DETERMINACIÓN DE LA TEMPERATURA DEL GAS DE UNA DESCARGA DE ARCO A.C. A PRESION ATMOSFERICA EN AIRE UTILIZANDO UN INTERFEROMETRO MACH – ZEHNDER JAVIER ALONSO LOPEZ MEDINA UNIVERSIDAD DEL VALLE FACULTAD DE CIENCIAS PROGRAMA ACADEMICO DE FÍSICA SANTIAGO DE CALI 2005 DETERMINACIÓN DE LA TEMPERATURA DEL GAS DE UNA DESCARGA DE ARCO A.C. A PRESION ATMOSFERICA EN AIRE UTILIZANDO UN INTERFEROMETRO MACH – ZEHNDER JAVIER ALONSO LOPEZ MEDINA Trabajo de Grado presentado como requisito parcial para optar al titulo de Físico Director GUSTAVO ADOLFO ZAMBRANO ROMERO Ph.D. UNIVERSIDAD DEL VALLE FACULTAD DE CIENCIAS PROGRAMA ACADEMICO DE FÍSICA CALI 2005 UNIVERSIDAD DEL VALLE FACULTAD DE CIENCIAS PROGRAMA ACADEMICO DE FÍSICA JAVIER ALONSO LOPEZ MEDINA, 1979 DETERMINACIÓN DE LA TEMPERATURA DEL GAS DE UNA DESCARGA DE ARCO A.C. A PRESION ATMOSFERICA EN AIRE UTILIZANDO UN INTERFEROMETRO MACH – ZEHNDER Temas Física del plasma. Interferencia. Índice de refracción. Interferometria láser. Santiago de Cali 2005 CONTENIDO INTRODUCCIÓN 2 1. CARACTERÍSTICAS DEL PLASMA 4 1.1. CONCEPTO DE TEMPERATURA 4 1.2. APANTALLAMIENTO DE DEBYE 7 1.3. CUASINEUTRALIDAD DEL PLASMA 11 1.4. OSCILACIÓN DEL PLASMA 11 1.5. CLASIFICACIÓN DEL PLASMA 14 1.5.1. Plasma en Desequilibrio Térmico 15 1.5.2. Plasma Térmico 16 1.6. DESCARGA DE ARCO 1.6.1. Propiedades del Arco Eléctrico 18 20 A. Región Catódica 21 B. La Columna de Arco 23 C. Región del Ánodo 24 1.6.2. Tipos de Arcos 26 1.6.3. Iniciación de un Arco 27 1.7. REACCIONES EN EL PLASMA 28 1.7.1. Fenómeno de Colisión 28 1.7.2. Ionización y Excitación 33 1.7.3. Procesos de Recombinación 37 2. INTERFERENCIA 40 2.1. EL FENÓMENO DE INTERFERENCIA. 40 2.2. IMPORTANCIA DE LA POLARIZACIÓN EN LA INTERFERENCIA DE ONDAS TRANSVERSALES 45 2.3. TIPOS DE INTERFERÓMETROS 47 2.4. INTERFERÓMETRO MACH – ZEHNDER (I.M.Z.) 48 2.5 CAMINO ÓPTICO 51 3. INTERFEROMETRIA LASER PARA EL DIAGNOSTICO DEL PLASMA 58 3.1. DIAGNOSTICO DEL PLASMA POR MEDIO DE INTERFEROMETRIA CON LÁSER 60 3.2. PROPIEDADES ÓPTICAS DEL PLASMA 66 3.2.1. Transmisión de una Onda Electromagnética a Través del Plasma 66 3.2.2. Refracción en el Plasma 70 3.2.3. Calculo de la Temperatura del Gas 75 3.3. ERROR DEL MÉTODO 3.3.1. Precisión de las Medidas Interferometricas 4. DETALLES EXPERIMENTALES Y RESULTADOS 4.1. EL INTERFERÓMETRO MACH ZEHNDER (I.M.Z.) 4.1.1. Construcción del Interferómetro Mach – Zehnder 4.1.2. EQUIPO Y COMPONENTES UTILIZADOS 76 77 80 80 81 82 A. Montaje del Interferómetro Mach - Zehnder 82 B. Divisores de Haz y Espejos Reflectores 83 C. Láser 84 4.1.3. Alineación del interferómetro Mach - Zehnder 85 4.1.4. Expansión del haz 86 4.2 DESCARGA DE ARCO UTILIZADA 87 4.3. RESULTADOS Y ANÁLISIS 91 5. CONCLUSIONES 100 6. RECOMENDACIONES 101 7. PERSPECTIVAS 102 BIBLIOGRAFIA 103 ANEXOS 105 RESUMEN Para determinar la temperatura del gas de una descarga de arco se construyo un interferómetro del tipo Mach – Zehnder, utilizando como fuente lumínica un láser de He-Ne (λ = 6328 Å) con polarización vertical y una potencia de 10 mW. La descarga de arco que se introdujo en uno de los brazos del interferómetro, es una descarga a.c. de 50 KHz, corriente de 6 A que permitía obtener a presión atmosférica, una descarga estable hasta aproximadamente 2 cm. de distancia entre los electrodos. Al introducir la descarga en uno de los brazos, se produce un desplazamiento de las franjas de interferencia con respecto a su posición sin plasma. Teniendo en cuenta que el desplazamiento de las franjas esta relacionado con la diferencia de camino óptico, con la variación del índice de refracción y en ultima instancia con el cambio en la temperatura a través de la zona de la descarga; esta ultima se determino a partir de los desplazamientos de las franjas de interferencia. Para el cálculo se utilizó un programa en FORTRAN. En el centro del canal de la descarga se calculó una temperatura cercana a los 3000 K disminuyendo paulatinamente hasta la temperatura ambiente hacia los bordes de la descarga. Este valor de la temperatura en el centro del canal esta de acuerdo con resultados previamente reportados. El método presentado es un método alternativo para el diagnostico de los parámetros de plasmas que se utilizan en la producción y tratamiento de materiales. INTRODUCCIÓN Análogamente al interferómetro de Michelson El interferómetro Mach – Zehnder (I.M.Z.) se basa en la interferencia de dos haces por división de amplitud del haz incidente. Este interferómetro se ha convertido en una herramienta importante de investigación para el diagnostico de los parámetros del plasma en el campo de Física del Plasma. También es utilizado para medir cambios de densidad en líquidos, en gases es utilizado para determinar cambios en su densidad, presión, temperatura y transferencia de calor. Además de tener una aplicación en Aerodinámica y otras aplicaciones tecnológicas. Para aprovechar las ventajas y la gran utilidad que ofrece este interferómetro es necesario contar con una fuente de gran intensidad lumínica y altamente coherente, para lo cual se debe contar con una fuente de luz láser de un solo modo (TEM00). El láser se comenzó a utilizar para el diagnostico de los parámetros del plasma, debido a que las emisiones láser poseen una serie de propiedades, tales como su alta intensidad espectral, su aguda direccionalidad y su alta coherencia espacial y temporal de su emisión. El diagnostico de los parámetros del plasma por medio del sondeo con luz láser por ser un método óptico no invasivo de diagnostico, no produce perturbaciones en el plasma si se utiliza un láser con una potencia adecuada, que permita obtener un alto contraste de las franjas de interferencia, así la diferencia de camino óptico entre los haces que viajan a lo largo del interferómetro llegue a ser del orden de decenas de metros. El interferómetro de Mach – Zehnder ocupa un lugar muy importante en el laboratorio de física avanzada, en el área de la óptica. Ya que es una herramienta pedagógica que permite a los estudiantes con conocimientos básicos en óptica, conocer más a fondo acerca del fenómeno de interferencia por división de amplitud y sus aplicaciones para la investigación. En el Capitulo uno del presente trabajo se presentan los conocimientos básicos sobre física del plasma. En el Capitulo dos se describe la teoría necesaria para entender el fenómeno de interferencia aplicado al interferómetro Mach – Zehnder y se muestran sus características particulares. En el Capitulo tres se introduce y se da una explicación teórica del método utilizado para determinar la temperatura del plasma de una descarga de arco por medio de la Interferometria con láser. En el Capitulo cuatro se describe detalladamente todo el proceso de construcción, arreglo experimental del interferómetro, la toma de datos y los resultados obtenidos con su respectivo análisis. En el capitulo 5 se dan las conclusiones del trabajo realizado. Finalmente en el capitulo seis y en el siete se presentan algunas recomendaciones y perspectivas para tener en cuenta en el mejoramiento y perfeccionamiento del interferómetro con fines didácticos. 1. CARACTERÍSTICAS DEL PLASMA El plasma es un gas ionizado conformado por electrones, iones y partículas neutras, pero eléctricamente neutro, el cual exhibe un comportamiento colectivo. La palabra plasma fue introducida por primera vez por I. Langmuir y L. Tonks en 1928 para describir un gas ionizado de una descarga eléctrica. El comportamiento colectivo del plasma se debe al gran alcance de las fuerzas electrostáticas que sienten entre sí las partículas cargadas que lo componen. Se dice que el 99 % de la materia del universo se encuentra en el estado de plasma, algunos ejemplos de plasma se pueden encontrar en la ionosfera, las auroras polares, el viento solar, a nivel de laboratorio se tienen descargas de arco, en lámparas fluorescentes y en reacciones termonucleares. 1.1. Concepto de Temperatura Las partículas de un gas en equilibrio térmico obedecen a una distribución de Maxwell, para simplificar supongamos que las partículas solo se mueven en una dimensión. La distribución de Maxwell en una dimensión viene dada por: ⎡ 1 mv 2 ⎤ f ( v) = A exp⎢− ⎥ ⎣ 2 k BT ⎦ (1.1.1) Donde f(v)dv es el número de partículas por cm3 con velocidades entre v y v + dv, 1 mv 2 es la energía cinética, kB la constante de Boltzmann y T la Temperatura. 2 La densidad o el número de partículas por cm3 esta dada por: ∞ n = ∫ f ( v)dv (1.1.2) −∞ La constante de la distribución esta relacionada con la densidad por medio de: ⎛ m ⎞ ⎟⎟ A = n⎜⎜ ⎝ 2πk B T ⎠ 1 2 La distribución de Maxwell esta caracterizada por la temperatura T de las especies del plasma. El significado de T se puede obtener fácilmente, calculando el promedio de la energía cinética en la distribución. El promedio de la energía cinética esta dado por: ∞ E= 1 ∫ 2 mv 2 f ( v ) dv −∞ (1.1.3) ∞ ∫ f (v)dv −∞ Donde ⎛ 2k T ⎞ v=⎜ B ⎟ ⎝ m ⎠ 1 2 Al resolver las integrales en (1.1.3) encontramos que E = (1.1.4) 1 k B T para una 2 dimensión. En el caso de tres dimensiones la distribución de Maxwell estará dada por: ⎡ 1 ( v 2x + v 2y + v 2z ) ⎤ f ( v x , v y , v z ) = Ax , y , z exp ⎢− ⎥ k BT ⎢⎣ 2 ⎥⎦ Donde (1.1.5) Ax , y , z ⎛ m ⎞ ⎟⎟ = n⎜⎜ ⎝ 2πk B T ⎠ 3 2 Y al calcular la energía promedio se encuentra que E = 3 k BT . 2 En física del plasma la temperatura se da en unidades de electrón – volt (eV), primero se calcula la energía en Joule (J) por medio de kBT y luego se convierte a eV utilizando la relación: 1 eV = 11600 K. En el plasma de una descarga gaseosa, por ejemplo, la energía cinética de los electrones y la energía cinética de los iones es diferente, debido a esto la temperatura del plasma se describe en términos de la temperatura de cada una de sus especies involucradas Ti (temperatura iónica) y Te (temperatura electrónica). Por lo tanto en dicho plasma pueden existir varias temperaturas al mismo tiempo, ya que tanto iones como electrones presentan distribuciones de Maxwell separadas con diferentes temperaturas Ti y Te. Las diferentes distribuciones se deben a que la tasa de colisión entre ion – ion y electrón – electrón es mayor que la tasa de colisiones entre iones – electrones. La temperatura electrónica del plasma representa la energía cinética promedio de los electrones y la hace una característica colectiva del plasma. Cuando hay un campo magnético B, incluso una sola especie, por decir los iones, pueden tener dos temperaturas. Esto se debe a que las fuerzas que actúan sobre un ion a lo largo de B son diferentes a las fuerzas que actúan perpendicularmente a B (debido a las fuerzas de Lorentz). Las componentes de la velocidad perpendicular a B y paralela a B pueden tener diferentes distribuciones de Maxwell con temperaturas Ti y Te [1]. 1.2. Apantallamiento de Debye Una característica importante de los plasmas es su propiedad de apantallar potenciales eléctricos aplicados a él y conservar su cuasi – neutralidad. Un plasma en equilibrio es eléctricamente neutro e isotérmico. Al producir una perturbación de este equilibrio introduciendo una carga de prueba en medio del plasma, dicha carga atraerá electrones y repelerá iones en su vecindad. El potencial φ formado por la carga de prueba estará dado por: φ= q 4πε 0 r (1.2.1) Si se considera que la partícula tiene energía, tanto cinética como potencial de la forma U = 1 mv 2 + qφ , el factor de probabilidad se convierte en: 2 ⎛ 1 ⎞ 2 ⎜ − mv + qφ ⎟ ⎟dv x dv y dv z exp⎜ 2 K B Te ⎜ ⎟ ⎜ ⎟ ⎝ ⎠ Como φ depende de la posición, la probabilidad también dependerá de la posición. Al integrar la función de distribución sobre todas las velocidades en el espacio, se puede encontrar la densidad tanto de iones como de electrones la cual estará dada por: n = ∫ f ( v)dv x dv y dv z Así ⎛ qφ ⎞ ⎟⎟ n ∝ exp⎜⎜ − ⎝ k BT ⎠ Para los electrones la densidad estará dada por: (1.2.2) ne = ∫ ⎛ eφ ⎞ ⎟⎟ f e ( v)d 3 v = n0 exp⎜⎜ − T k B ⎠ ⎝ (1.2.3) Para los iones, suponiendo que están simplemente ionizados, la densidad esta dada por: ⎛ eφ ⎞ ⎟⎟ ni = n0 exp⎜⎜ − ⎝ k BT ⎠ (1.2.4) Esto implica que los electrones atraen cerca de sus alrededores cargas positivas, y viceversa, lo cual produce un apantallamiento de la carga original de prueba. Si se asume un plasma en una dimensión y se soluciona para la distribución de potencial la ecuación de Poisson, entonces por la ley de gauss se tiene que: σ ε0 (1.2.5) E = −∇φ (1.2.6) ∇⋅E = Al reemplazar (1.2.6) en (1.2.5) se obtiene la conocida ecuación de Poisson dada por: − ∇ 2φ = σ ε0 (1.2.7) La densidad de carga σ, estará dada por: ⎛ σ = −ene + eni = en0 ⎜⎜ − exp ⎝ eφ − eφ ⎞ ⎟ + exp k BT k B T ⎟⎠ (1.2.8) Si se asume que el término de potencial es muy pequeño, eφ << k B T y si se expande en serie de potencia (1.2.8), se tiene que: ⎛ σ ≅ −en0 ⎜⎜1 + ⎝ ⎛ 2 n e 2φ eφ ⎞ eφ ⎞ ⎟⎟ + en0 ⎜⎜1 − ⎟⎟ = − 0 k BT ⎠ k BT ⎝ k BT ⎠ (1.2.9) Teniendo en cuenta una simetría esférica y con la ayuda de coordenadas esféricas: ∇ 2φ ≡ 1 d ⎛ 2 dφ ⎞ ⎜r ⎟ r 2 dr ⎝ dr ⎠ La ecuación de Poisson se escribe como: 2 n 0 e 2φ 1 d ⎛ 2 dφ ⎞ − 2 ⎜r ⎟=− ε 0 k BT r dr ⎝ dr ⎠ Cuya solución esta dada por: ⎡ ⎢ q φ= exp ⎢− ⎢ 4πε 0 r ⎢ ⎢⎣ Entonces en (1.2.10) se tiene que λ D = ⎤ ⎥ r ⎥ ε 0 k BT ⎥ ⎥ 2n0 e 2 ⎥⎦ ε 0 k BT n0 e 2 (1.2.10) conocida como la longitud de Debye, la cual representa la distancia a la cual un pequeño potencial puede perturbar un plasma, entonces el potencial se puede escribir de la forma: φ= ⎡ r ⎤ exp ⎢− ⎥ 4πε 0 r ⎣ λD ⎦ q (1.2.11) Donde se puede ver que el potencial decae exponencialmente y resulta apantallado a una distancia igual a λD, es decir una carga del plasma interacciona con las demás que se encuentren en una esfera de radio λD conocida como esfera de Debye (ver figura No. 1). Figura No. 1. Esfera de Debye. De la relación (1.2.10) al aumentar la densidad, λD disminuye como uno espera, debido a que en cada parte del plasma habrá mayor cantidad de electrones. Además λD aumenta al aumentar kBT. La longitud de Debye es uno de los parámetros importantes en física del plasma. En la definición de longitud de Debye, con frecuencia se trabaja con la temperatura electrónica Te debido a que ellos tienen mayor movilidad que los iones [1,2]. Para determinar si hay plasma o no en un gas ionizado se deben satisfacer ciertas condiciones como: i) La dimensión del sistema debe ser mayor que la longitud de Debye L >> λD ii) Debe haber gran cantidad de electrones para producir apantallamiento es decir ND >>> 1, donde ND es el número de electrones en una esfera de Debye. 1.3. Cuasineutralidad del Plasma Cualquier acumulación de carga de un solo signo en cierta región del plasma producirá una fuerza atractiva para las cargas opuestas lo suficientemente grande como para recuperar el equilibrio de la carga eléctrica casi instantáneamente. Si el plasma no es forzado por campos eléctricos o magnéticos muy intensos a mantener acumulaciones locales de carga, permanecerá en un estado de cuasineutralidad, esto es ni ≈ ne ≈ n, donde n es una densidad común llamada densidad del plasma [2]. 