Procedimiento básico Utilización grupo vacío de Referencia Pfeiffer HiCube80 Rev. 01_190130 Atención: La utilización del grupo de vacío y las sondas de referencia asociadas, solo puede efectuarse por personal con la formación técnica necesaria y haber recibido los cursos de formativos a este efecto. 1. Introducción El sistema de vacío de referencia se ha desarrollado para poder ofrecer servicios de referencias de presiones en el rango de 1.0E-3 a 1.0E+3 hPa, si bien también se puede utilizar como referencia a la hora de realizar los ajustes de fábrica para sondas Pirani y Capacitivas (con F.S. mínimo de 1 hPa). 2. Componentes del sistema VR1 VC1 • HICUBE 80 SN 15677235 (Grupo de Vacío) Página 1 de 6 Procedimiento básico Utilización grupo vacío de Referencia Pfeiffer HiCube80 Rev. 01_190130 o HiPace 80 SN 15746955 (Turbo Pump) • Sistema Medición Vacío Límite (N) o TPG261 sn 44483092 + PKR251 SN 44483236 (Ajuste del Zero) • Sistema Medición Referencias de Vacío (R) o TPG262 sn 44486064 + CMR371 SN 44481170 (F.S. 1000 Torr) o TPG262 sn 44486064 + CMR374 SN 44487835 (F.S. 1 Torr) Página 2 de 6 Procedimiento básico Utilización grupo vacío de Referencia Pfeiffer HiCube80 Rev. 01_190130 3. Precauciones antes de proceder a. El equipo se ha de utilizar sobre una base que no tenga vibraciones y estable, que no pueda provocar movimientos inesperados en el sistema, una vez esté funcionando. b. Todos los accesorios deben estar limpios y no tener restos de grasa, aceites o solidos que puedan afectar al sistema de vacío. En caso de no estar seguro, volver a limpiar los componentes con alcohol/acetona en la proporción de 30%/70% y eliminar los restos con procesos de vacío (utilizando una cámara de vacío auxiliar u otro sistema) o dejar secar hasta que no queden restos. Atención: Nunca utilizar para este proceso el propio sistema de vacío de referencias pues podría quedar contaminado y no conseguir las referencias necesarias. c. Todos los sensores que hubiesen de ser instalados en el sistema de referencias deben estar limpios y no tener restos de grasa, aceites o solidos que puedan afectar al sistema de vacío. En caso de no estar seguro, volver a limpiar los componentes con alcohol/acetona en la proporción de 30%/70% y eliminar los restos con procesos de vacío (utilizando una cámara de vacío auxiliar u otro sistema) o dejar secar hasta que no queden restos. Atención: Previamente se habrá de informar al cliente, que el proceso de limpieza de sus sondas es indispensable antes de colocarlas en el sistema de referencia dado que pueden estar contaminadas y afectar al sistema. Este proceso puede afectar a la funcionalidad de los sensores a limpiar y no es responsabilidad de Azbil Telstar México, los procesos de reparación necesarios en caso de verse afectados los sensores. Atención: Nunca utilizar para este proceso el propio sistema de vacío de referencias pues podría quedar contaminado y no conseguir las referencias necesarias. Página 3 de 6 Procedimiento básico Utilización grupo vacío de Referencia Pfeiffer HiCube80 Rev. 01_190130 4. Proceso de ajuste del cero en los sensores de referencia (R) Atención: Toda la instrumentación y los sensores a utilizar, han de estar atemperados un mínimo de 3 horas (HiCube, TPG262, CMR371 y/o CMR374). Antes de proceder a realizar el cero de los sensores de referencia de vacío, se han de cumplir los siguientes requerimientos: a. b. Asegurar que no existen fugas en el sistema (puede hacerse un chequeo previo, utilizando un detector de fugas de He). El sistema ha de tener la válvula de regulación VR1 cerrada y no tener fugas (dicha válvula no ha de ser forzada y solo cerrarla hasta observar que la presión no varía). Utilizar el indicador de vacío límite como se indica a continuación: 1. Tras asegurar que todos los componentes están instalados y que la válvula de vacío límite (VC1) está abierta y la válvula de regulación (VR1) está cerrada. 2. Poner en marcha el sistema de vacío HiCube, esperando que esté a régimen y con una velocidad de turbo de 90000 rpm. 3. Poner en marcha el indicador de los sensores de referencia, TPG262 con CMR371 y/o CMR374, dependiendo de las necesidades. 4. Poner en marcha el indicador de vacío límite, TPG261 con PKR251 y ver la presión indicada en este medidor (registrar este valor, que ha de ser inferior a 1.0E-4 hPa). 5. En caso de que la presión en el TPG261, no sea inferior a 1.0E-4 hPa, revisar que no ha fugas en el sistema y que la válvula VR1 está correctamente cerrada y no tiene fugas. 6. Apagar solo el TPG261 y esperar un mínimo de 3 horas, a que el vacío límite se estabilice. 