Sistema de Alineacion de Mascarillas (EVG620)
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Sistema de Alineación de Mascarillas (EVG620) Micro y Nanotecnologías www.nanocentro.ipn.mx Beneficios • Desarrollo de micro y nanoestructuras, microcanales, sensores de presión, entre otros. NIL Nanoimpresión Litográfica NIL Resultados Aplicaciones Descripción 45 9 Fabricación de micro y nano sistemas electromecánicos. Fotolitografía Fotolitografía El sistema EVG620 es una herramienta de doble uso diseñada para realizar procesos de fotolitografía de doble cara, así como procesos de litografía por nanoimpresión NIL (Nanoimprint Litography). • • Transferencia de patrones a escala micrométrica con una resolución de 1 a 5 mm (fotolitografía). • Fabricación de micro y nano sistemas electromecánicos. • Transferencia de patrones a escala nanométrica con una resolución menor a 50 nm (NIL). • Desarrollo de micro y nanoestructuras, microcanales, sensores de presión, entre otros. • Alineación litográfica por ambas caras. EVG 620 10