1.4. Oscilación del Plasma El plasma tiene la tendencia de comenzar a oscilar después de ser perturbado; al estudiar un plasma simple compuesto por electrones e iones positivos con densidades iniciales ni = ne = n0 iguales y asumiendo inicialmente que la velocidad de las partículas puede ser despreciada, surge el siguiente interrogante, ¿Qué sucedería si los electrones fueran desplazados de sus posiciones de equilibrio? Si se perturba el sistema aplicando un campo eléctrico E1, los electrones debido a su excelente movilidad reaccionan inmediatamente al campo eléctrico y su densidad cambia a: ne = n0 + n1 (r , t ) (1.4.1) Mientras que los iones permanecen casi en reposo, debido a su inercia; por consiguiente las cargas son separadas y se forma un campo eléctrico interno dentro del plasma. Después de anular el campo eléctrico externo, los electrones son acelerados por el campo eléctrico interno tratando de restaurar la neutralidad de las cargas. Sin embargo debido a la energía cinética de los electrones causada por el campo externo, los electrones se mueven más allá de su posición de equilibrio, mientras que el campo eléctrico interno actúa sobre los electrones en dirección opuesta acelerando los electrones de nuevo para alcanzar su posición de equilibrio. Es decir los electrones oscilan debido a la perturbación producida por el campo eléctrico. Dichas oscilaciones son muy rápidas, tan rápidas que los iones no tienen tiempo para responder. La frecuencia de dicha oscilación se puede determinar al asumir lo siguiente: El número de electrones se conserva, por lo tanto, la densidad electrónica obedece a la ecuación similar de la conservación de la carga eléctrica, conocida como la ecuación de continuidad, la cual iguala el cambio de la densidad en un volumen pequeño al flujo a través de una superficie, y para la densidad electrónica es de la forma: ∂ne + ∇ ⋅ ( ne v e ) = 0 ∂t (1.4.2) En el primer orden de la perturbación, la ecuación (1.4.2) queda como: ∂n1 + n0 ∇ ⋅ v1 = 0 ∂t (1.4.3) Donde ve = v1 es la velocidad de los electrones causada por la perturbación. El campo eléctrico produce una fuerza dada por: F = qE1 (1.4.4) Así la ecuación del movimiento para los electrones queda como: m ∂v1 = −eE1 ∂t (1.4.5) Por otra parte, el campo eléctrico E1 se determina por la perturbación de la densidad según la primera ecuación de Maxwell (ley de Coulomb) dada por: ∇ ⋅ E1 = − ρ ε0 (1.4.6) ∇ ⋅ E1 = − en1 (1.4.7) Que se puede escribir como: Aplicando la derivada parcial ε0 ∂ a la ecuación (1.4.3) y con la ayuda de las ∂t ecuaciones (1.4.5) y (1.4.7) se obtiene: ∂ 2 n1 ⎛ n0 e 2 +⎜ ∂t 2 ⎜⎝ ε 0 me ⎞ ⎟⎟n1 = 0 ⎠ (1.4.8) Que corresponde a la ecuación de una oscilación (onda estacionaria), con una frecuencia angular dada por: ω p2 = n0 e 2 ε 0 me (1.4.9) Conocida como Frecuencia de Plasma. Con una frecuencia νp, o frecuencia de Langmuir dada por: ω p2 νp = 2π (1.4.10) Los parámetros que muestran un comportamiento colectivo del plasma son entonces la frecuencia plasmica ωP, la longitud de Debye λD, y la ionización critica α0, pero hay que tener en cuenta las tres condiciones que un plasma debe satisfacer para que exista en un gas ionizado, estas condiciones son: λD << L ND>>> 1 ωPτ > 1 Donde τ es el tiempo de colisión entre las partículas cargadas con los átomos neutros. Las oscilaciones del plasma se clasifican en oscilaciones electrónicas del plasma y en oscilaciones iónicas, la frecuencia plasmica total se puede escribir como: ω P2 = ω e2 + ω i2 (1.4.11) Donde la frecuencia de las oscilaciones electrónicas del plasma son mas altas que las oscilaciones iónicas ωe >> ωi, debido a que la masa del electrón es pequeña comparada con la masa de los iones. El producto entre la longitud de Debye λD y la frecuencia de plasma ωp, da como resultado la velocidad media de los electrones, y se expresa como [1,2]: v = ω P ⋅ λD = k B Te me (1.4.12) 1.5. Clasificación del Plasma Los plasmas se caracterizan por su energía electrónica kBT y su densidad electrónica ne los plasmas utilizados para la preparación de películas delgadas se encuentran en la categoría de descargas Glow o luminiscentes a bajas presiones, alrededor de 10-3 - 10 torr, estos plasmas tienen una energía electrónica promedio y una densidad electrónica en el rango de 1 – 10 eV. y 1010 cm.-3. El plasma generado en la descarga de arco puede ser creado a presión atmosférica o por encima de dicha presión, aunque el plasma en una descarga de arco tiene una baja energía electrónica, su densidad electrónica es muy grande en comparación con la descarga Glow o luminiscente. Los diferentes tipos de plasmas existentes en la naturaleza se ilustran en la figura No. 2: Figura No. 2. Tipos de Plasma existentes en la Naturaleza. American Physical Society, Division of Plasma Physics En esta figura se puede observar los diferentes tipos de plasma que se encuentran en la naturaleza, relacionados de acuerdo a su temperatura y a su densidad de partículas. Por ejemplo, se puede localizar la descarga de arco, donde su temperatura se encuentra entre 103 y 104 K, con una densidad de particulas entre 1012 y 1015 partículas por cm-3. 1.5.1. Plasma en Desequilibrio Térmico Este tipo de plasma puede ser obtenido por medio de una corriente directa en una descarga “glow”, también puede ser generado por una alta frecuencia o por una radiación con microondas a baja presión. En este plasma el grado de ionización definido por la ecuación (1.5.2.2) es tan solo 10-4, así el gas consiste en su mayoría de especies neutras pero excitadas. Una característica de este plasma es la carencia de equilibrio térmico entre la temperatura electrónica Te y la temperatura del gas Tg. Este tipo de plasma es llamado “plasma no equilibrado”. En plasmas generados por descargas bajo una presión menor que varias decenas de torr, la temperatura electrónica llega a ser alta pero las partículas del gas permanecen relativamente a baja temperatura. Esto se debe a que la frecuencia de colisión entre electrones y partículas del gas es pequeña. Por lo tanto los plasmas en estado de no equilibrio térmico son llamados plasmas fríos. Las temperaturas en un plasma de este tipo son consideradas como: Te > Tv ≥ Tr > Tg (1.5.1.1) Donde Tv es la temperatura vibracional de las partículas, Tr es la temperatura rotacional, y Tg es la temperatura del gas en su conjunto. [3] 1.5.2. Plasma Térmico Cuando la corriente se incrementa bajo una presión fija en una descarga ¨Glow¨ el voltaje en la descarga desciende, el plasma queda confinado y la densidad de corriente se incrementa; esta es la transición del estado de plasma de una descarga ¨Glow¨ a una descarga de arco. En un plasma generado por una descarga de arco, la distribución de energía de los electrones Te y las moléculas del gas Tg es casi la misma, debido a que la frecuencia de las colisiones entre electrones y moléculas del gas es muy alta, y el plasma se encuentra en equilibrio térmico por lo tanto Te ≈ Tg. Un plasma compuesto por un gas de partículas a alta temperatura es llamado plasma térmico, cuando el plasma se encuentra en equilibrio térmico, la densidad de partículas puede ser calculada como función de la temperatura y la presión siempre que la siguiente reacción se encuentre en equilibrio. A ↔ A+ + e − U i (1.5.2.1) Donde Ui es el potencial de ionización del gas con moléculas A. El grado de ionización se puede definir utilizando la densidad nA para los átomos neutros y nA+ para los átomos ionizados en los gases A y A+ como: α= n A+ n A + n A+ (1.5.2.2) El grado de ionización α, es la razón entre el número de partículas ionizadas en el gas y el número inicial de partículas. En un gas totalmente ionizado α = 1, en el plasma débilmente ionizado α << 1. En estado de equilibrio térmico el grado de ionización del gas es función de la temperatura y la densidad del plasma. La relación entre el grado de ionización α, la temperatura T y la presión p esta dada mediante la ecuación de Saha, la cual nos da la relación entre el número de átomos ionizados y el número de átomos neutros en una especie. Esta ecuación viene dada por: 3 ⎡ U ⎤ Z A+ α2 ⎡ 2πme k B T ⎤ 2 p T = 2 k exp⎢− i ⎥ B ⎢ ⎥ 2 2 ZA 1−α ⎣ h ⎦ ⎣ k BT ⎦ (1.5.2.3) Donde ZA+ y ZA son las funciones de partición interna para los átomos neutros y los átomos ionizados [3]. 1.6. Descarga de Arco Es una descarga Automantenida con una baja caída de potencial en la región catódica, Esto se debe a la existencia de mecanismos de emisión de electrones muy eficientes (emisión termoiónica, emisión electrónica por campo y emisión termoiónica por campo) que hacen innecesaria la ampliación de corriente operada en la caída catódica de una descarga glow. Este tipo de descarga fue observada por primera vez por el ruso V. V. Petrov. La descarga de arco se puede obtener entre electrodos metálicos, si dicha descarga transcurre a una presión igual a la atmosférica o mayor; las temperaturas de los electrones, iones y átomos neutros son aproximadamente las mismas y alcanzan un valor del orden de los 6000 K. esta temperatura solo se observa en la parte central del canal del arco, que se encuentra rodeada por una cubierta de gas que es mas fría. El arco está caracterizado por corrientes grandes del orden de 1-105 A, con densidades de corriente catódica en el rango 102-108 A/cm2. La caída de voltaje en el arco es baja (de 20 - 30 V), y en muchos casos (pero no siempre) la curva característica V vs. I es de tipo decreciente como se muestra en la figura. No. 3. Des c arg a To wns e nd E x plos iones al az ar 600 Corona 800 B C D 400 Descarga Luminiscente Anormal V Descarga Luminiscente Subnormal Figura No. 3. Curva V vs. I para varias tipos de descarga. Regi ón de T rans ic ión G Des c arg a Lum i nis c ente No rm al E F Cor rie ntes F otoeléc tric as 200 A rc o A 10 -20 10 -16 Inc re m ento d e Lum inis c enc ia 10 -1 2 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 1 10 A En la grafica No. 3 se puede resaltar que para corrientes del orden 10-18 A ocurren explosiones al azar las cuales aumentan en tamaño y frecuencia con el aumento del potencial. Si se ilumina el cátodo con luz ultravioleta, la corriente aumenta cerca de 10-13 a 10-12 A; esto se debe a que la corriente se vuelve mas grande con el aumento de la intensidad luminosa. La eliminación de la luz causa reversión y explosiones al azar (región A-B). Si se ilumina el cátodo y el potencial aumenta, la corriente aumenta rápidamente y en un cierto intervalo el potencial aumenta súbitamente. La corriente no cambia si la luz es removida ya que no depende de la fuente externa de ionización y dicho estado se conoce como descarga automantenida y se extiende hasta 10-6 A. si se aumenta la corriente hasta 10-5 A. la descarga se vuelve débilmente visible, y el potencial cae hasta un valor constante a una corriente de 10-4 A. (región C-D-E). En general no es necesario cumplir todos los procesos para tener una descarga luminiscente. Si se aplica un potencial mayor al potencial de rompimiento entre los electrodos, el primer electrón producido al azar, iniciara una descarga automantenida y el proceso descrito por la curva A-B-C-D tendrá lugar en menos de un segundo. Cuando la corriente se aumenta mas allá de un valor crítico, el voltaje de descarga aumenta a esta descarga se la conoce como descarga luminiscente anormal. Un aumento posterior en la corriente causa al potencial un incremento considerable y a grandes corrientes una caída a muy bajos valores, produciéndose así descargas de arco. El punto en el cual ocurre esta transición es de alrededor 10-1A. Los cátodos en el arco reciben grandes flujos de energía y alcanzan elevadas temperaturas, a veces sobre toda la superficie catódica, a veces localmente (y por cortos intervalos de tiempo). Como consecuencia, son erosionados y sufren vaporización. A diferencia de la descarga glow, el espectro de emisión en las vecindades del cátodo contiene líneas del vapor del material de los electrodos. El plasma formado por el arco puede estar en equilibrio (Te = T) o no, de acuerdo con la presión del gas en la descarga [4]. 1.6.1. Propiedades del Arco Eléctrico El canal del arco entre dos electrodos se caracteriza por tres regiones importantes: La región catódica, La columna de arco y la región anódica. En la siguiente figura se ilustran cada una de las regiones de una descarga de arco. Figura No. 4. Regiones de una descarga de arco. A. Región Catódica El cátodo es cargado negativamente con respecto a la descarga del arco y por lo tanto atrae iones positivos. Sin embargo, puesto que la movilidad de los iones es baja y la corriente eléctrica es llevada por los electrones, el cátodo debe liberar electrones para mantener el flujo de corriente a través de la región oscura del cátodo. Estos electrones son emitidos a través de varios tipos de emisión. Entre ellos los más importantes son: Emisión termoiónica. La energía promedio requerida para emitir un electrón de una superficie metálica esta dada por la función de trabajo y la ecuación de Richardson – Dushman: ⎡ eφ ⎤ 4πk B2 eme 2 je = T exp ⎢− ⎥ 3 h ⎣ k BT ⎦ Donde je : Densidad de corriente. T : Temperatura en la superficie del cátodo. φ: Función de trabajo. (1.6.1.1) kB: Constante de Boltzmann. e: Carga del electrón. me: Masa del electrón. h: Constante de Planck. En una descarga gaseosa d-c, la corriente es mantenida por la emisión de electrones de la superficie del cátodo. Para extraer un electrón de la superficie se requiere gastar una energía llamada función trabajo φ del material, que es función del estado de la superficie, su contaminación y rugosidad. La temperatura debe ser suficientemente alta (2500 – 4000 K) para energizar un electrón y removerlo de su red en la superficie del metal. Una función de trabajo baja permite a los electrones ser emitidos a baja temperatura, mientras que una función de trabajo muy alta requiere de temperaturas altas. A temperaturas muy altas el material del cátodo tiene una probabilidad alta de erosionarse y derretirse. Para evitar lo anterior es conveniente utilizar un cátodo de tungsteno, ya que dicho material ha incrementado en gran escala el tiempo de vida de los cátodos, el cual reduce la función trabajo y reduce su erosión. Emisión electrónica por campo. Si hay campo presente, los electrones escapan por efecto túnel, la altura de la barrera es del orden 109 V/m, y los electrones necesitan viajar a lo largo de diversas trayectorias. Por lo tanto, en vez de pasar la barrera de potencial, los electrones experimentan efecto túnel a través de la barrera. La fórmula de Fowler - Nordheim describe lo anterior y se puede ver que la corriente de tunelamiento varía exponencialmente con el ancho de la barrera: ⎡ (2m φ e eff j e ≈ exp ⎢− h ⎢ ⎣ ) 1 2 ⎤ x⎥ ⎥ ⎦ (1.6.1.2) Donde je: Corriente de tunelamiento. φeff: Altura de la barrera de potencial. x: Ancho de la barrera. me: Masa del electrón. ħ: Constante de Planck. La contribución principal a la corriente de tunelamiento viene de los electrones que se sitúan alrededor del nivel de Fermi. Emisión termoiónica por campo. Cuando se aplica un campo eléctrico intenso a una superficie metálica caliente, tanto la alta temperatura como el