1. TÍTULO GES 22: Técnica de deposición de películas

1. TÍTULO
GES 22: Técnica de deposición de películas delgadas
mediante evaporación
Ciclo de vida
Título corto
Uso final - UI de níquel metálico
Procesos de evaporación en la industria de semiconductores
Título sistemático basado en el descriptor de uso
SU:
SU 3: Uso industrial
PC:
No procede
ERC:
SPERC Procesamiento de metales masivos
PROC:
PROC 1: Uso en procesos cerrados, sin probabilidad de exposición
PROC 0: Limpieza y mantenimiento
Procesos, tareas, actividades cubiertas (medio ambiente):
Procesos de evaporación en la industria de semiconductores y componentes ópticos
Procesos, tareas, actividades cubiertas (trabajadores)
Escenario de exposición de contribución ES 20.1:
PROC 1: Deposición de Ni
Escenario de exposición de contribución ES 20.2:
PROC 0: Limpieza y mantenimiento
2. Condiciones de operación y medidas de gestión de riesgos
2.1 Control de exposición ambiental
Título corto relacionado con el medio ambiente
Técnica de deposición de películas delgadas mediante evaporación
Título sistemático basado en el descriptor de uso (medio ambiente)
SPERC Procesamiento de metales masivos
Procesos, tareas, actividades cubiertas (medio ambiente):
El níquel es evaporado en vacío y es depositado nuevamente en la superficie que se va a recubrir
Método de evaluación ambiental
Para el cálculo de PEC para el compartimiento terrestre, se utilizan concentraciones locales
estimadas basadas en el uso de SPERC para el procesamiento de metales masivos, así como
concentraciones regionales medidas
Características del producto
Níquel metálico sólido, de alta pureza (99,5%)
Vapor durante el proceso de evaporación en cámara cerrada
Cantidades utilizadas
Uso máximo diario en el lugar -Por lo general 100 g (rango: 20-500 g por equipo de
recubrimiento en una operación 7x24; número de equipos de recubrimiento por sitio usando el
mismo proceso: 1-10)
Uso máximo anual en el lugar: No proporcionado
Frecuencia y duración de uso
Patrón de emisiones al ambiente
Para el uso de los clientes aguas abajo de Vale solo
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Factores ambientales que no se ven influenciados por la gestión de riesgos
Caudal de aguas superficiales receptoras: No procede
Capacidad de dilución, agua dulce: No procede
Capacidad de dilución, agua salada: No procede
Otras condiciones de operación determinadas que afectan a la exposición ambiental
Proceso completamente confinado. Las cantidades de Ni utilizadas son extremadamente
pequeñas. No hay emisiones en aguas residuales Se espera que las posibles emisiones al
entorno de trabajo sean <0,001 mgm-3, de este modo las posibles emisiones al aire serán
mínimas.
Condiciones y medidas técnicas a nivel de proceso (fuente) para evitar emisiones
Proceso completamente confinado
Condiciones y medidas técnicas en el lugar para reducir o limitar descargas, emisiones
atmosféricas y vertidos en el suelo
No proporcionado
Medidas organizativas para prevenir/limitar las emisiones desde el lugar
Ninguna
Condiciones y medidas relacionadas con la planta de tratamiento de aguas residuales
municipal
Planta de tratamiento de aguas residuales (PTAR) municipal: No procede
Flujo de descarga de la PTAR municipal: No procede
Incineración de los sedimentos de la PTAR municipal: No procede
Condiciones y medidas relacionadas con el tratamiento externo de desechos para su
eliminación
Los desechos del proceso, limpieza y mantenimiento son recolectados por una empresa
autorizada y manipulados y tratados como desechos peligrosos.
Condiciones y medidas relacionadas con la recuperación externa de desechos
No proporcionado
2.2 Control de exposición de los trabajadores en el escenario de
exposición de contribución ES 22.1 Deposición de níquel
Título corto relacionado con los trabajadores: Técnica de deposición de películas delgadas
mediante evaporación
Descriptor de uso cubierto
PROC 1 Uso en procesos cerrados, sin probabilidad de exposición
Procesos, tareas, actividades cubiertas
Deposición de Ni
Método de evaluación
Estimación de la exposición basada en la evaluación cualitativa
Características del producto
Níquel metálico sólido, de alta pureza (99,5%)
Vapor durante el proceso de evaporación en cámara cerrada
Para el uso de los clientes aguas abajo de Vale solo
2/6
Cantidades utilizadas
De pocos a 100 g por turno por equipo de recubrimiento (depende del equipo específico y de los
parámetros del proceso)
Frecuencia y duración de uso/exposición
Turnos de 8 horas.
