1. FUNDAMENTOS DE SEMICONDUCTORES Introducción. Descripción cualitativa. Distinción metal-aislantesemiconductor. Semiconductores tipo N y P. M Mayoría de semiconductores de interés: sólidos cristalinos. M Niveles de energía del electrón en un cristal: resolución de la ecuación de Schrödinger. - Funciones de onda monoelectrónicas: funciones de Bloch, caracterizadas por vector de onda k. rr ik r r Ψnkr = e unkr(r ) Átomo aislado Molécula Red periódica - Niveles de energía distribuidos en bandas E(k). M Distinción metal-aislante-semiconductor: bandas superiores ocupadas por electrones. 0K Banda de conducción Banda prohibida Banda de valencia 1.1 EG EC EV M 0K Aislantes y semiconductores Metales EC EG EC EG EV EV Conducción por electrones No conducción M T>0, T.ambiente EC F.0 F>0 EG Semiconductor. Conducción por e- y huecos EG EV Aislante EC EV M Diferencia metal-semiconductor por vía experimental: - Dependencia térmica de σ F F T T Semiconductor Metal - Por el signo de los portadores de carga medido por efecto Hall. M Modelo de enlace covalente. Concepto de HUECO. Si Si Si 2 1.2 Si Si 1 EFECTO HALL Conducción por electrones. B E v -q·E - J EH Campo resultante -q·vvB Acumulación de electrones F = -qE - qv ∧ B Conducción por huecos. E B v + q·E J q·vvB Acumulación de huecos 1.3 EH Campo resultante SEMICONDUCTORES TIPO N Ejemplo: Silicio dopado con fósforo en posición sustitucional Si Si P EC ED - Si Si EV - Ión fijo positivo Y Impureza donadora - Se crean electrones sin huecos Y n>p Y - semiconductor tipo N - conducción mayoritaria por electrones electrones: mayoritarios. huecos: minoritarios SEMICONDUCTORES TIPO P Ejemplo: Silicio dopado con boro en posición sustitucional EC Si Si B Si Si - EA EV - Boro ionizado fijo positivo Y Impureza aceptadora - Se crean huecos sin electrones Y p>n Y - semiconductor tipo P - conducción mayoritaria por huecos huecos: mayoritarios. electrones: minoritarios 1.4 Electrón libre: dp d( hk) = = ma dt dt F = -qE = 2 E= Electrón en cristal: 2 p =h k 2m 2m F = -qE + F int = ... = ma dp* ¿¿ - qE = m a = ?? dt 2 * E E EC EV k k 100 000 2 1 E E(k) = E( k 0 ) + d 2 (k - k 0 )2 + .. 2 dk CONCEPTO DE MASA EFECTIVA Si los electrones y huecos se sitúan en torno a los extremos de las bandas podemos desarrollar E(k) respecto a ellos. En primera aproximación tenemos unas bandas parabólicas: En( k n )= Ec + 2 h 2 ( k n - k min ) 2 m*n + ... 2 h2 k p + ... E p( k p )= Ev + 2 m*p Definición p n = h( k n - k min ) ⇒ cuasimomento : p p = hk p p 2n En = Ec + 2 m*n E p = Ev + p 2p 2 m*p 1 dE 1 dE d( hk) ; dE = F ext vdt = F ext dt; F ext = dt h dK h dk dv 1 d dE 1 d 2 E dk 1 d 2 E a= = = 2 = F ext 2 dt h dt dK h dk dt h dk 2 v= 1.5 DENSIDADES DE ELECTRONES Y HUECOS EN SEMICONDUCTORES Finalidad: calcular la conductividad del semiconductor N1 de electrones en una banda: - Densidad de estados por unidad de energía. - Ocupación de cada estado. EC M Densidades de estados: g n (E) = c n (E - 1 E c )2 g p (E) = c p ( E v - E 1 )2 cn ∝ 3 *2 mn cp ∝ 3 * 2 mp EV M Función de ocupación de Fermi-Dirac f(E) = 1 E-EF 1 + e KT 1, E« E F 1 = , E = EF 2 0, E» E F M Relación de la posición del nivel de Fermi con la concentración de electrones y huecos: EC EF EV ½1 f(E) g(E) g(E)·f(E) EC EF EV g(E)·(1-f(E)) ½1 g(E) f(E) 1.6 M Densidad de electrones y huecos E c max ∫ n= Ev p= g n (E)f(E)dE Ec ∫ g p (E)(1 - f(E))dE E v min ! Caso particular: semiconductores