campo afectan la emisión de electrones, pero en forma no restringida a los mecanismos recién mostrados. B. La Columna de Arco La temperatura en la columna de arco es muy alta, de alrededor de 5000 K a 20000 K. a tan altas temperaturas las moléculas de gas se disocian en gran parte en átomos libres. Las velocidades de los electrones y de los átomos son tan altas que la ionización ocurre cuando colisionan entre si. Al mismo tiempo, también se producen procesos de recombinación donde los electrones y los iones cargados positivamente forman átomos neutros. En equilibrio térmico, usualmente la tasa de ionización esta en equilibrio con la tasa de recombinación. El gas se encuentra en estado de plasma y allí existe una gran cantidad de electrones libres e iones positivos. La fracción ƒ de átomos que son ionizados puede ser calculada por medio de la ecuación de Saha: 5 ⎡ eV ⎤ f2 ⋅ p = 3.16 ⋅ 10 −7 ⋅ T 2 ⋅ exp⎢− i ⎥ 1− f 2 ⎣ k BT ⎦ Donde e: carga del electrón. Vi = Potencial de ionización del medio gaseoso. KB: Constante de Boltzmann. p: La presión del gas. T: La temperatura . Existe un equilibrio de cargas entre los electrones y los iones positivos. Los electrones tienen muchísima más movilidad que los iones positivos, por lo tanto el flujo de corriente se debe a los electrones. El voltaje total del arco, y también el gradiente del voltaje a lo largo del arco, depende de la magnitud de la corriente, el tipo de gas y la presión. C. Región del Ánodo Puesto que el ánodo se carga positivamente, y la corriente es llevada principalmente por lo electrones, el ánodo colecta electrones y no necesita emitir portadores de carga. La región del ánodo esta dividida en dos áreas: Una región de confinamiento y una capa anódica. La capa anódica tiene tres escalas de longitud: el espesor de la capa anódica, el camino libre medio de los electrones y la longitud de Debye, lo anterior se puede ver en la siguiente figura. Figura No. 5. Divisiones de la región del ánodo. La caída de potencial anódica está compuesta de dos partes: una parte refleja la formación de una capa anódica con carga especial negativa (el ánodo repele iones). Su magnitud es del orden del potencial de excitación (o ionización) del vapor o átomos de gas, y debe su existencia a la necesidad de producir un suave incremento en la corriente electrónica desde la región del plasma al ánodo. Existe además una segunda parte que tiene un origen geométrico, y ocurre cuando el área del ánodo es menor que la sección de la región de plasma. Para mantener I = ne µ e ⋅ E ⋅ s aproximadamente constante, si s disminuye se debe aumentar ne y E (se incrementan juntos). La energía que recibe el ánodo en una descarga proviene, principalmente, de los electrones. Esta energía corresponde a la energía cinética adquirida en la caída anódica más la energía de ligadura liberada al recombinarse (la función trabajo φ). Esto corresponde aproximadamente 10 eV por electrón, suficiente para elevar la temperatura del ánodo hasta varios miles de grados [5,6]. 1.6.2. Tipos de Arcos Las clasificaciones de los arcos son arbitrarias, y están basadas en las características del proceso de emisión catódica, el estado del plasma en la columna de arco o el medio en el cual se sostiene la corriente. Existen diferentes tipos de arco entre ellos se encuentra el Arco con cátodo caliente donde la temperatura del cátodo es muy elevada (Tc ~ 3000 K), así que el mecanismo de emisión es termoiónico. Arco con calentamiento catódico externo. Se trata de descargas no auto sostenidas, en donde el cátodo es calentado por una fuente externa auxiliar. En general se los emplea en dispositivos de baja presión y corriente. Arco en vacío (Vacuum arc). Es un arco con spots catódicos, cuyo material está formado por un plasma metálico del material del cátodo (principalmente). A corrientes mayores a 103 A. el ánodo también puede eyectar material (spots anódicos). Se usan mucho como interruptores de circuito en dispositivos eléctricos de alta potencia. También se los emplea para producir recubrimientos. Arcos de alta presión. Se designa con este nombre a arcos con presiones del orden de 1 – 10 atm. (Incluye los arcos en aire). En estos arcos el plasma está en equilibrio térmico (Te ~ T ~ 6 a 12000 K). Arcos de baja presión. En este caso la presión es del orden de 10-3 - 10-1 Torr. El plasma no está en equilibrio térmico. Se parece a un glow (Te >> T), pero con un grado de ionización mucho más alto, por la mayor corriente. Las descargas de arco mencionadas anteriormente pueden ser d.c., a.c. o de radio frecuencia. Por ultimo se encuentra la transición glow – arco, la transición de glow anormal a arco es causada por el calentamiento del cátodo a medida que sube la corriente. Con cátodos refractarios (termoiónicos) la transición es más o menos suave. En cambio para metales de bajo punto de fusión (cátodos fríos), la descarga glow se transforma bruscamente en un arco, y los spots catódicos aparecen instantáneamente. En estos metales el arco se establece a corrientes más bajas (0.1 - 1 A) que en los refractarios (~10 A) [5,6]. 1.6.3. Iniciación de un Arco La forma más sencilla de iniciar un arco es conectar los electrodos a una fuente de potencia capaz de proveer una corriente suficientemente alta, comenzar con los electrodos en contacto, y luego separarlos. Los electrodos se encuentran muy calientes en el punto de contacto y vaporizan parcialmente material metálico, de forma tal que al separarse el arco se desarrolla en el vapor metálico (usualmente más fácil de ionizar que el gas). En este esquema, se usa a veces un electrodo auxiliar que, interpuesto entre ambos electrodos, toca inicialmente el cátodo y luego es retirado rápidamente. Otra forma de iniciar un arco es aplicar un pulso de alta tensión capaz de producir la ruptura dieléctrica del gas en el espacio inter - electródico. También puede focalizarse sobre la superficie del cátodo un pulso láser intenso (con energías ≥10 mJ) para producir una descarga auxiliar que “cortocircuita” el gap y desencadena la descarga principal [5,6]. 1.7. Reacciones en el Plasma En un plasma los electrones adquieren energía debido a la aplicación de un campo eléctrico E colisionando con las moléculas del gas. Estas colisiones causan excitación e ionización de las moléculas del gas, estas moléculas excitadas y los iones producen varias reacciones en el plasma. 1.7.1. Fenómeno de Colisión Distribución de Velocidad de las Partículas El movimiento aleatorio de las partículas, como, moléculas del gas, átomos o electrones, puede ser descrito por medio de la función de distribución de velocidades de Maxwell, si el sistema se encuentra en equilibrio térmico. La fracción de partículas dN, con velocidades en el rango de velocidad entre v y v + dv, dividido por el número total de partículas N esta dado por: ⎡ m ⎤ dN = 4π 2 ⎢ ⎥ N ⎣ 2πk B T ⎦ 3 2 ⎡ mv 2 ⎤ exp ⎢− ⎥ dv = f ( v)dv ⎣ 2k B T ⎦ (1.7.1.1) donde m es la masa de cada partícula. La siguiente figura muestra la distribución Maxwell – Boltzmann de velocidad f (v) de las partículas. Figura No. 6. Distribución de Maxwell – Boltzmann de la velocidad de las partículas. De esta gráfica se pueden definir las siguientes tres velocidades: La velocidad más probable VP: que es la velocidad que se encuentra en el máximo de la distribución, se presenta cuando df ( v) = 0 y se expresa mediante la dv relación: vp = 2k B T m (1.7.1.2) La velocidad promedio vav: también llamada como velocidad promedio lineal en la distribución y se puede expresar como: ∞ v = ∫ vf ( v)dv = 0 8k B T πm (1.7.1.3) La raíz cuadrática media de la velocidad vrms: definida como la raíz cuadrática de la velocidad promedio vav y se expresa como: ∞ 2 v rms = v = ⎡ ∫ v 2 f ( v)dv ⎤ ⎢⎣ 0 ⎥⎦ La energía promedio esta dada por E = 1 2 = 3k B T m (1.7.1.4) 1 mv 2rms 2 La distribución de Maxwell – Boltzmann evidencia que el sistema esta en equilibrio térmico cuando se encuentra en estado estacionario, la densidad de partículas se considera homogénea y no existen fuerzas externas. Para la distribución de energía de los electrones en plasmas desequilibrados (fuera del equilibrio) los cuales son usados para el crecimiento de películas delgadas, con frecuencia se usa la distribución de Maxwell – Boltzmann como primera aproximación [3]. Colisiones Elásticas e Inelásticas En un plasma continuamente se producen colisiones entre sus especies. Las colisiones donde no cambia la energía interna son llamadas colisiones elásticas mientras que en las colisiones donde si hay intercambio de energía interna entre las especies son denominadas colisiones inelásticas. Consideremos una partícula de masa m con energía cinética inicial Ei colisionando con una partícula de masa M en reposo la razón entre la energía transferida y la energía cinética inicial esta dada por: Et 4mM = Ei (m + M ) 2 (1.7.1.5) Así la energía interna de una partícula de masa m incrementa debido a las colisiones inelásticas de acuerdo a: ∆U M = Ei m+M (1.7.1.6) La energía transferida por colisiones elásticas entre electrones y moléculas del gas es muy pequeña [3]. Frecuencia de las Colisiones y Camino Libre Medio En la teoría cinética de los gases la sección transversal se escribe como σ = πri 2 para una colisión elástica entre partículas de forma esférica con radio ri. El número de colisiones Nc por unidad de volumen y por unidad de tiempo de dos tipos de moléculas del gas con distribuciones de Maxwell caracterizadas por la misma temperatura esta dada por: N c = n1 n 2π [r1 + r2 ] v r 2 (1.7.1.7) Donde n1 y n2 son las densidades de las partículas del respectivo gas y vr es la velocidad media relativa de los dos tipos de moléculas del gas. La velocidad relativa para un tipo de gas se puede escribir como v r = 2 v donde v es la velocidad promedio lineal. Para un mismo tipo de gas el número de colisiones Nc se obtiene de acuerdo a: N C = 2πn 2 d 2 v (1.7.1.8) Considerando d como d = 2r1, la frecuencia de colisión se puede calcular por medio de: ν= Nc n (1.7.1.9) Y para un mismo tipo de gas se tiene: ν C = 2πnd 2 v (1.7.1.10) Para colisiones entre electrones con partículas pesadas, tales como átomos del gas, moléculas o iones, dichas partículas se consideran estacionarias y la velocidad media relativa será entonces v r = v y si ne y ng denotan la densidad de electrones y átomos del gas entonces: N c = ne n g πri 2 v (1.7.1.11) Donde ri es el radio de las partículas del gas. La distancia entre la posición a la cual una partícula colisiona con otra partícula y la posición de la próxima colisión es el camino libre y su promedio estadístico es el camino libre medio. Por medio de la frecuencia de colisión νC, que nos indica el número de colisiones por segundo, y con la velocidad media v se puede escribir el camino libre medio mediante: λ= v (1.7.1.12) νC A partir de (1.7.1.10) el camino libre medio en el gas viene dado por: λg = 1 2πnd 2 = k BT 2πpd 2 (1.7.1.13) Donde p es la presión del gas, el camino libre medio para los electrones λe esta dado por: λe = 1 πn g r12 (1.7.1.14) Las diferentes clases de colisiones entre partículas producen reacciones tales como excitación, disociación o ionización de moléculas del gas dada por las diferentes secciones transversales de reacción. La sección transversal de reacción se puede definir al medir la proporción entre la intensidad inicial y la intensidad final de un haz de partículas al penetrar una distancia x a través de un medio con densidad n. Existen varias secciones transversales de reacción denominadas: sección transversal de excitación σE, sección transversal de disociación σD y sección transversal de ionización σI. La sección transversal total de colisión esta dada por la suma de todas las secciones transversales para cada proceso de reacción y se expresa por: σT= σE + σD + σI + …. (1.7.1.15) Al combinar la sección transversal de reacción σr(ε) de una reacción ya sea de excitación, disociación o ionización con la función de distribución de energía de los electrones f(ε) se puede calcular la tasa de reacción combinando a su vez la velocidad del movimiento aleatorio de los electrones ve(ε), la densidad electrónica Ne y la densidad de partículas del gas Ng. La tasa de cambio de las reacciones por unidad de volumen esta dada por [3]: ∞ dN e = N e N g ∫ σ r (ε ) v e (ε )f(ε )dε 0 dt (1.7.1.16) 1.7.2. Ionización y Excitación Los átomos y moléculas al ganar energía, aumenta su energía traslacional y su energía interna sufre una transición a un estado de mayor energía, este proceso se conoce como excitación. Los átomos al regresar a su estado inicial (caer a un nivel de menor energía) emiten luz con una longitud de onda correspondiente a la diferencia de energía entre el estado de mayor energía y el estado de menor energía. Al entregarle a un átomo suficiente energía para desprender un electrón de las últimas capas, estamos hablando de ionización y la mínima energía requerida para llevar a cabo este proceso se conoce como energía de ionización. Cuando esta energía se da en unidades de eV se denomina como potencial de ionización. Para átomos que tienen más de dos electrones en su última capa, existen potenciales para la primera, la segunda, la tercera, etc. Ionización. Procesos de Excitación e Ionización Para los procesos de excitación e ionización de un átomo o una molécula se conocen las siguientes reacciones: ¾ Ionización y Excitación por Colisión de un Electrón. ¾ Ionización y Excitación por Colisión de un Ion. ¾ Ionización y Excitación por Colisión de una Partícula Neutra. ¾ Ionización y Excitación por Radiación. La probabilidad de que estas reacciones ocurran esta dada por la sección transversal para cada reacción. Ionización y Excitación por Colisión de un Electrón. Los procesos más importantes de excitación e ionización para átomos y moléculas en un plasma ocurren por impacto electrónico, y para ello se pueden producir las siguientes reacciones: ¾ Excitación A + e → A* + e AB + e → AB * + e ¾ Disociación AB + e → A + B + e ¾ Ionización Directa A + e → A + + 2e AB + e → AB + + 2e ¾ Ionización Acumulativa A* + e → A + + 2e AB * + e → A + + B + 2e ¾ Ionización Disociativa AB + e → A + + B + 2e Donde A y B son átomos, AB son las moléculas, A + o AB + son iones y A * o AB* son los átomos y moléculas excitadas. Ionización y Excitación por Colisiones de Iones Energéticos o Partículas Neutras En plasmas fríos, los iones por lo general no tienen suficiente energía cinética como para causar ionización directa, los átomos neutros y las moléculas no son aceleradas por los campos eléctricos, por esto no es importante considerar un proceso de excitación o ionización por colisiones de alta velocidad de los iones y partículas neutras, en cambio la ionización térmica si tiene lugar en este y se puede definir de la siguiente manera: ¾ Ionización Térmica Cuando un gas alcanza altas temperaturas, la energía cinética de los átomos neutros y las moléculas es tan alta que causa ionización por colisión, debido a los movimientos térmicos de las partículas. Estos procesos de ionización se presentan en el plasma