Factores humanos que no se ven influenciados por la gestión de riesgos
Volumen de respiración bajo condiciones de uso: No procede
Tamaño de la sala y flujo de ventilación: No procede
Área de la piel en contacto con la sustancia bajo condiciones de uso: No procede
Peso corporal: No procede
Otras condiciones de operación determinadas que afectan a la exposición de los
trabajadores
Trabajo en turnos
Las cantidades de Ni utilizadas son extremadamente pequeñas
Condiciones y medidas técnicas a nivel de proceso (fuente) para evitar emisiones
Proceso completamente confinado
Condiciones y medidas técnicas para controlar la dispersión desde la fuente hacia el
trabajador
Ninguna
Medidas organizativas para prevenir/limitar emisiones, dispersión y exposición
Ninguna
Condiciones y medidas relacionadas con la protección personal, la higiene y la evaluación
de la salud
Buenas prácticas de higiene en el lugar de trabajo
Cutánea: Es necesario utilizar guantes apropiados durante las operaciones de carga y descarga
2.3 Control de exposición de los trabajadores en el escenario de
exposición de contribución ES 22.2
Limpieza y mantenimiento
Título corto relacionado con los trabajadores: Técnica de deposición de películas delgadas
mediante evaporación
Descriptor de uso cubierto
PROC 0 Limpieza y mantenimiento
Procesos, tareas, actividades cubiertas
Limpieza y mantenimiento
Método de evaluación
Estimación de la exposición basada en la evaluación cualitativa
Características del producto
Níquel metálico sólido, de alta pureza (99,5%)
Cantidades utilizadas
No procede
Para el uso de los clientes aguas abajo de Vale solo
3/6
Frecuencia y duración de uso/exposición
Turnos de 8 horas
Factores humanos que no se ven influenciados por la gestión de riesgos
Volumen de respiración bajo condiciones de uso: No procede
Tamaño de la sala y flujo de ventilación: No procede
Área de la piel en contacto con la sustancia bajo condiciones de uso: No procede
Peso corporal: No procede
Otras condiciones de operación determinadas que afectan a la exposición de los
trabajadores
Cámara de deposición con vapor limpiada manualmente, las capas protectoras (recubiertas con
los materiales respectivos durante el proceso) son removidas y limpiadas mediante técnicas de
pulido por chorro de arena
Condiciones y medidas técnicas a nivel de proceso (fuente) para evitar emisiones
Proceso completamente confinado
Condiciones y medidas técnicas para controlar la dispersión desde la fuente hacia el
trabajador
Ninguna
Medidas organizativas para prevenir/limitar emisiones, dispersión y exposición
Ninguna
Condiciones y medidas relacionadas con la protección personal, la higiene y la evaluación
de la salud
Es necesario utilizar EPR y guantes apropiados durante las operaciones de limpieza y
mantenimiento.
3.0 Estimación del riesgo y exposición
Ambiente
Técnica de deposición de películas delgadas mediante evaporación
Compartimiento Unidad PNEC PEC Regional
C local
PEC RCR
Agua dulce
Salada
Terrestre
μg Ni/l
μg Ni/l
mg
Ni/kg
29,9
16,2
1,2E-5
16,2
Para el uso de los clientes aguas abajo de Vale solo
0,54
Métodos para el
cálculo de
concentraciones
ambientales y PNEC
Valores medidos,
Nivel 3-PCR
4/6
Trabajadores
ES 22.1
Deposición de Ni
Cutánea
Sistémica aguda
Aguda local
Sistémica a largo
plazo
Local a largo plazo
Inhalación
Sistémica aguda
Unidad
DNEL
Concentración RCR
de exposición
mg
Ni/kg/día
mg
Ni/cm2/día
mg
Ni/kg/día
mg
Ni/cm2/día
-
No informada
-
No informada
-
No informada
0,015
5*10-6
<0,001
816
0,01
<0,001
mg Ni/m3
Métodos para el cálculo
de exposición
Percentil 75 estimado
de exposición media a
largo plazo
Estimado como 10x el
percentil 75 de
exposición promedio a
largo plazo
Aguda local
mg Ni/m3 1.61
0,01
0,006
Estimado como 10x el
percentil 75 de
exposición promedio a
largo plazo
3
2,3
Sistémica a largo
mg Ni/m
0,05
0,001
0,02
Percentil 75 de
plazo
concentración a largo
plazo
Local a largo plazo mg Ni/m3 0,052,3 0,001
0,02
Percentil 75 de
concentración a largo
plazo
1
Basado en DAMM de 1,5 µm, aumenta al aumentar el DAMM (estimado en ≥6,4 mg Ni/m3 para
la exposición a partículas con un DAMM ≥30 μm.
