Analizador de gases residuales Transpector MPH

Analizador de gases residuales Transpector MPH
DESBLOQUEE SUS PROCESOS
Rendimiento inigualable para mejorar los resultados y maximizar el
tiempo de actividad
El aumento de los precios de las obleas de silicona y la demanda de
productos acabados hacen que las obleas deterioradas cuesten más
que nunca. Por tanto, comprender los procesos y controlar los defectos
se ha convertido en una gran prioridad en los centros de fabricación de
semiconductores. El sistema de análisis de Transpector MPH está
diseñado para desbloquear los procesos con un rendimiento líder en el
sector para todas las aplicaciones de análisis de gases que ayudan a
maximizar el rendimiento de los chips y reducir el tiempo de inactividad
de la herramienta. Gracias a su reducido coste de propiedad general y
su reducido índice de fallos, Transpector MPH mejorará su balance
final más que ningún otro analizador de gases residuales (RGA) del
mercado.
INFICON ha aplicado su gran experiencia en equipos de control de
procesos de análisis de gases para crear un analizador de gases
residuales con la mayor velocidad de recopilación de datos del
mercado, una mínima presión parcial detectable y la mejor proporción
señal-ruido. Todo ello sin sacrificar la gran fiabilidad de los analizadores
de gases Transpector de INFICON.
1
Analizador de gases residuales Transpector MPH
CARACTERÍSTICAS
„
Recopilación de datos ultrarrápida (tiempo de medición: 1 ms)
„
Conectividad Ethernet TCP/IP
„
Filamentos duales
„
Multiplicador de electrones sustituible en campo
„
Kit de filamento reflector, cátodo y ánodo combinado
„
Los sensores más cortos minimizan la huella de la instalación
„
Rango dinámico de nueve décadas
„
Presión parcial mínima detectable (MDPP): <5E-15 Torr
„
Mejor relación señal/ruido
„
Sensores y componentes electrónicos intercambiables
„
Los sensores se montan, prueban y empaquetan en entornos esterilizados
„
Cumplimiento de la normativa RoHS
2
Analizador de gases residuales Transpector MPH
ESPECIFICACIONES
Tipo
MPH100F
MPH100M
MPH200F
MPH200M
MPH300F
MPH300M
Longitud del sensor
14.3 cm
19.3 cm
14.3 cm
19.3 cm
14.3 cm
19.3 cm
Rango de masa
100 amu
100 amu
200 amu
200 amu
300 amu
300 amu
Tipo de detector
FC
FC/EM
FC
FC/EM
FC
FC/EM
Sensibilidad (FC)
2E-4 A/Torr
2E-4 A/Torr
2E-4 A/Torr
2E-4 A/Torr
2E-4 A/Torr
2E-4 A/Torr
Sensibilidad (EM)
NA
500 A/Torr
NA
500 A/Torr
NA
250 A/Torr
3E-13 Torr
5E-15 Torr
3E-13 Torr
5E-15 Torr
6E-13 Torr
1E-14 Torr
Temperatura de
funcionamiento máx. del
sensor (FC)
200°C
200°C
200°C
200°C
200°C
200°C
Temperatura de
funcionamiento máx. del
sensor (EM)
NA
150°C
NA
150°C
NA
150°C
Opción de tipo de filamento
(1)
Y2O3/Ir
Y2O3/Ir
Y2O3/Ir
Y2O3/Ir
Y2O3/Ir
Y2O3/Ir
Opción de tipo de filamento
(2)
Tungsten
Tungsten
Tungsten
Tungsten
Tungsten
Tungsten
Presión parcial detectable
mín.
Resolución (en todo el
rango de masa)
<1 amu wide <1 amu wide <1 amu wide <1 amu wide <1 amu wide <1 amu wide
(3)
(3)
(3)
(3)
(3)
(3)
Coeficiente de temperatura
<1% of peak <1% of peak <1% of peak <1% of peak <1% of peak <1% of peak
height/°C
height/°C
height/°C
height/°C
height/°C
height/°C
Velocidad de medición mín.
1 ms
1 ms
1 ms
1 ms
1 ms
1 ms
Chorro cero (con masa 2)
<5 ppm
<5 ppm
<65 ppm
<65 ppm
<100 ppm
<100 ppm
Presión de funcionamiento
máx.