de las descargas de arco cuando la temperatura es del orden de unos miles de grados, el grado de ionización viene dado por la ecuación de Saha. ¾ Ionización Penning Esta proceso de ionización se debe a la colisión entre partículas meta - estables en estado excitado las cuales tienen una energía de ionización tal que la energía de excitación de la partícula meta - estable puede ser escrita como: A + B* → A+ + e + B La diferencia entre la energía de excitación del átomo B y la energía de ionización del átomo A es transferida en forma de energía cinética al electrón. ¾ Ionización por Colisión Entre Partículas Excitadas Cuando una molécula excitada colisiona con otra molécula que también se encuentra en estado excitado, el proceso de ionización puede ocurrir si la suma de sus energías de excitación es mayor que la energía de ionización de una de las moléculas: A* + B * → A + + e + B Este es un importante proceso de ionización en los plasmas donde la temperatura electrónica Te es muy baja. 1.7.3. Procesos de Recombinación La recombinación es el proceso de unión de un ion y un electrón en una molécula o en átomos neutros (proceso inverso a la ionización). En algunos casos este proceso va acompañado de radiación. A presiones pequeñas la recombinación de electrones con iones positivos puede darse de la siguiente manera: Recombinación Ion - Electrón ¾ Recombinación Radiativa A + + e → A* + hν Se produce recombinación directa del electrón libre con el ion positivo, y como resultado se desprende un cuanto de luz por el exceso de energía del electrón. ¾ Recombinación Dielectronica A + + e → A** A** → A* + hν A** + B → A* + B * En el proceso de recombinación dielectrónica, un electrón se recombina con un ion, pero ocupando un nivel de energía mayor que la del ion. Uno de los electrones ligados al ion se excita a un nivel de mayor debido al exceso de energía existente. Así se genera una doble excitación del átomo. Este átomo doblemente excitado pierde parte de su energía emitiendo fotones o por intercambio de energía con otras partículas a través de colisiones inelásticas, relajándose así a un átomo simplemente excitado. ¾ Recombinación Disociativa AB + + e → A* + B * Es el mecanismo más rápido de recombinación en un plasma débilmente ionizado (por ejemplo, en una descarga glow). En este caso el gas está bastante frío, e incluye usualmente iones moleculares. La energía liberada es transformada principalmente en excitación atómica. ¾ Recombinación por Tres Cuerpos A+ + e + e → A + e A+ + e + B → A + B Es el proceso principal de recombinación en plasmas en equilibrio de alta densidad y baja temperatura (Te ≈104 K), porque la concentración de iones moleculares es lo suficientemente baja como para hacer poco significativa la recombinación disociativa. Recombinación Ion – Ion La recombinación de un ion negativo y un ion positivo es un proceso que ocurre en los casos de O2, Cl2 SO2, entre otros, en el cual los iones negativos son generados por acoplamiento electrónico. Este es el principal mecanismo de neutralización de carga en gases e incluye los siguientes procesos: ¾ Recombinación Radiativa A + + B − → AB + hν ¾ Neutralización Mutua A + + B − → A* + B * ¾ Recombinación por tres cuerpos A + + B − + M → AB + M En el proceso de recombinación radiativa un ion positivo y uno negativo se combinan y se produce una molécula estable acompañada por la emisión simultánea de un fotón. La neutralización mutua es un proceso en el cual la transferencia de carga solo ocurre en el tiempo de contacto entre un ion positivo y un ion negativo produciendo la excitación respectiva de átomos o moléculas [3]. 2. INTERFERENCIA En el estudio de algunos fenómenos importantes de la óptica se hace indispensable considerar las características ondulatorias de la luz. Dos fenómenos importantes son la difracción y la interferencia. Es poco conveniente introducir uno sin el otro pues el tratamiento teórico de ambos se basa en hipótesis muy similares. Además, la interferencia no puede existir sin el concepto de difracción y a menudo se pone en evidencia la difracción por fenómenos de interferencia. Sin embargo son efectos distintos. La interferencia trata de la superposición de varias ondas entre sí. 2.1. El Fenómeno de Interferencia. El fenómeno de interferencia ocurre cuando dos o varias ondas coherentes (de la misma longitud de onda, y de relación de fase constante) se superponen espacialmente. De acuerdo con el principio de superposición el campo producido en un punto del espacio debido a la superposición de varios campos E1, E2, .... esta dado por la suma vectorial de los campos: E = E 1 + E 2 + E 3 + ..... (2.1.1) El fenómeno de interferencia se puede estudiar como sigue. Consideremos dos ondas planas, monocromáticas y con la misma frecuencia, dadas por: ⎧ E1 (r , t ) = E 01 cos(k1 ⋅ r − ωt + α 1 )) ⎪ ⎨ ⎪ E (r , t ) = E cos(k ⋅ r − ωt + α )) 02 2 2 ⎩ 2 (2.1.2) Donde E01 y E02 , k, ω, α, son la amplitud, el vector de onda, la frecuencia y la fase inicial de la onda. De acuerdo al principio de superposición, cuando se superponen dos o más ondas, lo que se suman son las amplitudes de las ondas y la onda resultante tiene una amplitud que es la suma de las amplitudes individuales. Para obtener la intensidad de la onda resultante (energía por unidad de área y por unidad de tiempo), que generalmente es lo que se mide, hay que calcular el cuadrado del campo resultante y hallar su promedio temporal. Utilizando el principio de superposición ec. (2.1.1), se tiene que: E = E1 + E 2 (2.1.3) Elevando al cuadrado se tiene: ( E 2 = E ⋅ E = E1 + E 2 ) (E + E ) 1 2 (2.1.4) Donde: I = E 2 = E12 + E 22 + 2 E1 ⋅ E 2 (2.1.5) Que se puede escribir como: I = I 1 + I 2 + I 12 (2.1.6) I1 = E12 (2.1.7) I 2 = E22 (2.1.8) I 12 = 2 E 1 ⋅ E 2 (2.1.9) Con Donde el ultimo termino I12, es llamado termino de interferencia, el cual contiene el sentido físico del fenómeno de interferencia, y nos dice si la intensidad medida es menor o mayor que la suma de las intensidades de cada onda por separado. Este término se puede escribir como (2.1.9). Si se evalúa el término de interferencia reemplazando los campos E1 y E2 se tiene: E1 ⋅ E 2 = E 01 E 02 cos(k1 ⋅ r − ωt + α 1 ) cos(k 2 ⋅ r − ωt + α 2 ) (2.1.10) Utilizando la identidad trigonométrica para el coseno de la suma de dos ángulos y teniendo en cuenta que el promedio temporal de una función f(t’) viene dada por: f (t ) = 1 t +T f (t´)dt T ∫t (2.1.11) Se tiene entonces que: E1 ⋅ E 2 = 1 E 01 E 02 cos(k1 ⋅ r − k 2 ⋅ r + α 1 − α 2 ) 2 (2.1.12) Donde se utilizo el hecho de que: cos 2 ωt = sen 2ωt = 1 2 (2.1.13) cos ωt senωt = 0 Así el término de interferencia se puede escribir como: I 12 = E 01 ⋅ E02 cos δ (2.1.14) δ = (k1 ⋅ r − k 2 ⋅ r + α1 − α 2 ) (2.1.15) Donde Es la diferencia de fase que proviene de combinar una diferencia de longitud de trayectoria y una diferencia de fase inicial. Un resultado inmediato que sale de las anteriores ecuaciones, es que el término de interferencia se hace cero cuando E01 ⊥ E02 (por consiguiente E1 ⊥ E2) por lo tanto solo nos interesa el término de interferencia cuando se trabaja con E01 ⎪⎪ E02 Así: I1 = E 2 1 E 012 = 2 (2.1.16) I 2 = E 22 = 2 02 E 2 Entonces el término de interferencia se puede escribir como: I12 = 2 I1I 2 cos δ (2.1.17) Y la irradiancia total estará dada por: I = I1 + I 2 + 2 I1I 2 cos δ (2.1.18) En varios puntos del espacio, la irradiancia puede ser mayor, igual o menor a I1 + I 2 dependiendo del valor de I12, es decir depende del valor de δ. Un máximo en la irradiancia corresponde cuando cosδ = 1 tal que: I max = I1 + I 2 + 2 I1I 2 (2.1.19) Cuando δ = 0, ±2π, ±4π.... En este caso la diferencia de fase entre las dos ondas es múltiplo entero de 2π y las perturbaciones están en fase, lo anterior se conoce como interferencia constructiva total. Cuando 0 < cos δ < 1 , las ondas están fuera de fase, I 1 + I 2 < I < I max , y el resultado se conoce como interferencia constructiva. En δ = π 2 entonces cos δ = 0 , las perturbaciones ópticas están fuera de fase y I = I 1 + I 2 para 0 > cos δ > −1 . Y se tiene la condición de interferencia destructiva cuando, I 1 + I 2 > I > I min y el mínimo en la irradiancia aparece cuando las ondas están 180° fuera de fase, es decir con cos δ = −1 y: I min = I 1 + I 2 − 2 I 1 I 2 Solo sucede cuando δ = (2.1.20) ±π, ±3π, ±5π,...y se conoce como interferencia destructiva total, y se da periódicamente cuando la diferencia de fases es múltiplo impar de π. Hay casos en que la interferencia se puede presentar cuando las ondas que interfieren además de tener igual frecuencia tienen igual amplitud y la irradiancia se escribe como: I = 4 I 0 cos 2 δ 2 (2.1.21) Con I1 = I2 = I0, donde Imin = 0 e Imax = 4I0. Se puede hablar de interferencia de ondas, cuando al actuar ellas conjuntamente no tiene lugar la suma de intensidades. De este modo, cuando superponemos dos ondas o más, es posible que aparezcan zonas donde la intensidad de las mismas aumenta y otras donde la intensidad disminuya o se anule, dado que las ondas pueden tener la misma fase o no, o distintas frecuencias. Este fenómeno de interferencia es una propiedad característica de las ondas, y es consecuencia de que son sumables [7]. 2.2. Importancia de la Polarización en la Interferencia de Ondas Transversales Supongamos que ambas oscilaciones interferentes de la ecuación (2.1.2) tienen una misma dirección. En el caso de ondas longitudinales, si hay coincidencia en las direcciones de propagación de las mismas, entonces coincidirán también las direcciones de las oscilaciones. Para el caso de ondas transversales, es posible que al coincidir las direcciones de propagación de dos ondas, la dirección de las oscilaciones en ellas no coincida. En efecto en una onda transversal se puede dar la oscilación en cualquier dirección perpendicular a la dirección de propagación de la misma. Haciendo un tratamiento simple para dos ondas que interfieren, utilizando la polarización de ondas transversales, se puede resaltar la importancia de la polarización en el fenómeno de interferencia. Tomando una onda W1 que se propaga en la dirección z, su campo eléctrico estará dado por: E1 (r , t ) = u 1 A1 cos(kz − ωt ) (2.2.1) Donde u1 es el vector unitario de polarización y A1 es la amplitud de la oscilación. Similarmente una segunda onda W2 se propaga en una dirección ligeramente diferente respecto a la dirección de propagación de la onda W1; esta dirección viene dada por los ángulos polar θ y azimutal φ, el campo para la onda W2 estará dado por: E 2 (r , t ) = u 2 A2 cos(kz cos θ + kxsenθ cos φ + kysenθsenφ − ωt ) (2.2.2) Haciendo uso del principio de superposición (2.1.1), utilizando la definición para la intensidad dada por la ecuación (2.1.5), haciendo los respectivos cálculos algebraicos y evaluando en el plano constante z (z=0), se obtiene una forma conveniente para la definición de la intensidad dada por : I = I 1 + I 2 + 2 I 1 I 2 u 1 u 2 cos(ksenθ ( x cos φ + ysenφ ) (2.2.3) Donde el término de interferencia (2.1.9) ahora va a depender de los vectores unitarios de polarización u1 y u2. Para que haya interferencia de las oscilaciones polarizadas es necesario, lograr el encuentro de dos rayos en los cuales la dirección de las oscilaciones E1 y E2 no sean perpendiculares, es decir que los vectores de polarización u1 y u2 no sean perpendiculares entre si. Si E1 y E2 y por ende u1 y u2 son perpendiculares no se observara interferencia. La máxima visibilidad de las franjas se alcanza en el caso cuando las ondas que interfieren están igualmente polarizadas, es decir si los vectores de polarización son paralelos, esto se puede ver en la relación existente para la visibilidad de las franjas que esta dada por: V= 2 I1I 2 u 1 u 2 I1 + I 2 (2.2.4) La visibilidad es poca si la polarización es deficiente, por ejemplo si u 1 ⋅ u 2 << 1 o si la razón I2 >> 1 . En el caso óptimo para la visibilidad se debe cumplir que I1 u ⋅ u = 1 e I1 = I 2 como resultado la visibilidad es 1, el cual implica cero 1 2 intensidad en los mínimos. El valor para la visibilidad viene definido por la interrelación entre las amplitudes de las ondas interferentes y los vectores de polarización. El parámetro V puede variar entre uno y cero, el primer valor corresponde al cuadro de interferencia de mayor contraste y el segundo a su total desaparición [8,9] 2.3. Tipos de Interferómetros Con el fin de estudiar el fenómeno de interferencia, se han construido diferentes aparatos, conocidos como interferómetros. El mas conocido es el interferómetro de Michelson, también se encuentra el interferómetro de Fabry – Perot, y para este trabajo, se utilizara el interferómetro de Mach – Zenhder. La diferencia entre los distintos tipos de interferómetros esta en que algunos están clasificados en la categoría de interferómetros por división de frente de onda y otros se encuentran clasificados en interferómetros de división de amplitud, como es el caso del Mach – Zehnder. En la práctica, la superposición de dos ondas coherentes se alcanza a través de: ¾ • División de frente de onda (por múltiples rendijas). ¾ • División de amplitud (por espejos semitransparentes o divisores de haz). La interferencia producida por división de frente de onda se explica por medio del experimento de Young. En Cambio la interferencia producida por división de amplitud, debida a espejos semitransparentes (beamsplitters) se puede explicar por medio del Interferómetro Mach – Zehnder (I.M.Z.) [7]. 