no degenerados Ev<EF<Ec a) En banda de conducción E$Ec>EF E-EF e KT E c max → ∞ ∫ n= >> 1 ⇒ f(E) ≈ e ∞ g n (E)f(E)dE ≈ Ec E-EF KT 1 2 ∫ c n (E - E c ) e - E-EF KT dE Ec u≡ 3 2 n = c n (KT ) Ec - E F e - KT ∞ E - Ec KT 1 3 Ec - E F KT N c (T) = cte ⋅ T ∫ u 2 e-u du = c n (KT )2 e- Ec - E F KT 0 n = N c e- 3 π 2 2 Nc=densidad efectiva de estados en la banda de conducción. b) En la banda de valencia: E#Ev<EF e Ev p= ∫ E-EF KT << 1 ⇒ f(E) ≈ 1 - e g p (E)(1 - f(E))dE ≈ E-EF KT Ev 1 2 ∫ c p( Ev - E ) E-EF e KT dE -∞ E v min -E u ≡ Ev KT 3 2 p = c p (KT ) Ev - E F e KT ∞ 1 ∫ u 2 e-u du 0 p= Ev - E F N v e KT N v (T) = cte'⋅ T EG np = N c (T) N v (T) e - KT = ni 2 1.7 3 2 (Ley de acción de masas) M SEMICONDUCTORES INTRÍNSECOS n=p=ni E - G n i = N c (T) N v (T) e 2KT Depende del material y de la temperatura ni(Si,300K).1010cm-3 - Posición del nivel de Fermi: E c - E Fi E v - E Fi n = p ⇒ N c e - KT = N v e KT ⇒ E c + E v + KT ln N v E Fi = 2 2 Nc N c = 2.8 ⋅ 10 19 cm- 3 + En Si, T = 300K : N v = 1.1 ⋅ 10 19 cm - 3 ⇒ E Fi ≈ E c E v - 12meV 2 = 1.12eV EG M SEMICONDUCTORES EXTRÍNSECOS: n≠p, n⋅p=ni2 n=p+ND+ ! Tipo N: -Generación de electrones: n=n1+n2 - banda a banda n1=p - desde impurezas n2=ND+ -Grado de ocupación del nivel creado por las impurezas: función de ocupación de Fermi-Dirac. o 1 ND = N D 1 + e E DKTE F + 1 ND = N D 1 + e E FKTE D -Hipótesis: a temperaturas de interés ND+.ND en casos prácticos ND>>ni Y n>>p -Ejemplo: ND=1016cm-3 en Si (((1ppm!!), T=300K n=p+ND+. ND=1016cm-3 p<<n pero p≠0 Ec-EF=KTln(Nc/n)=205.6meV Advertencia: a bajas temperaturas ND≠ ND p=ni2/n=104cm-3 -Ejemplo: Ec-ED=40meV. Calcular temperatura para que ND+= ND/2 1.8 p=n+NA- ! Tipo P: -Generación de huecos: p=p1+p2 - banda a banda p1=n - desde impurezas p2=NA-Grado de ocupación del nivel creado por las impurezas: función de ocupación de Fermi-Dirac. o - 1 NA = N A 1 + e E FKTE A 1 NA = N A 1 + e E AKTE F -Hipótesis: a temperaturas de interés NA- ≈ NA>>ni Y p>>n Y p≈NA n ≈ ni2/NA - Advertencia:( COMPROBAR SIEMPRE LAS HIPÓTESIS! -Ejemplo: NA=1016cm-3 en Si , T=300K, EA-Ev=40meV p=n+NA- ≈ NA=1016cm-3 n=ni2/p=104cm-3 n<<p pero n≠0 EF-Ev=KTln(Nv/p)=181.4meV NA-=0.996 NA (99.6%) EC EF EA EV !Semiconductores parcialmente compensados: si N +D > N -A ⇒ tipo N N +D → N +D - N -A si N +D < N -A ⇒ tipo P N -A → N -A - N +D Ecuación de neutralidad general: n + N -A = p + N +D 1.9 CONCENTRACIONES DE PORTADORES DE CARGA EN DESEQUILIBRIO . GENERACIÓN-RECOMBINACIÓN. - En desequilibrio no es aplicable el nivel de Fermi. - Electrones en equilibrio entre sí. - Huecos en equilibrio entre sí. - Definición de un nivel de Fermi para cada tipo de partículas y con carácter local. n( r ) = N c e - E c ( r )- E Fn( r ) KT p( r ) = N v e E v ( r )- E Fp ( r ) KT EFn, EFp: pseudoniveles de Fermi. Situaciones: np = N c e np = E v - E Fp E Fn - E c ⋅ N v e KT = KT qV np 2 n i e KT E - E E Fn - E Fp - c v N c N v e KT e KT exceso V np > 0 ⇒ np > ni2 defecto V np < 0 ⇒ np < n i2 - Agente causante de desequilibrio Y reacción del semiconductor. exceso Y activación de mecanismos de recombinación. defecto Y activación de mecanismos de generación. -)Con qué rapidez responde un semiconductor? Definición de la probabilidad de generación recombinación. 