5E-4 Torr
5E-4 Torr
5E-4 Torr
5E-4 Torr
5E-4 Torr
5E-4 Torr
Temp. de cocción máx.
°C
300
300
300
300
300
300
Temp. de cocción máx.
°F
572
572
572
572
572
572
20-30 VDC
20-30 VDC
20-30 VDC
20-30 VDC
20-30 VDC
20-30 VDC
MPH100F
MPH100M
MPH200F
MPH200M
MPH300F
MPH300M
914-410-P1
914-410-P1
914-410-P1
914-410-P1
914-410-P1
914-410-P1
Entrada de alimentación
(1) para aplicaciones generales
(2) para aplicaciones medioambientales halógenas
(3) a 10% de altura máx.
PIEZAS DE REPUESTO
1.5" RT ANGLE VALVE MANUAL
OPERATED
3
Analizador de gases residuales Transpector MPH
ASSY-1.5" RT ANGLE VALVE AIR
OPERATED
Caja electrónica MPH, 100 AMU FC o
EM/FC (MPH100F, MPH100M) con
Ethernet
914-220-G1 914-220-G1 914-220-G1 914-220-G1 914-220-G1 914-220-G1
MP-H10S
MP-H10S
-
-
-
-
Forro de calefacción MPH de
repuesto
961-416-P1
961-416-P1
961-416-P1
961-416-P1
961-416-P1
961-416-P1
HEATER POWER CABLE 120V
600-1117-P1 600-1117-P1 600-1117-P1 600-1117-P1 600-1117-P1 600-1117-P1
ION SOURCE KIT TUNGSTEN
961-701-G2 961-701-G2 961-701-G2 961-701-G2 961-701-G2 961-701-G2
ION SOURCE KIT YTTRIA COATED
IRIDIUM
961-701-G1 961-701-G1 961-701-G1 961-701-G1 961-701-G1 961-701-G1
KIT CD RGA MANUALS
Kit de extensión MPH
Kit de extensión MPH HPR
074-5007G1
074-5007G1
074-5007G1
074-5007G1
074-5007G1
074-5007G1
961-206-G2 961-206-G2 961-206-G2 961-206-G2 961-206-G2 961-206-G2
-
961-205-G2
-
961-205-G2
-
961-205-G2
Kit de filamentos de iridio revestido
961-700-G1 961-700-G1 961-700-G1 961-700-G1 961-700-G1 961-700-G1
Kit de filamentos de tungsteno
961-700-G2 961-700-G2 961-700-G2 961-700-G2 961-700-G2 961-700-G2
Kit de sustitución de multiplicador de
electrones
Kit de tuercas y junta tórica de
repuesto
-
961-2428G2
-
961-2428G2
-
961-2428G2
961-022-G1 961-022-G1 961-022-G1 961-022-G1 961-022-G1 961-022-G1
MPH100 EM Sensor w/ Tungsten
Filaments
-
961-H1MBS
-
-
-
-
MPH100 EM Sensor with Y2O3/Ir
Filaments
-
961-H1MAS
-
-
-
-
MPH100 FC Sensor w/ Tungsten
Filaments
961-H1FBS
-
-
-
-
-
MPH100 FC Sensor with Y2O3/Ir
Filaments
961-H1FAS
-
-
-
-
-
MPH200 Electronics Box w/ Ethernet
Comm
-
-
MP-H20S
MP-H20S
-
-
MPH200 EM Sensor w/ Tungsten
Filaments
-
-
-
961-H2MBS
-
-
MPH200 EM Sensor with Y2O3/Ir
Filaments
-
-
-
961-H2MAS
-
-
MPH200 FC Sensor w/ Tungsten
Filaments
-
-
961-H2FBS
-
-
-
MPH200 FC Sensor with Y2O3/Ir
Filaments
-
-
961-H2FAS
-
-
-
MPH300 Electronics Box w/ Ethernet
Comm
-
-
-
-
MP-H30S
MP-H30S
MPH300 EM Sensor w/ Tungsten
Filaments
-
-
-
-
-
961-H3MBS
4
Analizador de gases residuales Transpector MPH
MPH300 EM Sensor with Y2O3/Ir
Filaments
-
-
-
-
-
961-H3MAS
MPH300 FC Sensor w/ Tungsten
Filaments
-
-
-
-
961-H3FBS
-
MPH300 FC Sensor with Y2O3/Ir
Filaments
-
-
-
-
961-H3FAS
-
SPEC - XPR VALVE HEATER
914-407-P1
914-407-P1
914-407-P1
914-407-P1
914-407-P1
914-407-P1
XPR Heater power cable, 230V
600-1117-P2 600-1117-P2 600-1117-P2 600-1117-P2 600-1117-P2 600-1117-P2
5
Analizador de gases residuales Transpector MPH
ACCESORIOS
MPH100F
MPH100M
MPH200F
MPH200M
MPH300F
MPH300M
Cable extensor de alimentación 4,5 m 600-1428-P1 600-1428-P1 600-1428-P1 600-1428-P1 600-1428-P1 600-1428-P1
(15 pies)
Cable extensor de alimentación 9 m
(30 pies)
600-1429-P1 600-1429-P1 600-1429-P1 600-1429-P1 600-1429-P1 600-1429-P1
Conector de alimentación de MPH de 961-021-G1 961-021-G1 961-021-G1 961-021-G1 961-021-G1 961-021-G1
80 - 250 VCA/1,2 m (4 pies) (EE.