2.4. Interferómetro Mach – Zehnder (I.M.Z.) El interferómetro de Mach - Zehnder es un buen ejemplo para producir interferencia por división de amplitud. Ha sido usado en muchos experimentos en el campo de la óptica. Este interferómetro ha aumentado considerablemente su aplicación desde el advenimiento del láser. Esto se debe en gran parte a las características únicas del haz láser, debido a que su intensidad y su gran longitud de coherencia han simplificado enormemente la alineación y el uso del interferómetro. Se ha usado para medir el índice de refracción de un gas el cual depende de la temperatura. También se ha utilizado en Aerodinámica para examinar el flujo de aire alrededor del ala de un avión. A diferencia por ejemplo del interferómetro de Jamin, donde la superficie frontal de dos espejos actúa como divisores de haz y la superficie posterior como espejos planos, pero dichos elementos no se puede ajustar independientemente y la separación de los haces esta limitada por el espesor de los espejos. En cambio en el I.M.Z. los haces pueden ser ampliamente separados debido a que los espejos reflectores y los divisores de haz son elementos que se ajustan separadamente. El interferómetro Mach – Zehnder es un dispositivo de división de amplitud, que consiste en dos divisores de haz y dos espejos reflectores, las dos ondas que viajan dentro del interferómetro lo hacen a lo largo de caminos separados. Su ventaja principal es que permite interponer elementos en uno de los haces sin que el otro sea afectado, y de esta manera se altera la diferencia de camino óptico, cambiando así el patrón de interferencia. Por ejemplo se puede introducir en uno de sus brazos, una descarga de arco con un índice de refracción n diferente al índice de refracción n0, de esta forma se altera la diferencia de camino óptico entre los dos haces y como resultado aparece un patrón de interferencia, diferente al patrón de interferencia producido sin elementos en uno de sus brazos, el cual consiste en un patrón de interferencia con las franjas desplazadas con respecto a su posición cuando no existe el otro medio en uno de sus brazos. Figura No. 7. Esquema del Interferómetro Mach - Zehnder El esquema del interferómetro [11] se muestra en la figura No 7. Un haz de luz láser proveniente de una fuente S pasa a través de un expansor de haz L1 e incide sobre una superficie semi – reflectora A1 de un vidrio de caras paralelas B1 (divisor de haz) que lo divide en dos haces iguales, transmitiendo el 50 % y reflejando el otro 50 % del haz. Posteriormente los haces serán reflejados por dos espejos planos M1 y M2, hacia la superficie semi – reflectora A2 de un segundo vidrio de caras paralelas B2 donde nuevamente son recombinados. Finalmente serán enfocados por una lente L2 en el punto P’ donde aparecerá un patrón de interferencia producido por la superposición de los dos haces. Los cuatro elementos del interferómetro son dispuestos de tal forma que sus centros coinciden con las esquinas de un paralelogramo, además se debe garantizar que sean estrictamente paralelos entre si. De la Figura No. 7, supongamos que la fuente S es puntual y de luz cuasi – monocromática. Sea W1 el frente de onda plano del haz entre los espejos M2 y B2, W2 es el correspondiente frente de onda plano del haz entre los espejos M1 y B2, W’1 es frente de onda virtual entre M1 y B2 el cual emergerá de B2 y coincide con W1. En el punto P sobre W2, la diferencia de fase virtual del haz emergente es: δ= 2π λ (2.4.1) nh Donde h = PN es la distancia normal de P a W’1 y n es el índice de refracción del medio entre W2 y W’1. En el punto P’ los haces emergentes se superponen y formaran una serie de franjas brillantes y oscuras producida por la diferencia de fase entre los dos haces que viajan por los brazos del interferómetro, esta distribución de franjas de acuerdo a las expresiones (2.1.19) y (2.1.20) esta dada por las relaciones: I max = I 1 + I 2 + 2 I 1 I 2 δ = 0,2π ,4π .... I min = I 1 + I 2 − 2 I 1 I 2 δ = π ,3π ,5π .... I = 2 I 1 (1 + cos δ ) = 4 I 1 cos 2 δ 2 (2.4.2) , I1 = I 2 Habrá una franja brillante si: nh = mλ m = 0,1,2,3,..... (2.4.3) nh = mλ 1 3 5 m = , , .... 2 2 2 (2.4.4) Habrá una franja oscura si: Cuando W’1 y W2 son paralelos la diferencia de camino es cero, la intensidad es la misma y se producirán franjas paralelas en el patrón de interferencia sobre la pantalla. Si W’1 y W2 no son paralelas se producirá una pequeña curvatura en las franjas del patrón de interferencia debido a que hay una diferencia de camino óptico entre el haz que viaja por el segmento PN de la figura, en el cual existe un índice de refracción n diferente al índice de refracción del aire n0 y el haz que viaja por el otro brazo del interferómetro. El patrón de interferencia se puede fotografiar o registrarse con una cámara CCD [10,11]. El montaje experimental del interferómetro se puede ilustrar en la figura No 8. Figura No. 8. Montaje de un interferómetro Mach – Zehnder. 2.5 Camino Óptico El fenómeno de superposición de dos o varias ondas coherentes, entre los cuales se observa la interferencia, tiene lugar, en muchos procesos ópticos. La propagación de la luz a través de cualquier sustancia, la refracción de la luz en la interfase de dos medios, su reflexión, etc., son procesos de este tipo. La propagación de la luz en una sustancia esta acompañada de la interacción de la onda electromagnética con los electrones (o iones) de los cuales esta compuesta dicha sustancia. Bajo la acción de las ondas estas partículas cargadas oscilan y comienzan a emitir ondas electromagnéticas secundarias con el mismo periodo que el de la onda incidente. Las ondas secundarias estarán relacionadas entre si por su fase, es decir son coherentes debido a que son producto de una misma onda luminosa. Ellas interfieren entre si y esta interferencia permite explicar los fenómenos de reflexión, refracción dispersión, difusión de la luz etc. La coherencia de ondas de una misma frecuencia, es decir, la conservación de una diferencia constante de fases durante un tiempo suficiente para la observación, es condición para su interferencia. La coherencia es una propiedad de las ondas de luz, que permite predecir la probabilidad que existe de observar un patrón de interferencia. La medida de la coherencia esta relacionada con el término de interferencia (2.1.9). I 12 = 2 E 1 ⋅ E 2 Y surge de la comparación de la fase relativa entre dos ondas de luz (coherencia relativa), o dos componentes de la misma onda (autocoherencia). Es fácil encontrar una relación para el camino recorrido por una onda electromagnética que se propaga a través de una sustancia o cualquier medio. Se sabe que en el vacío la velocidad de una onda es c y su longitud λ0, entonces para un medio con un índice de refracción n, la velocidad de la onda es: v= c n (2.5.1) λ= λ0 n De acuerdo con esto, si la onda recorre el camino d1 en el medio con índice de refracción n1 y el camino d2 en el medio con índice de refracción n2, entonces la diferencia de fase ϕ que aparece se expresa por: ⎛ d2 ϕ = 2π ⎜⎜ ⎝ λ2 − ⎛ n d − n1 d1 ⎞ d1 ⎞ ⎟⎟ ⎟⎟ = 2π ⎜⎜ 2 2 λ1 ⎠ λ0 ⎝ ⎠ (2.5.2) El producto del índice de refracción por el camino geométrico se llama camino óptico el cual se expresa como D = nd , así la diferencia de fase se puede expresar como: ⎛ D2 − D1 ⎞ ⎟⎟ λ 0 ⎝ ⎠ ϕ = 2π ⎜⎜ (2.5.3) Si D1 = D2 entonces ϕ = 0, de esta manera los caminos de los dos rayos luminosos son ópticamente equivalentes, es decir no introducirán ninguna diferencia de fase si sus caminos ópticos son iguales entre si. Cuando la trayectoria de un haz de luz se compone de varios segmentos d1, d2…y el medio tiene diferentes índices de refracción n1, n2… el camino óptico en una forma mas general se puede escribir como: D = ∑ ni d i (2.5.4) i Para el caso del Interferómetro Mach – Zehnder, si los divisores de haz B1 y B2 y los espejos M1 y M2 son estrictamente paralelos, dando lugar a la formación de un rectángulo, la diferencia de camino óptico entre los divisores de haz no depende del ángulo de incidencia α, lo que lleva a que las ondas interfieran simétricamente en el interferómetro. El camino recorrido por el haz entre el divisor de haz B1 y el espejo reflector M1 (ver figura No 9a) estará dado por: ∆ 1 = B1 M 1 = 2acosα (2.5.5) El camino recorrido por el haz entre B2 y M2 será: ∆ 2 = B1 M 1 = 2acosα (2.5.6) Por lo tanto la diferencia de camino óptico, sin muestra en uno de los brazos del I.M.Z. será igual a cero, es decir: ∆S = ∆ 2 − ∆ 1 = 0 (2.5.7) Lo que significa que no hay una diferencia de fase entre los dos haces que viajan por los brazos del interferómetro, lo que producirá un patrón de interferencia a la salida de franjas paralelas. Mientras que si se coloca una muestra en uno de los brazos del interferómetro, la diferencia de camino será: ∆s = (n − 1) L (2.5.8) Donde n es el índice de refracción y L son las dimensiones de la muestra respectivamente. Es decir se aumenta la diferencia de camino óptico de uno de los haces que viaja dentro del interferómetro con respecto al otro, debido a que la luz se propaga mas lentamente en la muestra y por consiguiente su longitud de onda es menor. El camino óptico en este medio será nL (ver figura No. 9b) mientras que en el aire el haz recorrerá un distancia L (n = 1) por ello el aumento de camino óptico en el medio esta dado por (2.5.8), ello implica un incremento de (n − 1) L λ ondas en el camino del haz. Así, si ∆m es el número de franjas desplazadas al introducir el medio en dicho haz se tiene que: (n − 1) L = λ∆m (2.5.9) Conociendo L, λ y ∆m se puede obtener fácilmente el valor del índice de refracción del medio. El método interferencial es el más adecuado para la medida de la variación del índice de refracción en un medio. Figura No. 9. Camino Óptico recorrido por el haz láser a través de los espejos del interferómetro Mach – Zehnder. a) b) Para obtener información cuantitativa de la variación de camino óptico a través de la muestra es necesario generar un patrón de franjas para propósitos de calibración inclinando levemente los espejos B1, M1 y B2, M2 el cual hace al interferómetro ligeramente asimétrico dando lugar a la formación de un paralelogramo. Si se asume que B1 y M1 son inclinados en sentido horario alrededor de la dirección z por un ángulo β y el par B2M2 son inclinados en sentido antihorario por el mismo ángulo β. El camino óptico entre B1 y M1 es entonces: ∆ 1 = 2acos(α + β ) (2.5.10) Mientras que el camino óptico entre B2 y M2 estará dado por: ∆ 2 = 2acos(α − β ) (2.5.11) Después de ser recombinados, los dos haces tendrán una diferencia de camino dada por: ∆S = ∆ 2 − ∆ 1 = 2a cos(α − β ) − 2a cos(α + β ) = 4asenαsenβ El cual depende del ángulo de incidencia α. (2.5.12) En el plano de observación, se visualizará un patrón de interferencia de franjas paralelas con una separación angular entre franjas m y m + 1 dada por: senα m − senα m +1 = λ 4aβ (2.5.13) Al introducir una muestra en uno de los brazos, se producirá una diferencia de camino adicional dada por: ∆S ( β ) = (n − 1) L cos β (2.5.14) El cual depende del índice de refracción y de la longitud de la muestra [9,10]. 3. INTERFEROMETRIA LASER PARA EL DIAGNOSTICO DEL PLASMA Las técnicas utilizadas en la actualidad para el crecimiento de películas delgadas como la PVD y la CVD son asistidas por plasma de baja temperatura (plasma en desequilibrio térmico). Las condiciones en las cuales se generan estos tipos de plasma, están caracterizadas por las especies de las partículas, sus densidades y sus diferentes temperaturas. Las propiedades de las películas crecidas por estas técnicas tienen una gran dependencia de los parámetros de este plasma, estos parámetros son: la temperatura iónica Ti, la temperatura electrónica Te, la densidad de iones Ni y la densidad de electrones Ne, Estos parámetros dependen esencialmente del tipo de descarga, la clase de gas, la presión del gas y la potencia entregada al gas. Es por ello que se debe tener un control sobre estos parámetros en el momento de depositar el material sobre el substrato. De ahí que el diagnostico de los parámetros del plasma se ha convertido en una herramienta indispensable no solo para la investigación sino en el campo de las películas delgadas, ya que los procesos de crecimiento de películas requieren de control y reproducibilidad. Para el diagnostico del plasma existen diferentes métodos de diagnostico, estos métodos se pueden considerar como invasivos (interacción directa con el plasma) y no invasivos (medios ópticos) Los métodos mas utilizados para el diagnostico del plasma son: Métodos no Invasivos ¾ Espectroscopia Óptica ¾ Espectroscopia Óptica de Emisión ¾ Espectroscopia Óptica de absorción ¾ Espectroscopia de Fluorescencia Inducida por Láser ¾ Espectroscopia Raman ¾ Interferometria Láser Métodos Invasivos ¾ Sonda Simple de Langmuir ¾ Sonda Doble ¾ Sondas Magnéticas ¾ Sondeo por Microondas Otros Métodos de Diagnostico ¾ Medición de Partículas ¾ Espectrometría de Masas ¾ Análisis Energético de Iones 3.1. Diagnostico del Plasma por Medio de Interferometria con Láser El interferómetro de Mach-Zehnder puede ser usado para estudiar las variaciones que podrían ocurrir cuando un haz de luz pasa a través de un medio diferente al aire colocado en uno de sus brazos. Este medio puede distorsionar la fase del frente de onda del haz porque la incidencia refractiva del medio no es homogénea. Uno de los parámetros que lleva a la ocurrencia de lo anterior es la variación de la temperatura de dicho medio. Otro parámetro que conduce al mismo fenómeno son las fluctuaciones de la densidad en el medio. El interferómetro Mach – Zehnder esta basado en la interferencia de dos haces por división de amplitud del haz que incide sobre uno de los divisores de haz. Las dos ondas viajan a lo largo de caminos diferentes, y al introducir un medio (plasma) con un índice de refracción n diferente al índice de refracción n0 del aire, se altera la diferencia de camino óptico entre los dos haces y como resultado aparece un desplazamiento de las franjas del patrón de interferencia con respecto a su posición sin plasma, lo cual permite determinar la variación del índice de refracción del medio localmente. Aunque el I.M.Z. es el mas difícil de ajustar, es el mas adecuado para el estudio de pequeñas variaciones del índice de refracción dentro de un amplio margen. Si se introduce en uno de los brazos del interferómetro Mach – Zehnder, por ejemplo el plasma de una descarga de arco, se produce un desplazamiento de fase adicional en comparación con la fase de esta misma onda que se desplaza por el aire en el otro brazo del interferómetro. El valor de este desplazamiento de fase adicional de la onda que ha recorrido una trayectoria determinada en el plasma, depende del coeficiente de refracción del plasma de la siguiente manera: ∆ϕ = 2π λ ∫ [n( x, y, z) − n ]dz z2 z1 0 (3.1.1) Donde z1 y z2 son las coordenadas de los límites de la zona con plasma, n0 y n son los índices de refracción en el aire y en el medio con plasma respectivamente. La existencia de un gradiente del índice de refracción en la dirección perpendicular al eje donde se produce la descarga, produce un desplazamiento de las franjas de interferencia. Este desplazamiento del patrón de interferencia expresado en número de franjas esta dado por: K ( x, y ) = ∆ϕ 1 = 2π λ ∫ [n ( x, y , z ) − n ]dz z2 z1 0 (3.1.2) Por lo tanto, midiendo el desplazamiento de las franjas de interferencia con respecto a su posición cuando no hay plasma en uno de los brazos, se puede obtener un patrón bidimensional de la distribución de la longitud de camino óptico en función del índice de refracción de acuerdo a: z2 D ( x, y ) = ∫ n( x. y.z ) dz = K ( x, y )λ + n0 l z1 (3.1.3) Donde l = z2 – z1 (ver Figura No.10) es el camino de recorrido del haz. Si se considera la descarga como un sistema con geometría axial, el recorrido del haz láser a través de la zona donde se halla el plasma de la descarga de arco, se puede imaginar un esquema de recorrido como el mostrado en la figura No. 10 Figura No. 10. Esquema de una geometría axial para el recorrido del haz láser Donde l = z2 – z1 es el camino recorrido por el haz. Tomando como base esta geometría axial y teniendo en cuenta que: l = z 2 − z1 = 2 R 2 − y 2 (3.1.4) Se puede escribir la expresión para el cálculo de la longitud de camino óptico del haz láser a través del plasma de la descarga en función del desplazamiento de las franjas normalizadas al periodo de acuerdo a: Dk ( y ) = 2n0 R 2 − y 2 + Donde: k: Número del punto escogido a lo largo del radio. λK d (3.1.5) Dk(y): Longitud del camino óptico. n0: Índice de refracción del medio en condiciones normales (aire). λ: Longitud de onda del haz láser. R: Radio máximo de la sección transversal. K: Desplazamiento lineal de las franjas de interferencia. d: Periodo espacial de las franjas de interferencia. Por otro lado se sabe que: z = r2 − y2 (3.1.6) 2rdr dz = r2 − y2 Entonces la expresión (3.1.3) se puede escribir como: rdr K = λ + n0l 2 2 d r −y Dk ( y ) = 2∫y n(r ) r (3.1.7) Así la longitud de camino óptico en el plasma se determina a partir de la distribución radial del índice de refracción n(r) [12,13]. La ecuación anterior es parecida a una función del tipo Abel, con respecto al índice de refracción n(r). Las funciones de Abel son de la forma [14]: r f ( y ) = 2∫ g (r ) y rdr r 2 − y2 (3.1.8) Y la transformada inversa de Abel esta dada por: g (r ) = − 1 r f ( y )dy y y2 − r 2 π∫ (3.1.9) La Abelización o la transformada inversa de Abel permite analizar la expresión (3.1.7) como una ecuación integral con respecto a una distribución radial desconocida del índice de refracción n(r) en el plasma de acuerdo a la expresión (3.1.10): n( r ) = − 1 π r ∫y D ( y ) dy 2 y −r 2 (3.1.10) Para solucionar la ecuación inversa de Abel existen gran cantidad de métodos [14]. Un método que se puede utilizar consiste en reemplazar la ecuación (3.1.10) por un sistema de ecuaciones lineales de la forma: N n(r ) = ∑ bik Dk ( y ) k =1 (3.1.11) Donde bik es la matriz inversa de los coeficientes aik. El calculo comienza desde afuera de la columna plasmica cuando z = R y paulatinamente se va aproximando al eje (ver Figura No.11). Figura No. 11. Secciones transversales a lo largo de la columna plasmica, caso para una distribución de 10 cortes. Para el caso concreto, primero se construye el sistema de coeficientes aik que permite encontrar la solución numérica de (3.1.11), es decir se construye un sistema de ecuaciones lineales de la forma: N Dk ( y ) = ∑ aik n(ri ) (3.1.12) k =i Que da lugar a la matriz. D1 = a1,1n1 + a1,2 n2 + a1,3n3 + ..................