Microanalisis Elemental por Espectroscopia de Rayos X (EDS)

Microanálisis Elemental por
Espectroscopía de Rayos X (EDS)
Element
C
O
Na
CK
OK
NaK
AlK
SiK
PK
NiK
Total
Ni
Wt %
Nanociencias
www.nanocentro.ipn.mx
At %
86.85
6.12
1.08
0.12
0.77
2.7
2.35
100
92.47
4.89
0.6
0.06
0.35
1.11
0.51
100
P
Aplicaciones
El microanálisis elemental se
emplea en la identificación de
materiales, análisis de falla,
control de calidad en la industria
electrónica, metalurgia, por citar
algunos ejemplos pero su uso se
extiende hasta el área biológica y
médica de la Distribución de
partículas en catalizadores.
Beneficios
• Requiere una cantidad de
material muy pequeña.
• El análisis se lleva a cabo en
un par de minutos.
• Proporciona información semi
cuantitativa muy localizada.
• Se puede considerar un
análisis no destructivo
Si
Mapeos en dos dimensiones que muestran
cambios de concentración de los elementos
presentes en la zona de barrido
Composición elemental
porcentual semicuantitativa.
Descripción
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El espectrómetro de energía dispersita de rayos X, el detector que
está instalado en la cámara de análisis del microscópio electrónico de
barrido. Su función es colectar la señal de rayos X característicos que
se generan cuando un haz de electrones impacta en la superficie de la
muestra que es analizada. De esta manera, es posible identificar cada
uno de los elementos presentes en la muestra siempre y cuando se
encuentren en una concentración igual o superior a la del límite de
detección, que se encuentra entre 0.2 y 1%, y que tengan un peso
superior a 11. El CNMN cuenta con equipos EDS instalados en el
microscópioFIB y el microscopio JEOL.
Resultados
• Se obtienen espectros que
indican el tipo de elementos
presentes en la muestra.
• Se puede combinar con cortes
transversales (FIB) para hacer
análisis
elemental
y
composicional en capas internas
de la muestra.
• Análisis de difusión de elementos
en fronteras de grano.
• Identificación de contaminantes.
• Perfiles de concentración.
Equipo Quanta 3D FEG-FEI
JSM7800 - JEOL
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