1.10 Probabilidad de generación recombinación. N1 de pares electrón hueco que se generan- n1 de pares que se recombinan por unidad de tiempo. - U gr ∝ np - n i2 = exceso: defecto: qV np 2 n i ( e KT np>ni2 Y Ugr<0, np<ni2 Y Ugr>0, - 1) domina recombinación domina generación - Caso particular: desequilibrio de bajo nivel (los mayoritarios apenas se ven afectados) a) TIPO N: 2 n i n ≈ N D , p = p 0 + δp, n0 ⋅ p 0 = p0 = ND np - n i2 = N D ( p 0 + δp) - N D p 0 = N D δ p ⇒ ni2 , U gr = b) TIPO P: δp τp 2 n i p ≈ p 0 = N A , n = n0 + δn, n0 = NA np - n i2 = N A ( n0 + δn) - N A n0 = N A δ n ⇒ δn U gr = τn - Si se mantiene el agente externo causante de la generación: U gr = G - δp τp ó U gr = G - δn τn τn,τp: constantes de tiempo de recombinación. E EC - Aumento de la velocidad de respuesta de los dispositivos mediante la introducción de impurezas metálicas que favorecen la generación-recombinación absorbiendo momento (El oro en silicio es la más usada) EV 000 1.11 k 100 TRANSPORTE DE ELECTRONES Y HUECOS. CONTRIBUCIONES A LA CORRIENTE. M Aplicación de un campo eléctrico a un semiconductor dV(x) dx E c (x) = -qV(x) + cte E(x) = - - ! Durante un vuelo libre d - qE(x) = h k n dt EC EFn ! Interrupciones del vuelo libre (mecanismos de dispersión): - vibraciones de la red - impurezas ionizadas V - defectos - otros portadores, etc ! jn=qnvn vn: velocidad media de los portadores. ! vn=µnE transporte óhmico µn: movilidad de los electrones (depende de los mecanismos de dispersión, "scattering") E(x) ! Corriente de arrastre: E jn=qnµnE=σnE jp=qnµpE=σpE j=jp+jn=(σp+σn)E M Existencia de un gradiente de concentración de portadores. Y Flujo de portadores en sentido contrario al gradiente Y Corrientes de difusión de electrones y de huecos: (Dn,Dp: coeficientes de difusión) J n = qD n M Corriente total dn dp J p = - qD p dx dx dn dx dp J p = qp µ p E - qD p dx J = J n+ J p J n = qn µ n E + qD n 1.12 Relaciones de Einstein: • n dE c - dE Fn dx dx dn n dV(x) dE Fn =- q dx KT dx dx n = N c e- E c (x)- E Fn(x) KT dn 1 =dx KT dV(x) qn q2 dV(x) dE Fn + + n J n = qn µ n Dn Dn KT KT dx dx dx d En equilibrio E Fn = 0 , J n = 0 ⇒ dx dV(x) q qn µ n - µn+ Dn = 0 dx KT D n = KT q µn se supone válida incluso fuera del equilibrio J n = µn n • dE Fn dx dp 1 dV(x) dE Fp = p - q dx KT dx dx D p dV(x) dE Fp dV(x) - q = - pq J p = qp µ p KT dx dx dx p= E v (x)- E Fp (x) N v e KT = qp dV q p d E Fp (- µ p + D p )+ q D p dx KT KT dx En equilibrio ⇒ D p KT = q µp en general J p = µ p p 1.13 dE Fp dx M Variación de portadores en un elemento de volumen= Los que entran - los que salen + los que se generan - los que se recombinan. M Análisis unidimensional (por unidad de área): ! Entran por unidad de área y tiempo: - x x+)x 1 J n (x) q )x ! Salen por unidad de área y tiempo: - 1 1 1 ∂Jn ∆x ⇒ J n (x + ∆x) ≈ - J n (x) q q q ∂x 1 ∂n 1 1 ∂Jn δn ∆x = - J n (x) - - J n (x) ∆x + G - ∆x ∂t q q ∂x τn q ∂n 1 ∂ J n n= + G - n0 ∂t q ∂x τn ! De forma similar para huecos: 1 ∂p δp 1 1 ∂ J p ∆x = J p (x) - J p (x) + ∆x + G - ∆x ∂t q q ∂x q τ p p - p0 ∂p 1∂Jp =+G ∂t q ∂x τp M Ecuación de Poisson: d 2 V(x) = - ρ (x) εs dx 2 1.14 Caso particular: E = 0, G = 0 ⇒ J n = q D n dn dx 2 ∂Jn n = q Dn ∂ 2 ⇒ ∂x ∂x 2 ∂n n n∂ = D n 2 - n0 ∂t ∂x τn EJEMPLO: G situación estacionaria pero no homogénea: ∂n ∂n = 0, ≠ 0 ∂t ∂x 2 ′ n n′ ∂ n′ ≡ n - n0 ⇒ 0 = D n 2 ∂x τn 2 2 ∂ n′ ≡ ⇒ - n′ 0 = Ln Dnτ n Ln 2 ∂x x x n′(x) = A e - Ln + B e Ln Si el semiconductor es infinitamente largo x n′(x) = A e - Ln J n = q Dn En la superficie: x ∂n = -qn′(0) D n e - Ln ∂x Ln 0=G- n′ τn n′ = n′(0) = G τ n 1.15