+ a1,10n10 D2 = 0 a2,2 n2 + a2,3n3 + a2,4 n4 + ........... + a2,10n10 D3 = 0 0 a3,3n3 + a2,4 n4 aik = + ........... + a3,10n10 M M M M M M M M M M M M D9 = 0 0 0............................+ a9,9 n9 + a9,10n10 (3.1.13) M M M M M M Dn = 0 0 0......................................... + an,n nn Al encontrar la matriz de coeficientes y al tomar la transformada inversa de Abel de la matriz, se puede encontrar el valor del índice de refracción a partir de los valores de la diferencia de camino óptico utilizando la relación (3.1.11) [14]. Para el calculo de los coeficientes aik, los coeficientes de la matriz Dk (y) para una sección dada y la solución del sistema de ecuaciones lineales de la expresión (3.1.11), se escribió y se adecuó un programa en FORTRAN, el cual permite calcular la transformada inversa de Abel y así obtener la variación del índice de refracción y la temperatura del gas de la descarga de arco a partir del desplazamiento de las franjas de interferencia con respecto a su posición cuando no hay plasma en uno de los brazos del interferómetro. 3.2. Propiedades Ópticas del Plasma Al pasar una onda electromagnética (láser) a través del plasma se produce un cambio en la amplitud de dicha onda, debido a procesos de absorción, refracción, dispersión y emisión a partir del plasma. De estos procesos se puede obtener información sobre los coeficientes de absorción y refracción del plasma, que a su vez son función de la temperatura y la concentración de las partículas que conforman el plasma. 3.2.1. Transmisión de una Onda Electromagnética a Través del Plasma La frecuencia de plasma es importante, no solo para describir las oscilaciones libres en el plasma si no que también permite determinar la repuesta del plasma a oscilaciones externas, en este caso estamos hablando de las oscilaciones electromagnéticas que se transmiten en dicho plasma. Para entender este efecto, primero hay que preguntarse, ¿cual es la corriente que se induce en el plasma debido a la aplicación de un campo eléctrico E que oscila con una frecuencia ω dada? Para dar una respuesta a este interrogante, discutamos la propagación de ondas electromagnéticas a través de un plasma. Las ecuaciones de Maxwell incluyen la densidad de carga ρ = e(ni − ne ) y la densidad de corriente j = −e(ne v e -n i v i ) . Si se asume que los campos son de la forma E = E 0 e i (k ⋅ x −ωt ) , con las ecuaciones de Maxwell: rotB = µ 0 j + rotE = − div E = 1 ∂E c 2 ∂t ∂B ∂t (3.2.1.1) ρ ε0 div B = 0 Se obtiene: ik × B = µ 0 j − i ω c2 (3.2.1.2) E ik × E = ω B (3.2.1.3) ρ ε0 (3.2.1.4) k⋅B = 0 (3.2.1.5) ik ⋅ E = La ecuación del movimiento para los electrones viene dada por: m ( dv e = −e E + v × B dt ) (3.2.1.6) Que se puede escribir como: ( − iωmv e = −e E + v × B ) (3.2.1.7) Considerando ondas electromagnéticas de alta frecuencia, los iones acelerados son mas lentos y no tienen tiempo de responder al campo de la onda que se esta transmitiendo, así es que para ondas de altas frecuencias se puede asumir que los iones se encuentran en reposo, es decir, vi ≈ 0, ni ≈ n0 = cte. Por lo tanto la corriente será de la forma j = −ne ev e y la ecuación para la conservación de la carga estaría dada por: ∂ne + ∇ ⋅ (ne ⋅ v e ) = 0 ∂t (3.2.1.8) Que se puede expresar como: − iωn1 + i k ⋅ v e n0 = 0 (3.2.1.9) Donde n1 es una perturbación de la densidad electrónica ne = n0 + n1 . Si se consideran ondas transversales (k ⋅ v e ) = 0 , entonces la perturbación en la densidad electrónica se hace cero de acuerdo a la ecuación (3.2.1.8) y por medio de la ecuación (3.2.1.2) se encuentra que: ( ) i k × B = µ 0 − n0 e v e − i ω c2 E=0 (3.2.1.10) La ecuación de movimiento, despreciando el término en v × B se puede escribir como: − iωmv e = −e E (3.2.1.11) Por lo tanto la densidad de corriente se puede expresar como: j =σE = in0 e 2 E ωn (3.2.1.12) Y al colocar este resultado en la ecuación para la ley de Ampere se obtiene: 1 in0 e 2 ω ik × B = 2 E −i 2 E c ε 0 ωn c = −i ω⎛ n0 e 2 ⎜ 1 − c 2 ⎜⎝ ω 2 mε 0 ⎞ ⎟⎟ E ⎠ (3.2.1.13) (3.2.1.14) Donde ω p2 = n0 e 2 ε 0 me (3.2.1.15) Donde ωp es la frecuencia de plasma. Es decir la frecuencia natural de oscilación en el plasma ionizado. La ecuación i k × E = ω B en términos de la constante dieléctrica ε para el plasma esta dada por: 2 iω ⎛⎜ ω p ik × B = − 2 1 − 2 c ⎜⎝ ω ⎞ ⎟ E = − iω ε E ⎟ c2 ⎠ (3.2.1.16) Donde ε = 1− ω p2 ω2 (3.2.1.17) Es la constante dieléctrica. La velocidad de fase de la onda se puede expresar en términos de la constante dieléctrica vφ = ω k = c ε c = 1− ω p2 (3.2.1.18) ω2 En (3.2.1.18) se puede ver que la velocidad de fase vφ es mayor que c, esto es posible ya que la velocidad a la cual viaja la información, es decir la velocidad de grupo dω , es menor que c y esta dada por: dk ω p2 ⎞ ⎟ = c2 1− k 2 ⎜⎝ ω 2 ⎟⎠ ω 2 ⎛⎜ dω c = 2 dk v (3.2.1.19) 2 (3.2.1.20) La relación de dispersión para una frecuencia ω dada de una onda electromagnética que se propaga a través de un plasma en ausencia de campo magnético viene dada por ω 2 = ω p2 + c 2 k 2 (3.2.1.21) Si el valor de c k es muy grande las ondas se pueden considerar como ondas de luz ordinarias Si ω < ωp, el valor de k es imaginario, entonces la onda es atenuada exponencialmente, y no se puede propagar a través del plasma, dicha onda será atenuada una distancia dada por [15,16] d≅ c ω −ω2 2 p (3.2.1.22) Donde ωp es la frecuencia de plasma y ω es la frecuencia de la onda electromagnética. 3.2.2. Refracción en el Plasma La velocidad de propagación de una onda electromagnética a través de la materia es diferente a la de propagación en el vacío. Si la sustancia es homogénea e isotropica, puede demostrarse que el efecto neto de la polarización y la magnetización del medio por la onda electromagnética se tienen en cuenta reemplazando en las ecuaciones de Maxwell las constantes ε0 y µ0 por la permitividad eléctrica ε y la permeabilidad magnética µ característica del material. El cociente entre la velocidad c de las ondas electromagnéticas en el vacío y la velocidad v en la materia se denomina índice de refracción absoluto de la sustancia, el índice de refracción n, es un parámetro propio de cada medio que indica el comportamiento de la luz al atravesarlo. Desde un punto de vista microscópico n refleja las características eléctricas y magnéticas del medio. El índice de refracción esta dado por [17]: n= c v (3.2.2.1) Donde v= c= 1 εµ 1 (3.2.2.2) ε 0 µ0 y al reemplazar se obtiene el índice de refracción de la forma: n = ε r µr (3.2.2.3) ε ε0 µ µr = µ0 (3.2.2.4) Con εr = Donde εr y µr son la permitividad y permeabilidad relativas del medio. En general µr difiere muy poco de la unidad en la mayoría de las sustancias que transmiten ondas electromagnéticas y el índice de refracción se puede escribir con una buena aproximación: n = εr Esta relación (3.2.2.5) sirve de base para determinar fácilmente la permitividad de la sustancia si el índice de refracción se obtiene independientemente. Llamemos N al número de electrones por unidad de volumen, entonces se puede expresar el índice de refracción de acuerdo a: n2 = ε r = 1+ Ne 2 me ε 0 ⎛ fi ⎞ ⎜∑ 2 ⎟ ⎜ ω −ω2 ⎟ i ⎝ ⎠ (3.2.2.6) Donde fi, ωi, ω, son la fuerza de oscilación entre los electrones, la frecuencia que corresponde a la transición entre los niveles i e k y la frecuencia de la radiación. Así, el índice de refracción depende entonces de la frecuencia de la onda y por lo tanto de su longitud de onda. Ahora, las partículas que constituyen el plasma (electrones, átomos, iones) contribuyen a su refracción, y esta contribución es de carácter aditiva y se puede escribir como: n − 1 = ∑ Ck N k (3.2.2.7) k Donde Ck es la refracción debido a las partículas de tipo k con respecto a una sola partícula y Nk es el número de partículas por unidad de volumen presentes en el plasma. La contribución de los electrones en la refracción del plasma se puede calcular a partir de la expresión [3,4]: ne = 1 − 2 ωp2 ω2 (3.2.2.8) Donde; ω es la frecuencia de la radiación electromagnética que pasa por el plasma y ωp es la frecuencia de plasma que está dada por (3.2.1.15): Si se considera que ωp << 1 entonces la ecuación (3.2.2.8) toma la forma: ω 1 ωp e 2 λ2 ne − 1 = − = − N e ≈ −4.48 x 10 -16 λ2 N e 2 2 2 2ω 8π ε 0 mc 2 (3.2.2.9) Para un plasma completamente ionizado. Como muestran los cálculos, para el caso del rango del espectro visible de la luz la expresión (3.2.2.9) es aplicable hasta Ne ≈ 1019 – 1020 cm.-3. La contribución que introduce a la refracción del plasma, los átomos e iones en estado normal y excitado se describe de acuerdo a: 2 2 (n − 1)α = e ∑ f2ik N i 2 = 2 e 2 ∑ f ik2 λik N2i 4π ε 0 mc i ,k λ − λik ε 0 m i ,k ωik − ω 2 (3.2.2.10) Donde; Ni es la concentración de átomos e iones en el nivel i, y λik, fik, ωik, son la longitud de onda, fuerza del oscilador y frecuencia que corresponde a la transición entre los niveles i e k. Para gases con temperaturas entre 103 y 104 K, la contribución más significativa a la refracción del plasma la introducen los átomos neutros en estado fundamental. Ya que para la mayoría de los gases las líneas de resonancia se encuentran en la región ultravioleta, entonces para la emisión en la región del visible, se cumple que λ >> λik y la ecuación (3.2.2.10) se puede escribir como: (n − 1)α = 4 ⎡ f 1k λ1k ⎤ B ⎤ Na ⎡ 2 + f λ ⎥Na = ⎢A + 2 ⎥ ∑ 2 2 2 ⎢ ∑ 1k 1k 4π ε 0 mc ⎣⎢ k λ ⎦⎥ λ ⎦ N0 ⎣ k e2 (3.2.2.11) Donde N0 es el número de Loschmidt y Na es la concentración de átomos en estado normal. La expresión (3.2.2.11) se conoce como la formula de Cauchy, la cual relaciona la variación del índice de refracción con la longitud de onda en un intervalo pequeño de longitudes de onda, dada por: n (λ ) = A + B λ2 La expresión (3.2.2.11) o formula de Cauchy se puede justificar como sigue [17]. En la relación (3.2.2.6) se obtuvo una expresión que da el índice de refracción en función de la frecuencia de la onda electromagnética y la frecuencia característica de la sustancia (para este caso seria la frecuencia de plasma). Suponiendo que hay una sola frecuencia atómica ω0 y que ω << ω0, se obtiene: n2 = 1+ Ne 2 ε 0 m ω 02 − ω 2 ( (3.2.2.12) ) Al despejar el valor del índice de refracción se tiene: ⎛ Ne 2 n = ⎜⎜1 + 2 2 ⎝ ε 0 m ω0 − ω ( ) ⎞ ⎟ ⎟ ⎠ 1 2 (3.2.2.13) Y al hacer una expansión en serie de (3.2.2.13) se llega a: n = 1+ Y como ω = 2πc λ Ne 2 2ε 0 mω 02 ⎛ ω2 ⎜⎜1 + 2 ⎝ ω0 n = A+ B ⎞ ⎟⎟ ⎠ (3.2.2.14) , se tiene (3.2.2.15) λ2 Donde A = 1+ Ne 2 2ε 0 mω 02 (3.2.2.16) B= 2π c Ne ε 0 mω 04 2 2 2 Cuando se trabaja en la región del visible del espectro B λ2 << A , la refracción de átomos y moléculas no depende de la longitud de onda. La ecuación (3.2.2.11) se puede escribir de la siguiente forma: (n − 1)α = 2πα a N a = C a N a (3.2.2.17) Donde αa es la polarizabilidad y Ca es la refracción de cada átomo por centímetro cúbico. Para el caso de frecuencias pequeñas, se tiene que ⎛ B ⎞ ⎜ 2 << A ⎟ ⎝λ ⎠ y la polarizabilidad αa se relaciona con A al comparar (3.2.2.11) con (3.2.2.17) y se obtiene: (n − 1)α (n − 1)α ⎫ A ⎪ ⎬ = αa = 2πN 0 = 2πα a N a = C a N a ⎪⎭ =A Na N0 (3.2.2.18) Para la mayoría de los gases αa = 10-25 – 10-24 cm3, entonces el valor absoluto de la refracción de los átomos referido a una sola partícula será Ca = 2παa. Aproximadamente 10-24 – 10-23 cm3, que es uno a dos órdenes de magnitud menor o que para los electrones: Ce ≈ 10-23 para λ ≈ 5000 A . Para medios dieléctricos isótropos transparentes (no absorbentes) n será un número real, mientras que para medios absorbentes n tendrá una parte imaginaria no nula. Si el medio es anisótropo (ε es un tensor) habrá mas de un índice de refracción en función de la dirección de propagación de la luz en el interior del medio. El índice de refracción además de depender de la frecuencia de la luz es también función de la temperatura [12,13,18]. 3.2.3. Calculo de la Temperatura del Gas Cuando el plasma esta altamente ionizado (plasmas de alta temperatura), el aporte fundamental al índice de refracción del plasma en la región del visible lo hacen los electrones, si el plasma no esta completamente ionizado (plasma de baja temperatura), entonces la variación del índice de refracción esta relacionada con la componente neutral del plasma debido a que disminuye su concentración en la zona de la descarga. Si se considera la ecuación para un gas ideal: p1 = N 0 kT0 (fuera de la descarga) (3.2.3.1) p 2 = N r kTr (dentro de la descarga) Tomando en cuenta la ecuación (3.2.2.17) y si se desprecian las variaciones de presión debido a los flujos convictivos en la descarga, que según [19] para el aire a presión atmosférica la velocidad de los flujos convictivos es de aproximadamente 2 m/s, o sea mucho menor que la velocidad del sonido en el aire, entonces se puede considerar que p1 = p2, y se tiene que: (n0 − 1)kT0 = (nr − 1)kTr (3.2.3.2) Así se puede obtener una expresión para la temperatura en cualquier punto de la zona con plasma, dada por: Tr = Entonces se pueden construir n0 − 1 T0 nr − 1 (3.2.3.3) isotermas y campos de temperaturas de la descarga ya que el método permite calcular la temperatura puntualmente. [12,13,18] 3.3. Error del Método En cualquier cálculo de tipo recurrente, los errores se propagan y al pasar de una sección a otra en la zona de descarga el error se propaga. Es por ello que el error en el cálculo de los parámetros del plasma no solo es de carácter experimental, sino que también depende fuertemente del perfil del plasma y fundamentalmente del número de divisiones en las cuales se parte la columna plasmica. El error medio relativo total de las mediciones δ n( R) estará dado por: δ n( R ) = ∆n 2∆K 1 =2 =2 n( R ) K (0) M2 (3.3.1) Donde M es el número de partes en las que se ha dividido la columna plasmica. Así si M tiene un valor de 10 particiones, el error en las mediciones δ n( R) será del 20 %, en cambio si M toma un valor de 40 el error δ n( R ) 5%. En conclusión entre más cantidad de particiones tenga la columna plasmica mayor será la precisión del método utilizado. 