Sistema de Alineacion de Mascarillas (EVG620)

Sistema de Alineación de
Mascarillas (EVG620)
Micro y Nanotecnologías
www.nanocentro.ipn.mx
Beneficios
•
Desarrollo de micro y
nanoestructuras, microcanales,
sensores de presión, entre otros.
NIL
Nanoimpresión
Litográfica
NIL
Resultados
Aplicaciones
Descripción
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Fabricación de micro y nano
sistemas electromecánicos.
Fotolitografía
Fotolitografía
El sistema EVG620 es una herramienta
de doble uso diseñada para realizar
procesos de fotolitografía de doble
cara, así como procesos de litografía
por nanoimpresión NIL (Nanoimprint
Litography).
•
•
Transferencia de patrones a escala
micrométrica con una resolución de 1
a 5 mm (fotolitografía).
•
Fabricación de micro y
nano sistemas
electromecánicos.
•
Transferencia de patrones a escala
nanométrica con una resolución
menor a 50 nm (NIL).
•
Desarrollo de micro y
nanoestructuras,
microcanales, sensores de
presión, entre otros.
•
Alineación litográfica por ambas caras.
EVG 620
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