico Fuerza de campo eléctrico promedio v p (É)= con W KU= Ii J ) 2.E S : I ( vD i . VDS q.NC Factores de multiplicación para la generación de avalancha Corriente de avalancha Iaval=(l")a"a'+ (Ip)a"al (In)ava~an.(Ema$ + In ( F W ) (Ip)avalap.(E~ax)+Ip(~W) Ecuaciones para la parte MOSFET Relación de las corrientes Im o l =lo VGS<VT vUS - vT"DS vGS - vT <VDS Tesir: I)erarrollo e Im~lcnientaci6nde un Procrdimicniodc lirlrdcci<in ds Parzimclros para un Modelo Fisicn dc lCl3l APÉNDICE 2 81 Des' ipción de las capacitancias cd = con Ecuaciones para la parte bipolar I" (Fw)=lD + 6P 6s -' F W con P" VP (24) APENDICE Gradiente de las concentraciones de portadores para las corrientes de difusión Carga almacenada en las regiones de la base Resistencia de la base 106 .Tesis: üerarrolla e Iniplemenoci6n de un Proccdiniicnio de lktracción de Parárnclros piin un Modelo liisico de G U T 2 APÉNDICE 2 Ancho de la base cuasi-neutral Distribución y concentración de portadores en los límites de las regiones d la base Pml=min(PM* P (xm!;" m a('ü, P DP) ,ma<W,DW)) PmFmin P, ( 3 P x 'I m ..(o' P DP ,ma$W,DW)) ) Longitud de difusión en las regiones de la base G-JD.Tau (42) (43) Tesis: Dcsarmllo e Implementación de un Prccedirnienta de Exbacción de PaAmetros para un Modelo Fisico de IGBT ,I 107 APENDICE 2 A ,= 3 +. DPSP, 10 .+ DWSW Límites de las regiones de la base Dependencia de la temperatura VT (T)=V, (To)- m ( T - T 0 ) Cbeo(T)=Cbeo(To).[ 1 +O.O002(T- To)] ... APÉNDICE 3 APÉNDICE 3 ALGORITMO DE EXTRACCIÓN DE PARÁMETROS .......................... ClCUltO <(a) . CtC"L0 4 ....................... circuito z ..I I IO Tesis: I.. . . . . t... i .- Desarrollo e Iiiiplcnicniaciiin dc un I'roccdiniicnio dc Eximco6n de Parámclros para un Modelo Fisico de ICBT APÉNDICE 3 .I(: Tesis: Cdrj Desamllo'e Implemni~ciánde un Procedimiento de ExtracciQ de Parámetros para un Modelo Físico de IGBT 111 APENDCE ,. I.....:... .I i ' 1 . . . . . . . . . . . j. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . WB Formula oaia deferdnar el El ancho en I ZONA B Oilor de m r l d i , I ............................ 3 11 APÉNDICE 3 I"] Tesis: Desarrollo e Impiementación de un Procedimiento de Exmccián de Padmemos para un Modelo Fisico de IGBT , 113 e-- APENDlCf 3 APENDICE 3 . . . - .Ii, - ....... ......... Iy -.l ,,) .- -.4*> - ,<,.. ., I. 1~............. I ; -..-! . ...... ... ." ........................ .................. . . ..:. ~ ,I 1 7.1 ....I < Y <I, -/I.' rn"lrnrn. .'no..<o.~ ~<nn~,<~:~.n,,<ErliiS<.<iirn~.u:,.i-i. "..1..*I C.".?#" "".~lC>n<O>ll a,...--. APÉNDICE 3 - APENDICE 3 _ _ ~ .......................................................................... F s Ulr CON lA ~,m:L ~ -- , ' .. ,'I ? , .:=I.. . I . . . , ' . , . I . ..... II rr 12<l+-<"o,.n,J; *<r.i-n>' o <".i-n) '-7 ."d<,7 ..... .... _u n("*ii un ....................................... ............. ........ <u7 *:-z -.=-L "mI.11, n:m,r W'=r_lr .~ -. Tesis: Desarrollo e Implementación de un Procedimiento de Extracci6n de Par;imcmas para un Modelo Físico de IGBT 'I - 117