3.3.1. Precisión de las Medidas Interferometricas Ya que según la ecuación (3.1.3) D( x, y ) = ∫z12 n( x, y, z )dz = − K ( x, y )λ + n0 l z El valor mínimo de la longitud de camino óptico Dmin que puede ser determinado por interferometria, se determina por el desplazamiento mínimo de las franjas de interferencia Kmin, de acuerdo a: Dmin = λK min (3.3.1.1) A su vez Kmin depende de la calidad del interferograma obtenido, es decir tiene una gran dependencia de: ¾ Contraste y resolución del interferograma para medir el periodo de las franjas. ¾ Calidad de los espejos (Divisores de haz y espejos reflectores). ¾ Calidad de las lentes expansoras del haz. ¾ Registro del interferograma (Toma de datos). ¾ La calidad de los espejos del interferómetro así como las aberraciones de las lentes pueden causar que las franjas de interferencia se curven aun sin plasma. Se puede hacer un cálculo estimativo de ∆nmin. Si se combinan las ecuaciones (3.1.3) y (3.3.1.1) y si reemplaza D por: z2 Dmin = ∫ (n − n0 ) min dz z1 (3.3.1.2) Se sabe que según (3.1.3) entonces se tiene: z2 D( x, y ) min = ∫ n( x, y, z ) min dz = (n − n0 ) min l z1 (3.3.1.3) Donde la Variación mínima del índice de refracción se escribe como: ∆nmin = (n − n0 ) min (3.3.1.4) Dmin = K min λ (3.3.1.5) Se sabe que: Y z2 Dmin = ∫ (n − n0 ) min dz = k min λ z1 (3.3.1.6) Se llega al valor mínimo para la refracción dado por: (n − n0 ) min = ∆nmin = K min λ l (3.3.1.7) Si por ejemplo se tiene un valor para el desplazamiento mínimo de las franjas del patrón de interferencia Kmin = 0.1, una dimensión para el plasma de l = 0.01 m y una longitud de onda de 632.8 nm, se puede estimar el valor mínimo para el índice de refracción, por medio de la ecuación (3.3.1.7) y se tiene que ∆nmin ≈ 6.3 x 10-6, este valor representa una buena precisión al momento de hacer la medida, ya que el método de interferometria láser da información puntual del gradiente del índice de refracción existente a lo largo de la zona del plasma de la descarga. [20]. 4. DETALLES EXPERIMENTALES Y RESULTADOS 4.1. El Interferómetro Mach Zehnder (I.M.Z.) Como se había descrito en el capitulo dos, el I.M.Z. consta de dos espejos reflectores y dos espejos semi – transparentes o divisores de haz que transmiten y reflejan el 50% del haz (50T/50R) incidente respectivamente, dispuestos de manera rectangular como se muestra en la figura No. 7. Aunque muchos I.M.Z. utilizan un arreglo rectangular, el arreglo en forma de paralelogramo tiene ciertas ventajas. Una de ellas es el hecho de que el efecto de las imperfecciones en los espejos planos sobre las dispersiones que se puedan producir en los divisores de haz (espejos semi - transparentes 50T/50R), disminuye cuando disminuye el ángulo de incidencia del haz sobre esta superficie. Otra razón es que la apertura o el ancho de campo a la mitad del ancho del espejo aumenta cuando el ángulo de incidencia disminuye. Por esta razón no es una condición necesaria tener un arreglo rectangular en el interferómetro [8]. En el presente trabajo de tesis se intento obtener un arreglo rectangular en la disposición de los espejos, pero dentro del margen de error es factible que el arreglo obtenido sea muy próximo a un arreglo en forma de paralelogramo. 4.1.1. Construcción del Interferómetro Mach – Zehnder Antes de construir el interferómetro, es importante que el interferómetro este aislado de las vibraciones existentes en el lugar donde se tomaran las medidas [8]. El éxito de las mediciones dependerá en gran parte, de que tan bien este aislado todo el sistema de estas vibraciones. Lo ideal seria tener el instrumento aislado de cualquier vibración. Un procedimiento ideal para contrarrestar las vibraciones, es montar los cuatro espejos sobre un bloque de aproximadamente 2 cm. de espesor de aluminio endurecido, acero inoxidable o granito. Para aislar el instrumento de las vibraciones, se coloca entre los bloques y la mesa óptica donde esta el interferómetro, hojas de espuma de varios centímetros de espesor con agujeros de aproximadamente 2 cm. de diámetro. El propósito de los agujeros es proporcionar aislamiento de los movimientos laterales. Otro forma de aislar el instrumento seria colocar la mesa óptica sobre un bloque de mármol o de cemento y finalmente montarlos sobre un neumático. El primer paso para la construcción de I.M.Z. fue dibujar un rectángulo sobre una mesa óptica, marcando las esquinas donde se colocaron los posicionadores y soportes para los espejos, lo anterior con el fin de garantizar que los ejes verticales de rotación de los espejos coincidan con las esquinas del rectángulo. 4.1.2. Equipo y componentes utilizados A. Montaje del Interferómetro Mach - Zehnder La mesa óptica utilizada para montar el interferómetro tiene unas dimensiones de 68.5 x 46.8 cm., la cual fue reciclada a partir de la que tenia un espectrómetro de infrarrojo dado de baja en el Departamento de Química de la Universidad del Valle. Se obtuvieron cuatro posicionadores los cuales fueron extraídos de cuatro microscopios ópticos dados de baja por el departamento de Biología en la Universidad del Valle y fueron acondicionados para la construcción del interferómetro. Después de acondicionar los posicionadores, estos permitieron fijar los espejos reflectores y semi – transparentes, a los cuales se les logro dar cinco grados de libertad: desplazamiento de su posición en x, y, z, rotación sobre su propio eje e inclinación sobre el eje z, lo que permite situar a los espejos y a la vez lograr los desplazamientos necesarios para poder alinear el interferómetro y obtener el patrón de interferencia a la salida del mismo. Los posicionadores fueron montados sobre la mesa óptica formando un rectángulo. Para montar los posicionadores sobre la mesa se utilizaron bases de aluminio para cada posicionador. Sobre los posicionadores se fijaron los soportes de aluminio para los cuatro espejos. Los soportes para los divisores de haz presentan un orificio en el centro con el fin de que el haz transmitido pueda seguir su camino a través del interferómetro. El diámetro del orificio es de 4 cm. Todos los soportes para los espejos tienen un ajuste fino, que sirven para mover los espejos reflectores, al igual que los divisores de haz, para así lograr superponer los dos haces tanto en el centro del divisor de haz de la salida del interferómetro así como en la pantalla. También se utilizaron soportes de aluminio para montar el láser y las lentes sobre el riel óptico. El interferómetro construido se puede ver en la Figura No.13. B. Divisores de Haz y Espejos Reflectores El interferómetro Mach Zehnder consiste especialmente de dos divisores de haz y dos espejos reflectores, los cuales deben ser ópticamente planos. Los divisores de haz deben ser de buena calidad con un recubrimiento antireflector en la superficie de la cara posterior, además de tener cierta inclinación con respecto a la otra cara. Lo anterior con el objeto de evitar reflexiones “fantasmas” entre las caras paralelas del espejo, además que los divisores de haz deben cumplir con la condición de transmitir y reflejar el 50% del haz que incide sobre ellos es decir deben ser 50T/50R. Los dos espejos semitransparentes fueron adquiridos en la firma Reynard Corporation. De la calidad de los divisores de haz y de los espejos reflectores va a depender la intensidad, la visibilidad y el contraste de las franjas del patrón de interferencia. Los divisores de haz están diseñados para reflejar y transmitir la luz a 45°. Cada divisor de haz tiene un recubrimiento en multicapa de un material dieléctrico que tiene más o menos 0.5 % de absorción, las características de cada divisor de haz se pueden resumir en la tabla No. 1. Tabla No. 1 Especificaciones de los divisores de haz. Características Particulares de los divisores de Haz Tamaño (mm) 50 (cuadrado) Razón R/T 50R/50T Longitud de onda (nm) 400 a 800 Espesor (mm) 2 Material BK-7 Paralelismo 5 minutos de arco Recubrimiento lado 1 Dieléctrico Recubrimiento lado 2 Recubrimiento antireflector de banda ancha Un esquema de cómo funciona cada divisor de haz se puede ilustrar en la figura No.12. Figura No. 12. Esquema de un espejo semi – transparente (beamsplitter) el cual sirve para dividir el haz incidente en 50T/50R C. Láser Se utilizo un láser polarizado de He – Ne de 10 mW de potencia nominal con una longitud de onda de 633 nm el cual opera en un solo modo (TEM00). Es importante que el láser sea polarizado, ya que dicha polarización permite que el patrón de interferencia pueda visualizarse con facilidad. Además una polarización vertical del láser aseguraría, que al incidir el haz sobre un espejo semi – transparente con 50% de transmisión y 50% de reflexión (50T/50R) la intensidad tanto del haz transmitido como el reflejado sea la misma. Por lo general la longitud de coherencia de un láser de He – Ne es del orden de 20 cm.; lo que permite al interferómetro Mach – Zehnder ser montado con diferentes longitudes de camino, del orden de varios centímetros sin perdida significativa del contraste en las franjas del patrón de interferencia. Las especificaciones del láser utilizado en este trabajo se resumen en la tabla No. 2. Tabla No. 2 Características del láser de He – Ne utilizado en el experimento. Características Particulares del Láser He - Ne ( TEM00) Potencia de salida (mW.) 5.0 Longitud de onda (nm.) 633 Diámetro del Haz (mm.) 0.81 Divergencia del haz (mrad.) 1.0 Razón de polarización mínima 500 : 1 Peso (g.) 425.2 Longitud (cm.) 35.56 Diámetro (cm.) 3.79 Figura No. 13. Montaje experimental del interferómetro Mach - Zehnder Utilizado. 4.1.3. Alineación del interferómetro Mach - Zehnder Para la alineación del interferómetro fue necesario utilizar una maquina generadora de humo, la cual ayudo a visualizar el camino recorrido por el haz láser a través de los brazos del interferómetro y facilitar así la alineación de cada uno de los espejos, en especial el primer divisor de haz, el cual debe tener un ángulo de inclinación de 45° con respecto a la normal del haz incidente, de tal forma que entre el haz transmitido y el haz reflejado se forme aproximadamente un ángulo recto. Después de asegurar el primer divisor de haz a la entrada del interferómetro, se procede a la alineación de los otros tres espejos con el haz sin expandir. Para ello se hace incidir el haz sobre el centro del primer divisor de haz B1 (ver Figura No. 7), de tal forma que tanto el haz transmitido como el reflejado también incidan sobre el centro de los dos espejos reflectores M1 y M2, y por medio de ajustes finos de estos espejos y del segundo divisor de haz, se logra superponer los dos haces en el centro del divisor de haz B2, que se encuentra a la salida del interferómetro. Todo esto se puede lograr ajustando de una manera conveniente los posicionadores utilizando los desplazamientos en los tres ejes x, y, z; y ajustando los ángulos de rotación de cada uno de los espejos reflectores sobre su eje; garantizando así que el sistema conserve su arreglo en forma rectangular o en forma de paralelogramo. Después de lograr la alineación del interferómetro se procede a expandir el haz, para así obtener un patrón de interferencia sin muestra en uno de sus brazos. 4.1.4. Expansión del haz Generalmente el diámetro del haz de salida de un láser de He – Ne es de 1 a 2 mm. que es un diámetro muy pequeño para hacer un diagnostico del plasma de la descarga; por eso es necesario expandir dicho haz para así barrer un área suficiente que abarque tanto la zona del plasma de la descarga de arco colocada en uno de los brazos del I.M.Z. como zonas fuera de la descarga. Para expandir el haz fue necesario utilizar dos lentes positivas simples que no llevan un recubrimiento antireflector ya que no es necesario. Las lentes tienen una distancia focal de 50 mm. y 500 mm. respectivamente y están separadas una distancia entre si de 55 cm. Así se obtiene un spot paralelo a lo largo del recorrido del interferómetro el cual tiene una dimensión de 1 cm. de diámetro. Dicho diámetro fue suficiente para barrer un área considerable dentro y fuera del plasma de la descarga. Ahora es necesario cerciorarse que el diámetro del haz no cambie notablemente sobre una distancia de varios metros al pasar por la segunda lente, ya que el haz que incide sobre el espejo semitransparente deber ser un haz paralelo, para ello se puede jugar ajustando ligeramente el espacio entre las lentes y verificando al mismo tiempo que el haz no cambie su diámetro inicial entre la segunda lente y el divisor de haz a la entrada del interferómetro. 