UU.)
Conector de alimentación de MPH de 961-021-G2 961-021-G2 961-021-G2 961-021-G2 961-021-G2 961-021-G2
80 - 250 VCA/1,2 m (4 pies) (EE.
UU.) con cable extensor de 4,5 m (15
pies)
Conector de alimentación de MPH de 961-021-G3 961-021-G3 961-021-G3 961-021-G3 961-021-G3 961-021-G3
80 - 250 VCA/1,2 m (4 pies) (EE.
UU.) con cable extensor de 9 m (30
pies)
Conector de alimentación de MPH de 961-021-G4 961-021-G4 961-021-G4 961-021-G4 961-021-G4 961-021-G4
80 - 250 VCA/1,2 m (4 pies) de 230 V
Conector de alimentación de MPH de 961-021-G5 961-021-G5 961-021-G5 961-021-G5 961-021-G5 961-021-G5
80 - 250 VCA/1,2 m (4 pies) de 230 V
con cable extensor de 4,5 m (15 pies)
Conector de alimentación de MPH de 961-021-G6 961-021-G6 961-021-G6 961-021-G6 961-021-G6 961-021-G6
80 - 250 VCA/1,2 m (4 pies) de 230 V
con cable extensor de 9 m (30 pies)
ETHERNET COMUNICATION
CABLE 15.3 METER
ETHERNET COMUNICATION
CABLES 7.6 METER
Forro de calefacción MPH de
repuesto
600-1190P15
600-1190P15
600-1190P15
600-1190P15
600-1190P15
600-1190P15
600-1190-P8 600-1190-P8 600-1190-P8 600-1190-P8 600-1190-P8 600-1190-P8
-
-
-
-
-
961-416-P1
HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G1 961-029-G1 961-029-G1 961-029-G1 961-029-G1 961-029-G1
HEATING JACKET KIT 230V
961-029-G2 961-029-G2 961-029-G2 961-029-G2 961-029-G2 961-029-G2
Interruptor Ethernet de 8 puertos
961-418-G1 961-418-G1 961-418-G1 961-418-G1 961-418-G1 961-418-G1
Kit de interbloqueo Pirani
961-702-G1 961-702-G1 961-702-G1 961-702-G1 961-702-G1 961-702-G1
Kit de válvula de ángulo de MPH,
Electroneumático de 24 V(CC)
(incluye calentador)
914-026-G1 914-026-G1 914-026-G1 914-026-G1 914-026-G1 914-026-G1
KIT, MANUAL VALVE W HJ
914-024-G1 914-024-G1 914-024-G1 914-024-G1 914-024-G1 914-024-G1
Router Ethernet de 4 puertos con
botón Wi-Fi
961-417-G1 961-417-G1 961-417-G1 961-417-G1 961-417-G1 961-417-G1
6
Analizador de gases residuales Transpector MPH
www.inficon.com
[email protected]
Debido a nuestro programa continuo de mejoras en los productos, las especificaciones están sujetas a modificaciones sin previo aviso.
RateWatcher es una marca comercial de INFICON. El resto de marcas comerciales son propiedad de sus respectivos propietarios.
(2014-02)
© 2014 INFICON