2
Cuando se manipulen polvos de diámetro de partículas inferior a 10 μm, las exposiciones
(8h PPT) a estos polvos deben mantenerse por debajo de 0,01 mg Ni/m3.
3
Cuando la exposición es únicamente a polvos de níquel metálico y oxídico (sin exposición a
níquel soluble o a níquel sulfídico) y el tamaño medio de las partículas de aerosol es mayor que
10 μm de diámetro aerodinámico (≤10% en peso de aerosol en la fracción respirable), los niveles
de exposición inhalable de hasta 0,2 mg Ni/m3 se consideran razonablemente seguros.
ES 22.2
Limpieza y mantenimiento
Unidad
DNEL
Concentración RCR
de exposición
Cutánea
Sistémica aguda
-
No informada
-
No informada
-
No informada
0,015
5*10-6
Aguda local
Sistémica a largo
plazo
Local a largo plazo
mg
Ni/kg/día
mg
Ni/cm2/día
mg
Ni/kg/día
mg
Ni/cm2/día
<0,001
Para el uso de los clientes aguas abajo de Vale solo
Métodos para el cálculo
de exposición
Percentil 75 estimado
de exposición media a
largo plazo
5/6
Inhalación
Sistémica aguda
mg Ni/m3
816
0,01
<0,001
Aguda local
mg Ni/m3
1.61
0,01
0,006
Sistémica a largo
plazo
mg Ni/m3
0,052,3
0,001
0,02
Local a largo plazo
mg Ni/m3
0,052,3
0,001
0,02
Estimado como 10x el
percentil 75 de
exposición promedio a
largo plazo
Estimado como 10x el
percentil 75 de
exposición promedio a
largo plazo
Percentil 75 de
concentración a largo
plazo
Percentil 75 de
concentración a largo
plazo
1
Basado en DAMM de 1,5 µm, aumenta al aumentar el DAMM (estimado en ≥6,4 mg Ni/m3 para
la exposición a partículas con un DAMM ≥30 μm.
2
Cuando se manipulen polvos de diámetro de partículas inferior a 10 μm, las exposiciones
(8h PPT) a estos polvos deben mantenerse por debajo de 0,01 mg Ni/m3.
3
Cuando la exposición es únicamente a polvos de níquel metálico y oxídico (sin exposición a
níquel soluble o a níquel sulfídico) y el tamaño medio de las partículas de aerosol es mayor que
10 μm de diámetro aerodinámico (≤10% en peso de aerosol en la fracción respirable), los niveles
de exposición inhalable de hasta 0,2 mg Ni/m3 se consideran razonablemente seguros.
4. Guía para que el UI evalúe si trabaja dentro de los límites
establecidos por el ES
Ambiente
Herramienta de escalado: herramienta para metales EUSES IT (descarga gratis:
http://www.arche-consulting.be/Metal-CSA-toolbox/du-scaling-tool)
El escalado de emisiones ambientales al aire y al agua incluye:
El mejoramiento del factor de emisiones al aire y aguas residuales y/o la eficacia del filtro de aire y
de la instalación de tratamiento de aguas residuales.
El escalado de PNEC para ambientes acuáticos mediante el enfoque por niveles para la
corrección de la biodisponibilidad y la concentración de fondo (enfoque C local).
El escalado de PNEC para compartimiento de suelos mediante el enfoque por niveles para la
corrección de la biodisponibilidad y la concentración de fondo (enfoque C local).
Trabajadores
El escalado considera la duración y frecuencia de uso
Recoger datos de monitorización del proceso. Utilizar la información del tamaño de las partículas
de aerosol, cuando esté disponible, para confirmar el uso apropiado de un DNEL inhalable. Los
datos de la aparición de nuevas especies químicas que muestran que sólo hay níquel metálico
y/u óxidos de níquel presentes en el aire del lugar de trabajo pueden usarse para indicar que el
RCR <1 en los niveles de exposición entre 0,05 y 0,2 mg Ni/m3.
Para el uso de los clientes aguas abajo de Vale solo
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