7. Poner en marcha el indicador de vacío límite, TPG261 con PKR251 y ver la presión indicada en este medidor (registrar este valor, que ha de ser inferior a 1.0E-6 hPa). 8. Corregir el valor obtenido, según el certificado de verificación de la PKR251, para determinar si la presión residual nos permite realizar el ajuste de cero de los patrones de referencia. 9. En caso de obtener el vacío residual necesario, proceder con el ajuste, según indica el manual de utilización de los sensores de referencia (CMR37x). 10. En caso contrario puede sospecharse una fuga o un problema en el sistema de vacío de referencias (revisar fugas y en caso de no solventar el problema, contactar con el servicio técnico de la marca). Página 4 de 6 Procedimiento básico Utilización grupo vacío de Referencia Pfeiffer HiCube80 Rev. 01_190130 5. Proceso de creación de referencias de vacío (R) Atención: Toda la instrumentación y los sensores a utilizar, han de estar atemperados un mínimo de 3 horas (HiCube, TPG262, CMR371 y/o CMR374). a. Una vez realizado el ajuste del cero del(los) sensor(es) de referencia a utilizar se puede proceder con la generación de referencias, según el procedimiento de toma de datos que se hubiese definido. b. Este procedimiento ha de estar consensuado y establecido por la dirección del departamento de metrología, para poder normalizar los procesos y evitar fallos en la sistemática de toma de datos. 1. Método a presión estática o En este proceso, la válvula de vacío límite VC1, ha de cerrarse una vez realizados los ajustes del cero de los sensores de referencia. o Encender el TPG261 y registrar el valor de presión indicado en este (apagar posteriormente el equipo). o Esperar 3 minutos (volver a encender el equipo) y registrar el valor de presión indicado en TPG261 (para observar la diferencia y valorar si existe alguna fuga en el sistema). o En caso de que la variación no afectase a los puntos de referencia a generar (apagar de nuevo el TPG261) y comenzar a generar los puntos de referencia indicados, introduciendo el gas de verificación (N2 o Aire) mediante la válvula de regulación de referencias VR1. o Tener en cuenta que la presión aumenta rápidamente si la fuga creada es demasiado grande, por lo que se recomienda tener extremado cuidado al actuar sobre esta válvula y cerrarla mucho antes de llegar al punto de referencia para dejar estabilizar el sistema y ver que presión estable queda. o Consecutivamente, iremos abriendo y cerrando la válvula hasta conseguir una presión lo más aproximada posible al valor de referencia a tomar. o Tener en cuenta de que antes de proceder con la toma de los valores de referencia y de indicación de la sonda a evaluar, la presión ha de estar estabilizada, por lo que se ha de esperar un mínimo de 3 minutos con la presión estable y sin aporte de gas. Atención!! No se puede abrir de nuevo la válvula VC1 sin haber detenido completamente la turbo y haber presurizado todo el sistema. No proceder con este mandato, puede dañar todo el sistema pues la realizaríamos una entrada brusca de aire sobre la turbo a régimen. Página 5 de 6 Procedimiento básico Utilización grupo vacío de Referencia Pfeiffer HiCube80 Rev. 01_190130 o o o o Para volver a realizar vacío en la cámara, asegurar que la bomba turbo y la bomba previa están apagadas. Abrir lentamente la válvula VC1 para comunicar el grupo de bombeo con la cámara de test y abrir VR1 dejando subir la presión hasta la presión atmosférica. Cerrar VR1 y volver a hacer vacío y comenzar de nuevo todo el proceso. Repetir este proceso hasta realizar todos los puntos de referencias solicitados en el proceso. 2. Método a presión dinámica o En este proceso la válvula de vacío límite VC1, está abierta o directamente no se ha instado o no está montada. o En este proceso no se puede aislar el sistema de vacío del colector donde se generan las diferentes presiones, por lo que la entrada de gas va directamente al sistema y la válvula de regulación VR1, se utiliza como si fuese un orificio crítico. o Con el sistema en vacío y el TPG261 apagado (tras ajustar el cero de los sensores de referencia a utilizar) se irán generando las presiones de referencia mediante la apertura progresiva de la válvula de regulación VR1. Atención: Este proceso tiene el inconveniente de que no puede utilizarse para generar presiones superiores a 1.0E-2, dado que estamos forzando la turbo del HiCube y podríamos llegar a dañarla si mantenemos la entrada de gas mucho tiempo, a causa del calentamiento de los cojinetes de la turbo. o El rango de utilización de este proceso es muy corto (1.0E-4 a 1.0E-2 hPa). Página 6 de 6