4.2 Descarga de Arco Utilizada El esquema del circuito utilizado para obtener la descarga de arco a la cual se le aplico el método descrito en el capitulo tres para el calculo de la temperatura del gas por medios ópticos se muestra en la Figura No.14. Figura No. 14. Circuito para generar la descarga de arco. El circuito para generar la descarga de arco consiste de 2 transistores de potencia, dos resistencia de 1 kΩ y 470 Ω, un transformador con un embobinado de 2500 vueltas y dos electrodos de bronce donde salta el arco. El circuito fue alimentado con una fuente de 12 V DC a 2 A. La frecuencia medida de la señal de salida sin arco fue de 17.6 KHz., mientras que la señal de salida con arco presento una frecuencia de 49.8 KHz. La corriente por la salida de baja tensión tiene un valor de 2.94 A. mientras que con el arco la corriente toma un valor de 7.2 A y al momento de suspender el arco la corriente disminuye hasta un valor de 4.9 A. El valor de voltaje medido entre los electrodos en ausencia del arco fue de 6.8kV, medido pico a pico en el osciloscopio, el valor de voltaje efectivo es decir Vrms, es de 4.8 kV. En el momento de producir la descarga de arco, el voltaje pico cae hasta cerca de los 700 V. con un valor para Vrms de aproximadamente 495 V. Para medir los valores anteriormente reportados se utilizo un circuito de rectificación que carga un condensador, en el cual, mediante una punta de alto voltaje y un voltímetro se mide el nivel de tensión en los terminales del condensador. Con este método se obtiene el valor de voltaje máximo y la caída de voltaje en los electrodos que producen la descarga de arco. El esquema de la Figura No.15 ilustra el método utilizado para medir el voltaje en la descarga de arco. Figura No. 15. Esquema utilizado para medir el voltaje y la caída de voltaje en la descarga de arco. Finalmente las fotos de la Figura No.16 muestran la descarga de arco a.c. a presión atmosférica en el aire colocada en uno de los brazos del interferómetro como se ve en la realidad. Figura No. 16. Descarga de arco a.c. a presión atmosférica en el aire. 4.3. Resultados y Análisis En esta parte del trabajo se hará una descripción de la forma como se tomaron los datos, su respectivo análisis y los resultados obtenidos. La toma de datos empieza primero con la obtención de los patrones de interferencia con y sin plasma en uno de los brazos del interferómetro, los interferogramas son registrados por medio de la cámara CCD y por ultimo las fotos tomadas son trabajadas digitalmente en el programa Coreldraw para darle un mejor contraste y definición. Los patrones de interferencia obtenidos utilizando el interferómetro se ilustran a continuación: Figura No. 17. Foto del patrón de interferencia tomada sin la descarga en uno de sus brazos. a) Color real. b) escala de grises. a) b) Figura No. 18. Foto del patrón de interferencia tomada con la descarga en uno de sus brazos. a) Color real. b) escala de grises. a) b) En la figura No. 18 se puede ver como se desplazan las franjas con respecto a su posición sin plasma cuando se introduce la descarga de arco en uno de los brazos del interferómetro. Este desplazamiento se manifiesta en la curvatura que presenta el patrón de interferencia de la foto en la figura No. 18 en comparación con las franjas de interferencia de la foto en la figura No. 17 en donde se ve que son paralelas entre si. A continuación, a la foto con plasma se le extraen los datos de desplazamiento de las franjas de interferencia con respecto a su posición sin plasma. Este desplazamiento de las franjas se normaliza al periodo espacial de las mismas para así obtener el desplazamiento en número de franjas. El periodo de las franjas se determino con ayuda de un demo del programa SPIP (Scanning Probe Image Processor). Un esquema que ilustra la manera como se tomaron los datos de desplazamiento de las franjas con respecto a su posición sin plasma se puede ver en la siguiente figura: Figura No. 19. Esquema para ilustrar el desplazamiento de las franjas con respecto a su posición sin plasma. Primero se toman los valores en píxeles donde la curvatura de una de las franjas es máxima (zona con plasma) y el valor en píxeles donde la franja no presenta curvatura alguna (zona sin plasma), que viene a ser el valor de referencia. Luego se hace la resta del valor de referencia a los datos que están por encima de este valor para así determinar que tanto se ha desplazado la franja con respecto a su posición sin plasma. Estos datos se obtienen por medio del programa Origin como se muestra en la Figura No.20, el cual permite obtener gran cantidad de datos punto a punto entre el valor máximo y el valor mínimo. Dividiendo la franja desplazada en 63 zonas permite obtener un error medio relativo de aproximadamente 3% de acuerdo a la ecuación (3.3.1). Figura No. 20. Perfil para la toma de datos de desplazamiento de las franjas utilizando el Origin. Los datos de desplazamiento de las franjas normalizados al periodo se introdujeron en el algoritmo implementado en FORTRAN (anexo 1) con el cual a su vez se calculan los valores de diferencia de camino óptico por medio de la ecuación (3.1.5) para cada una de las zonas en las que se divide la región de la descarga, construyendo así la matriz de coeficientes aik de la ecuación (3.1.12). A continuación el algoritmo calcula la matriz inversa de coeficientes bik de la ecuación (3.1.11) para así hacer la transformada inversa de Abel (3.1.10) y calcular la variación del índice de refracción a lo largo de la dirección radial del plasma. Por ultimo el algoritmo calcula la variación radial de la temperatura por medio de la ecuación (3.2.3.3). Con los valores obtenidos de variación de índice de refracción, cambio en la temperatura y desplazamiento a lo largo del plasma de la descarga de arco se realizaron cuatro graficas. La primera relaciona la variación de la temperatura en función del desplazamiento radial a través de la zona con plasma de la descarga, la segunda grafica relaciona la variación local del índice de refracción en función del cambio de temperatura en el plasma de la descarga. La tercer grafica relaciona la variación del índice de refracción con el desplazamiento radial a lo largo de la descarga y en la cuarta grafica se construyeron isotermas para cuatro valores diferentes de temperatura en la descarga de arco. En la Figura No.21 se muestra la grafica construida a partir de los valores de temperatura en grados Kelvin como función del desplazamiento radial a lo largo de la descarga. Los datos de desplazamiento se calcularon dividiendo el valor del radio de la descarga, aproximadamente 0.4 cm., entre el numero total de datos que se introdujeron en el programa implementado en FORTRAN, es decir entre 63 datos. Se construyo la grafica tomando desplazamientos con un intervalo de cada 0,006 cm. a partir del centro del canal de la descarga hasta llegar al radio máximo (con un valor aproximadamente de 0.4 cm.) Se puede afirmar de acuerdo al comportamiento de la grafica que a medida que se va alejando del canal de la descarga, la temperatura va disminuyendo paulatinamente cada vez que se acerca a los bordes de dicha descarga donde la temperatura toma un valor cercano al de la temperatura ambiente. Además presenta un cambio drástico de la temperatura ya que a una distancia entre aproximadamente 0.4 cm. y 0,006 cm. la temperatura pasa de un valor de aproximadamente 300 K a un valor de aproximadamente 3000 K. que corresponden a los bordes de la nube de gas de la descarga y al centro del canal de la descarga respectivamente. Figura No. 21. Grafica de temperatura en función del desplazamiento radial para una descarga de arco a.c. a presión atmosférica en el aire. 3500 0,0 Temperatura [K] 3000 0,1 0,2 0,3 0,4 3500 3000 Centro de la Descarga 2500 2500 2000 2000 1500 1500 Fuera de la Descarga 1000 500 500 0 1000 0,0 0,1 0,2 0,3 0,4 0 Desplazamiento Radial [cm] En la Figura No.22 se muestra la grafica que se realizo a partir de los valores de variación del índice de refracción y temperatura en la zona del plasma de la descarga de arco. Como resultado se puede ver que la temperatura en el centro del canal de la descarga es del orden de los 3000 K. y el índice de refracción tiene un valor de 1,000020 que es menor que el índice de refracción del aire a temperatura ambiente (n0 = 1.00023, P = 1 atm, T = 25 °C). Lo anterior se explica físicamente ya que al aumentar la temperatura hacia el centro de la descarga (canal de la descarga) la densidad del gas disminuye como consecuencia de su expulsión de la zona de mayor temperatura y por lo tanto el índice de refracción de este medio será menor que el índice de refracción de la zona donde la temperatura del gas es mas baja. Figura No. 22. Grafica de índice de refracción en función de la temperatura para una descarga de arco a presión atmosférica. 1,00025 0 500 1500 2000 2500 3000 Fuera de la Descarga 1,00020 Indice de Refracción 1000 3500 1,00025 1,00020 1,00015 1,00015 1,00010 1,00010 Centro de la Descarga 1,00005 1,00000 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 1,00005 1,00000 3500 Temperatura [K] En la Figura No.23. Se realizo la grafica a partir de los datos de índice de refracción y desplazamiento radial a lo largo de la descarga. Su comportamiento indica que a una distancia radial de 0.4 cm. el índice de refracción toma un valor igual al índice de refracción del aire mientras que para valores cercanos a 0,006 cm. el índice de refracción toma un valor igual a 1,00002 mucho menor al valor en el aire, lo que confirma lo dicho con respecto a la dependencia del índice de refracción con la temperatura (figura No.22). Figura No. 23. Grafica de índice de refracción en función del desplazamiento radial a lo largo de la descarga. 1.00025 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 1.00020 1.00020 Indice de Refracción 1.00025 Fuera de la Descarga 1.00015 1.00015 1.00010 1.00010 1.00005 1.00000 1.00005 Centro de la Descarga 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 1.00000 Desplazamiento Radial [cm] Con el objeto de obtener una distribución de temperatura radialmente y entre los electrodos de la descarga de arco a.c. a presión atmosférica en el aire, se construyo la grafica de las isotermas de la figura No. 24. Para construir la grafica de las isotermas fue necesario tomar el valor de la distancia entre el electrodo inferior (referencia) y cada una de las 9 franjas registradas en el patrón de interferencia, para así determinar a que distancia se encuentra cada una de ellas con respecto a los electrodos. Esto se lograba tomando como valor de referencia la distancia entre electrodos la cual tenia un valor de aproximadamente 0.8 cm., determinando así la distancia existente entre las franjas y los electrodos. Posteriormente a cada franja se le tomaron datos de desplazamiento radial para cuatro temperaturas diferentes (500 K, 1000 K, 2000 K, 3000 K) con estos datos y los datos de distancia entre electrodos y cada una de las nueve franjas fue posible construir las isotermas. Figura No. 24. Distribución de temperaturas para una descarga de arco a.c. a presión atmosférica. -0.4 -0.2 0.0 Eléctrodo 0.2 0.4 Superior 0.7 0.5 0.5 0.4 0.4 0.1 -0.4 Eléctrodo -0.2 0.2 500 K 500 K 1000 K 2000 K 3000 K 0.3 1000 K 0.2 1000 K 0.3 3000 K 2000 K 0.6 2000 K 3000 K 0.6 500 K Distancia Entre Eléctrodos [cm] 0.7 0.1 Inferior 0.0 0.2 Desplazamiento Radial [cm] 0.4 5. CONCLUSIONES El método de interferometria con láser es un método alternativo para el diagnostico de los parámetros de un plasma y en particular para determinar la temperatura del gas (Tg) de una descarga de arco a presión atmosférica. La distribución radial de la temperatura y del índice de refracción del plasma, muestra que en el canal de la descarga la temperatura del gas es aproximadamente 3000 K con un índice de refracción menor al índice del aire. Al desplazarnos desde el canal de la descarga hacia fuera de la misma, la temperatura disminuye y el índice de refracción aumenta acercándose al valor del índice de refracción en el aire. Estos resultados están de acuerdo con los reportados en la literatura [20]. El método interferencial es el más adecuado para medir la variación del índice de refracción en un medio donde la incidencia refractiva no es homogénea por ejemplo en un gas ionizado. A partir de esta variación se puede obtener información puntual de la temperatura en diferentes zonas del medio. Teniendo en cuenta que la temperatura electrónica (Te) en este tipo de descargas a presión atmosférica en el aire esta entre 1-2 eV , se puede considerar como un plasma en estado de no-equilibrio (Te>Tg) donde las reacciones químicas transcurren con una alta efectividad, pudiendo ser utilizadas estas descargas en la producción y tratamiento de materiales. 6. RECOMENDACIONES Como principales recomendaciones para mejorar los interferogramas obtenidos con el I.M.Z. construido se deben mencionar el aislamiento del instrumento de las vibraciones existentes en el lugar para así obtener resultados con mayor precisión en el momento de hacer una medida. Mejorar la calidad de las lentes usadas para expandir el haz, así como también mejorar el sistema o la forma como se capturan y se registran los interferogramas. 7. PERSPECTIVAS Montar una practica de laboratorio de Física Moderna en el área de óptica para los estudiantes del plan de física, ya que el interferómetro Mach – Zehnder es una herramienta pedagógica de gran utilidad. Determinar la variación local del índice de refracción en sustancias donde se presenten variaciones de densidad de partículas, como por ejemplo en el caso se soluciones liquidas entre otras sustancias. Utilizar el interferómetro para determinar los parámetros del plasma de diferentes tipos de descargas utilizadas en los procesos de crecimiento de materiales en forma de película delgada. BIBLIOGRAFIA [1] Chen F. Introduction to plasma physics. Plenum Press, 1974. [2] Thompson W. B. An introduction to plasma physics. Adisson – Wesley Publishing Co. 1962. [3] Konuma M. Film deposition by plasma techniques. 1992. Springer – Verlag. [4] Bolívar L. E. Caracterización del plasma en atmósfera de oxigeno de alta presión utilizado para la producción de películas delgadas superconductoras. Tesis (M. Sc en ciencias Físicas) Universidad del Valle, Facultad de ciencias. 1993. [5] Knight H. de B. The Arc Discharge “its application to power control”. Chapman and Hall Ltd. 1960 [6] Penning F. M. Electrical Discharges in Gases. Philips Technical Library. 1957. [7] Hecht, E. and Zajac, A. Optics. Reading, MA: Addison-Wesley Publishing Co. 1974. [8] P. Nachman, Am. J. Phys. 63 (1), January 1995. 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Camino Óptico [cm.] índice de Refracción Temperatura [K] Desplazamiento [cm.] 0,79514 1,00002 3103,231 0.006 0,79504 1,00007 1011,797 0.013 0,79474 1,00009 782,4419 0.019 0,79424 1,0001 682,3706 0.025 0,79354 1,00011 623,2531 0.032 0,79263 1,00012 582,9325 0.038 0,79153 1,00012 553,2437 0.044 0,79022 1,00013 530,1324 0.050 0,78871 1,00013 511,3666 0.057 0,78699 1,00014 495,7968 0.063 0,78506 1,00014 482,5635 0.069 0,78293 1,00014 471,0608 0.076 0,78059 1,00015 460,9974 0.082 0,77803 1,00015 452,066 0.088 0,77527 1,00015 444,0145 0.095 0,77228 1,00015 436,7611 0.101 0,76908 1,00016 430,1136 0.107 0,76565 1,00016 424,0377 0.113 0,762 1,00016 418,435 0.12 0,75813 1,00016 413,2077 0.126 0,75402 1,00017 408,3562 0.132 0,74968 1,00017 403,8196 0.139 0,74509 1,00017 399,5316 0.145 0,74027 1,00017 395,5065 0.151 0,73519 1,00017 391,7028 0.158 0,72987 1,00017 388,0712 0.164 0,72428 1,00018 384,6319 0.17 0,71843 1,00018 381,3545 0.176 0,71231 1,00018 378,2004 0.183 0,7059 1,00018 375,194 0.189 0,69921 1,00018 372,2865 0.195 0,69223 1,00018 369,5006 0.202 0,68494 1,00018 366,8156 0.208 0,67734 1,00018 364,2025 0.214 0,66942 1,00019 361,6839 0.221 0,66116 1,00019 359,2424 0.227 0,65255 1,00019 356,8526 0.233 0,64358 1,00019 354,5364 0.239 0,63423 1,00019 352,2786 0.246 0,62448 1,00019 350,0566 0.252 0,61432 1,00019 347,8911 0.258 0,60373 1,00019 345,7686 0.265 0,59268 1,0002 343,6686 0.271 0,58114 1,0002 341,6116 0.277 0,5691 1,0002 339,568 0.283 0,5565 1,0002 337,5558 0.29 0,54332 1,0002 335,5625 0.296 0,52951 1,0002 333,5689 0.302 0,51502 1,0002 331,5907 0.309 0,49979 1,0002 329,615 0.315 0,48376 1,00021 327,6217 0.321 0,46683 1,00021 325,6233 0.328 0,44892 1,00021 323,6042 0.334 0,42988 1,00021 321,5412 0.340 0,40958 1,00021 319,4391 0.346 0,3878 1,00021 317,2744 0.353 0,36429 1,00021 315,0111 0.359 0,33868 1,00022 312,6329 0.365 0,31046 1,00022 310,0672 0.372 0,27883 1,00022 307,238 0.378 0,24246 1,00022 303,9572 0.384 0,19877 1,00022 299,7652 0.391 0,14112 1,00023 293 0.397